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一种三氯氢硅生产系统，包括蒸发器、热氢化炉、冷氢化反应器、过滤器、冷凝器和提纯分离塔，热氢化炉与冷氢化反应器相连，将热氢化后的尾气通入冷氢化反应器内反应；过滤器与冷氢化反应器相连以过滤冷氢化反应器的尾气；蒸发器与热氢化炉、过滤器和冷凝器相连...
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