【技术实现步骤摘要】
用于制备阳极短路的场阑绝缘栅双极晶体管的方法本案是分案申请原案名称:用于制备阳极短路的场阑绝缘栅双极晶体管的方法原案申请号:201210251772.3原案申请日:2012年07月20日。
本专利技术涉及一种用于制备阳极短路的场阑绝缘栅双极晶体管(IGBT)的方法。
技术介绍
绝缘栅双极晶体管(IGBT)为三端子功率半导体器件。IGBT把金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFET)的简单栅极-驱动性能,与双极晶体管的高电流、低饱和电压等性能相结合。在一个单独器件中,通过将绝缘栅FET与双极晶体管相结合,绝缘栅FET作为IGBT的控制输入,双极晶体管作为IGBT的开关。如图1A所示,为一种原有技术的传统IGBT的剖面示意图。传统的IGBT包含一个位于p+衬底101上的n-型场阑层103。N-外延/电压闭锁层105生长在场阑层103上方。可以在外延/电压闭锁层105中形成一个或多个器件元。每个器件元可以含有形成在外延/电压闭锁层105中的p-型本体区107,以及形成在p-型本体区107中的一个或多个n+发射区109。每个器件元还可以包含形成在p-型本体区107和n+发射区109的裸露部分上的栅极绝缘物111(例如氧化物)。栅极电极113形成在栅极绝缘物111上。发射极电极115形成在本体区107和发射区109的不同部分上。集电极电极117形成在p+衬底101的背面。IGBT100的结构除了用n+漏极代替p+集电极层101之外,其他都与n-通道垂直MOSFET的结构类似,从而构成一个垂直PNP双极结型晶体管。额外的p+集电极层101构成PNP双极结型晶体管与 ...
【技术保护点】
一种用于制备阳极短路的场阑绝缘栅双极晶体管的方法,其特征在于,该方法包含:a、在第一导电类型的外延层的顶面中,制备一个或多个绝缘栅双极晶体管器件元;b、将外延层的背面减薄至所需厚度;c、对外延层的背面进行第一导电类型的无掩膜植入,构成场阑层,其中场阑层中电荷载流子的浓度高于外延层;d、利用第一阴影掩膜,在场阑层的背面中,选择性地植入第二导电类型的第一半导体区,第二导电类型与第一导电类型相反,其中第一半导体区的电荷载流子浓度高于场阑层;e、利用第二阴影掩膜,在场阑层的背面中,选择性地植入第一导电类型的第二半导体区,其中第二半导体区的电荷载流子浓度高于场阑层;并且f、激光激活第一和第二半导体区;g、在第一和第二半导体区的背面沉积一个金属层。
【技术特征摘要】
2011.07.27 US 13/192,3851.一种用于制备阳极短路的场阑绝缘栅双极晶体管的方法,其特征在于,该方法包含:a、在第一导电类型的外延层的顶面中,制备一个或多个绝缘栅双极晶体管器件元;b、将外延层的背面减薄至所需厚度;c、对外延层的背面进行第一导电类型的无掩膜植入,构成场阑层,其中场阑层中电荷载流子的浓度高于外延层;d、利用第一阴影掩膜,在场阑层的背面中,选择性地植入第二导电类型的第一半导体区,第二导电类型与第一导电类型相反,其中第一半导体区的电荷载流子浓度高于场阑层;e、利用第二阴影掩膜,在场阑层的背面中,选择性地植入第一导电类型的第二半导体区,其中第二半导体区的电荷载流子浓度高于场阑层;并且f、激光激活第一和第二半导体区;g、在第一和第二半导体区的背面沉积一个金属层。2.如权利要求1所述的用于制备阳极短路的场阑绝缘栅双极晶体管的方法,其特征在于,所述外延层掺杂n-,场阑层掺杂n,第一半导体区掺杂p+,第二半导体区掺杂n+。3.如权利要求2所述的用于制备阳极短路的场阑绝缘栅双极晶体管的方法,其特征在于,所述第一阴影掩膜和第二阴影掩膜是互补的。4.如权利要求2所述的用于制备阳极短路的场阑绝缘栅双极晶体管的方法,其特征在于,所述第二导电类型的第一植入区的宽度远大于第一导电类型的第二半导体区的宽度。5.如权利要求1所述的用于制备阳极短路的场阑绝缘栅双极晶体管的方法,其特征在于,所述步骤c中的无掩膜植入为100-300KeV下,在1×1013/cm3和2×1013/cm3之间的浓度下的磷植入。6.一种用于制备阳极短路的场阑绝缘栅双极晶体管的方法,其特征在于,该方法包含:a、在第一导电类型的外延层的顶面中,制备一个或多个绝缘栅双极晶体管器件元;b、将外延层的背面减薄至所需厚度;c、对外延层的背面进行第一导电类型的无掩膜植入,构成场阑层,其中场阑层中电荷载流子的浓度高于外延层;d、对场阑层的背面进行第二导电类型的无掩膜植入,以形成第一半导体植入区,第二导电类型与第一导电类型相反;e、激光激活场阑层和第一半导体区;f、在第一半导体层的表面沉积第一金属层;g、通过激光切割第一金属层和第一半导体植入区的一个或多个部分,选择性地形成分立的半导体植入区,以便使场阑层的一个或多个部分...
【专利技术属性】
技术研发人员:安荷·叭剌,马督儿·博德,丁永平,张晓天,何约瑟,
申请(专利权)人:万国半导体股份有限公司,
类型:发明
国别省市:美国,US
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