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在具有波长色散元件(123)、光检测器(124a～124c)、以及收纳它们的腔室(121)的分光器中，设置有：排气管(128)，其用于将腔室(121)内部的气体排出；气体供给源(150)，其填充有被压缩至大气压以上的惰性气体；冷却单元(15...
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