The utility model belongs to the technical field of polysilicon directional solidification, provides a seed crystal ingot melt thickness measuring device, which comprises a box body, a supporting rod, motor, encoder, connecting wire and a measuring rod; the box body by the supporting rod is connected to the top of the ingot furnace shell, the motor and the encoder is arranged on the the box body, the upper part of the measuring rod is arranged in the ingot furnace crucible device, the output end of the connecting wire is connected to the motor, the other end is connected with the encoder sequentially the input and the measuring rod of the upper end of the box body and the ingot furnace shell corresponding to the first through hole and the two through hole is arranged for the connecting wire through the output of the encoder is connected with the external receiver. The utility model improves the automation of the measuring process, improves the accuracy of the measurement, and facilitates the analysis, storage and follow-up treatment of the measuring data. The structure is simple and the operation is convenient.
【技术实现步骤摘要】
一种铸锭籽晶融化厚度测量装置
本技术涉及多晶硅定向凝固设备
,具体涉及一种铸锭籽晶融化厚度测量装置。
技术介绍
多晶硅铸锭过程中需要对籽晶的融化程度进行检测,即对籽晶的融化厚度进行测量,目前通用的测量方法是人工手持测量棒,穿过炉体接触硅液,来测量硅液底部高度,通过物理尺寸来判断籽晶融化厚度;这种方法存在很多问题,测量过程需要在人工手持的状态下进行,不够自动化,测量运行时间和过程不易控制、测量结果不一致、测量棒使用寿命较短等问题,并且易导致测量数据出现误差及使用不方便的情况。
技术实现思路
针对现有技术中的缺陷,本技术提供一种铸锭籽晶融化厚度测量装置,以提高测量过程的自动化,提高测量的准确性。为达到上述目的,本技术采用如下的技术方案:一种铸锭籽晶融化厚度测量装置,包括箱体、支撑杆、电机、编码器、连接丝以及测量棒;所述箱体通过所述支撑杆连接于铸锭炉壳体的顶端,所述电机及所述编码器设置于所述箱体内,所述测量棒设置于所述铸锭炉内坩埚装置的上方,所述连接丝的一端连接于所述电机的输出端,另一端依次连接所述编码器的输入部及所述测量棒的上端,所述箱体及所述铸锭炉壳体上分别对应设置有 ...
【技术保护点】
一种铸锭籽晶融化厚度测量装置,其特征在于:包括箱体、支撑杆、电机、编码器、连接丝以及测量棒;所述箱体通过所述支撑杆连接于铸锭炉壳体的顶端,所述电机及所述编码器设置于所述箱体内,所述测量棒设置于所述铸锭炉内坩埚装置的上方,所述连接丝的一端连接于所述电机的输出端,另一端依次连接所述编码器的输入部及所述测量棒的上端,所述箱体及所述铸锭炉壳体上分别对应设置有可供所述连接丝通过的第一通孔及第二通孔,所述编码器的输出部连接有外部接收器。
【技术特征摘要】
1.一种铸锭籽晶融化厚度测量装置,其特征在于:包括箱体、支撑杆、电机、编码器、连接丝以及测量棒;所述箱体通过所述支撑杆连接于铸锭炉壳体的顶端,所述电机及所述编码器设置于所述箱体内,所述测量棒设置于所述铸锭炉内坩埚装置的上方,所述连接丝的一端连接于所述电机的输出端,另一端依次连接所述编码器的输入部及所述测量棒的上端,所述箱体及所述铸锭炉壳体上分别对应设置有可供所述连接丝通过的第一通孔及第二通孔,所述编码器的输出部连接有外部接收器。2.根据权利要求1所述的一种铸锭籽晶融化厚度测量装置,其特征在于:所述箱体...
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