一种制备电子级二氯二氢硅的方法技术

本发明专利技术公开了一种制备电子级二氯二氢硅的方法。其中，该方法包括以下步骤：S1，将芳香醛或芳香醛的衍生物与原料二氯二氢硅进行反应，得到的反应产物；S2，将反应产物先脱除部分重组分，再脱除轻组分和剩余的重组分得到提纯产品；S3，将提纯产品送入吸附提纯单元，进一步去除杂质，得到电子级二氯二氢硅。应用本发明专利技术的技术方案，本工艺极大地的缩短流程，降低了设备投资和运行能耗，产品品质达到电子级。

【技术实现步骤摘要】
一种制备电子级二氯二氢硅的方法
本专利技术涉及化工领域，具体而言，涉及一种制备电子级二氯二氢硅的方法。
技术介绍
电子级二氯二氢硅属于硅源电子特气，主要用于硅外延片的硅源气体，它目前主要用于晶体硅的取向附生、硅的氮化物制备以及大规模集成电路中多晶硅的制备。目前，电子信息产业发展迅速，二氯二氢硅电子气作为原材料，它的市场需求持续增长，但是我国电子级以上的二氯二氢硅的产量不足，高纯二氯二氢硅电子气严重依赖海外市场。二氯二氢硅电子气的市场需求规模在持续增长，但是我国电子级二氯二氢硅产量基本没有，全部依赖海外市场。目前，生产高纯二氯二氢硅主要使用传统提纯塔提纯的模式，并且为多塔串联提纯，能耗高，过程不易控制，并且其中的杂质以复杂的化合物形态存在，与二氯二氢硅沸点接近，不易提纯，仅能提纯至太阳能级别。因此亟需开发新的工艺，一方面实现电子级二氯二氢硅的生产，另一方面减少提纯塔数量，降低提纯运行能耗。
技术实现思路
本专利技术旨在提供一种制备电子级二氯二氢硅的方法，以解决现有技术中制备电子级二氯二氢硅能耗高、产品质量不稳定的技术问题。为了实现上述目的，根据本专利技术的一个方面，提供了一种制备电子级二氯本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制备电子级二氯二氢硅的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1，将芳香醛或芳香醛的衍生物与原料二氯二氢硅进行反应，得到的反应产物；S2，将所述反应产物先脱除部分重组分，再脱除轻组分和剩余的重组分得到提纯产品；S3，将所述提纯产品送入吸附提纯单元，进一步去除杂质，得到所述电子级二氯二氢硅。

【技术特征摘要】
1.一种制备电子级二氯二氢硅的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1，将芳香醛或芳香醛的衍生物与原料二氯二氢硅进行反应，得到的反应产物；S2，将所述反应产物先脱除部分重组分，再脱除轻组分和剩余的重组分得到提纯产品；S3，将所述提纯产品送入吸附提纯单元，进一步去除杂质，得到所述电子级二氯二氢硅。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述原料二氯二氢硅中二氯二氢硅的质量百分含量为98％～99％。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述芳香醛或芳香醛的衍生物为选自由苯甲醛、3,4-二甲基苯甲醛、4-...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘见华，赵雄，万烨，郭树虎，姜丽霞，王芳，杨永亮，杜俊平，汤传斌，严大洲，
申请(专利权)人：洛阳中硅高科技有限公司，中国恩菲工程技术有限公司，
类型：发明
国别省市：河南,41