三氯氢硅生产工艺及系统技术方案

一种三氯氢硅生产系统，包括蒸发器、热氢化炉、冷氢化反应器、过滤器、冷凝器和提纯分离塔，热氢化炉与冷氢化反应器相连，将热氢化后的尾气通入冷氢化反应器内反应；过滤器与冷氢化反应器相连以过滤冷氢化反应器的尾气；蒸发器与热氢化炉、过滤器和冷凝器相连，蒸发器将作为原料的四氯化硅与氢气与过滤后的尾气换热，尾气通入冷凝器；冷凝器将尾气冷凝获得氯硅烷；提纯分离塔将液态氯硅烷分离提纯分离。本发明专利技术还提供了一种三氯氢硅生产工艺。本发明专利技术的三氯氢硅生产系统及工艺，可以有效利用热氢化尾气余热，并把热氢化产生的副产物氯化氢作为原料参与冷氢化反应，降低电耗，提高原料利用率，降低整体运行成本。

【技术实现步骤摘要】
三氯氢硅生产工艺及系统
本专利技术涉及一种三氯氢硅的生产工艺及系统。
技术介绍
三氯氢硅作为多晶硅生产的原料，其制备方式一般分为热氢化和冷氢化，热氢化主要以四氯化硅和氢气作为原料，在超过一千度的高温下进行，生成三氯氢硅和氯化氢气体，此反应为吸热反应。而冷氢化则是以硅粉、四氯化硅和氢气作为原料，在冷氢化反应器中反应，合成三氯氢硅，冷氢化需要的温度相对较低(550度左右)。但上述两种传统的三氯氢硅生产工艺目前转化率都较低，而且能耗高，造成三氯氢硅的生产成本较高，这也是多晶硅成本较高的一个原因。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是：提供一种生产成本更低的三氯氢硅生产系统。一种三氯氢硅生产系统，包括蒸发器、热氢化炉、冷氢化反应器、过滤器、冷凝器和提纯分离塔，其中：热氢化炉与冷氢化反应器相连，将热氢化后的尾气通入冷氢化反应器内反应；过滤器与冷氢化反应器相连以过滤冷氢化反应器的尾气；蒸发器与热氢化炉、过滤器和冷凝器相连，蒸发器将作为原料的四氯化硅和氢气与过滤后的尾气换热，加热后的四氯化硅和氢气通入热氢化炉，降温后的尾气通入冷凝器；冷凝器将换热后的尾气冷凝获得液态氯硅烷；提纯分离塔将液态氯硅烷本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种三氯氢硅生产系统，包括蒸发器、热氢化炉、冷氢化反应器、过滤器、冷凝器和提纯分离塔，其中：热氢化炉与冷氢化反应器相连，将热氢化后的尾气通入冷氢化反应器内反应；过滤器与冷氢化反应器相连以过滤冷氢化反应器的尾气；蒸发器与热氢化炉、过滤器和冷凝器相连，蒸发器将作为原料的四氯化硅和氢气与过滤后的尾气换热，加热后的四氯化硅和氢气通入热氢化炉，降温后的尾气通入冷凝器；冷凝器将换热后的尾气冷凝获得液态氯硅烷；提纯分离塔将液态氯硅烷分离提纯分离获得三氯氢硅和四氯化硅。

【技术特征摘要】
1.一种三氯氢硅生产系统，包括蒸发器、热氢化炉、冷氢化反应器、过滤器、冷凝器和提纯分离塔，其中：热氢化炉与冷氢化反应器相连，将热氢化后的尾气通入冷氢化反应器内反应；过滤器与冷氢化反应器相连以过滤冷氢化反应器的尾气；蒸发器与热氢化炉、过滤器和冷凝器相连，蒸发器将作为原料的四氯化硅和氢气与过滤后的尾气换热，加热后的四氯化硅和氢气通入热氢化炉，降温后的尾气通入冷凝器；冷凝器将换热后的尾气冷凝获得液态氯硅烷；提纯分离塔将液态氯硅烷分离提纯分离获得三氯氢硅和四氯化硅。2.如权利要求1所述的三氯氢硅生产系统，其特征在于，还包括与冷凝器相连的氢气储罐及与氢气储罐相连的压缩机，氢气储罐储存来自于冷凝器的氢气不凝气，压缩机与蒸发器相连，将氢气通入蒸发器使用。3.如权利要求1所述的三氯氢硅生产系统，其特征在于，还包括与冷凝器及提纯分离塔相连的冷凝器储罐，冷凝器储罐储存来自于冷凝器的液态氯硅烷供应提纯分离塔使用。4.如权利要求3所述的三氯氢硅生产系统，其特征在于，还包括用于储存提纯后的三氯氢硅的三氯氢硅产品储罐及用于储存提纯后的四氯化硅的四氯化硅储罐，四氯化硅储罐与蒸发器相连，将四氯化硅...

【专利技术属性】
技术研发人员：齐林喜，赵亮，陈建宇，
申请(专利权)人：内蒙古盾安光伏科技有限公司，
类型：发明
国别省市：内蒙古,15