【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种用于测定等离子体中微量粒子浓度的吸收光谱装置，属于等离子体光谱诊断领域。技术背景低温等离子体主要应用于微电子制造以及材料处理领域。而等离子体中产生的各种微量粒子在材料的加工处理中扮演着重要的角色，因此测定等离子体中粒子的浓度具有重要的实际指导意义与理论参考价值。然而，由于某些粒子的浓度较低，或有一些重要的活性自由基(如氧原子等)，在可见光区的吸收截面很小，使用传统的吸收光谱技术不能准确地对其浓度进行诊断。同时，尽管非相干光源测量分辨率较高，但是如果要同时测量多个物种，或待测物种具有波长范围较宽的吸收带时，就需要光强较大、覆盖波长范围较广的宽带光源的配合测量，这就需要使用非相干宽带光源。尤其是在等离子体中，产生的活性自由基往往种类较多、光谱范围较宽。因此，专利技术人设计了一套能够进行低温等离子体中微量物种浓度测定的吸收光谱装置。
技术实现思路
为了能够测定低温等离子体中微量粒子的浓度，本专利技术提供了一套宽带腔增强吸收光谱的光学装置，该装置能够有效测定等离子体中微量粒子的浓度。本专利技术采用的技术解决方案:一种用于测定等离子体中微量粒子浓...
【技术保护点】
一种用于测定等离子体中微量粒子浓度的吸收光谱装置，所述吸收光谱装置的光学器件包括大功率宽带LED光源（3）、散热片（4）、控温单元（5）、辅助激光器（1）、三个平凸透镜、两个球面反射镜、两个平凹高反镜、两个不锈钢延长管、两个吹扫进气孔、两个带孔圆柱挡板、带通滤波片（13）、光纤耦合器（15）、光谱仪（19）以及计算机（17），其特征在于：所述光学器件均固定在光学平台上，从大功率宽带LED光源（3）发出的宽带光依次经过第一平凸透镜（2）、第二平凸透镜（21）聚焦后，再经第一球面反射镜（22a）、第二球面反射镜（22b）准直，准直后的光束耦合进由左端平凹高反镜（12b）和右端平...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘永新，刘刚虎，刘文耀，王友年，
申请(专利权)人：大连理工大学，
类型：发明
国别省市：辽宁;21
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