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本发明涉及多晶硅生产中尾气的提纯技术领域，公开了一种四氯化硅的净化方法及应用，四氯化硅的净化方法主要用于净化多晶硅生产中得到的四氯化硅，包括离子化步骤：将含有Cl2、含碳杂质的四氯化硅通入等离子体发生器使Cl2活化得到氯自由基，氯自由基与含...该专利属于亚洲硅业（青海）有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过亚洲硅业（青海）有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司授权不得商用。