一种四氯化硅的净化方法及应用技术

本发明专利技术涉及多晶硅生产中尾气的提纯技术领域，公开了一种四氯化硅的净化方法及应用，四氯化硅的净化方法主要用于净化多晶硅生产中得到的四氯化硅，包括离子化步骤：将含有Cl2、含碳杂质的四氯化硅通入等离子体发生器使Cl2活化得到氯自由基，氯自由基与含碳杂质反应得到含氯化合物。该方法还包括分离步骤：将含氯化合物与四氯化硅分离。该方法能够应用于多晶硅的生产中。本发明专利技术的四氯化硅的净化方法能够较好的去除四氯化硅中的含碳杂质。

【技术实现步骤摘要】
一种四氯化硅的净化方法及应用
本专利技术涉及多晶硅生产中尾气的提纯
，具体而言，涉及一种四氯化硅的净化方法及应用。
技术介绍
多晶硅是集成电路、航空航天、新能源等新型产业的基础性关键功能材料。尽管近年来我国多晶硅产业发展迅猛，产能规模跃居世界第一，但仍无法实现高纯、超高纯多晶硅的量产，研发高纯、超高纯多晶硅材料生产技术并实现规模化生产是我国的多晶硅产业发展的重点方向。多晶硅生产中四氯化硅的深度净化技术是生产多晶硅材料的关键技术。三氯氢硅与氢气在还原炉中发生反应时温度很高，三氯氢硅与氢气在发生硅沉积反应的同时，也会副产四氯化硅，据统计，每生产1吨多晶硅，便会副产13～16吨四氯化硅，在改良西门子法中四氯化硅是生产还原原料三氯氢硅的主要原料。还原原料中的碳杂质在还原炉高温条件下会转化形成甲基硅烷，甲基硅烷沸点与四氯化硅相近，甲基硅烷会与四氯化硅形成共沸物，因此很难通过常规分离方法将甲基硅烷从四氯化硅中分离。纯度不高的四氯化硅会影响后续工艺的稳定性。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种四氯化硅的净化方法，其能够有效去除多晶硅生产中四氯化硅尾气中的含碳杂质。本专利技术的另一目的在于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种四氯化硅的净化方法，主要用于净化多晶硅生产中得到的四氯化硅，其特征在于，所述四氯化硅的净化方法包括以下步骤，等离子化步骤：将含有Cl2、含碳杂质的所述四氯化硅通入等离子体发生器使所述Cl2活化得到氯自由基，所述氯自由基与所述含碳杂质反应得到含氯化合物；分离步骤：将所述含氯化合物与所述四氯化硅分离。

【技术特征摘要】
1.一种四氯化硅的净化方法，主要用于净化多晶硅生产中得到的四氯化硅，其特征在于，所述四氯化硅的净化方法包括以下步骤，等离子化步骤：将含有Cl2、含碳杂质的所述四氯化硅通入等离子体发生器使所述Cl2活化得到氯自由基，所述氯自由基与所述含碳杂质反应得到含氯化合物；分离步骤：将所述含氯化合物与所述四氯化硅分离。2.根据权利要求1所述的四氯化硅的净化方法，其特征在于，所述等离子体发生器的电极上设置有电介质。3.根据权利要求2所述的四氯化硅的净化方法，其特征在于，所述电介质为氧化铝或者石英。4.根据权利要求1所述的四氯化硅的净化方法，其特征在于，所述分离步骤包括将所述含氯化合物与络合剂反应得到络合物，使得所述含氯化合物与所述四氯化硅分离。5.根据权利要求1中所述的四氯化硅的净化方法，其特征在于，所述分离步骤包括将所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：宗冰，张宝顺，王体虎，
申请(专利权)人：亚洲硅业青海有限公司，青海省亚硅硅材料工程技术有限公司，
类型：发明
国别省市：青海,63