一种单晶硅及多晶硅测试台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种单晶硅及多晶硅测试台，包括工作台，所述工作台上设置有电气控制箱，且电气控制箱上安装有控制面板，所述控制面板上设置有电源开关、调节旋钮和启动按钮，所述电气控制箱内部安装有滑轨，所述电气控制箱上方设置有横杆，且电气控制箱左侧安装有基座，所述电气控制箱右侧设置有固定器，且固定器通过连杆与铰接部固定连接，所述铰接部上设置有伸缩杆，且铰接部通过伸缩杆与探头相连接，所述探头上安装有自由转头，所述自由转头上方设置有夹持体，且夹持体上设有环箍。本实用新型专利技术利用独立的探头和电气控制箱进行对多晶硅或单晶硅进行测试，探头位置和角度均可调节，具有使用方便的优点。

Single crystal silicon and polycrystalline silicon test table

The utility model discloses a monocrystalline silicon and polycrystalline silicon test bench, which comprises a worktable, wherein the worktable is arranged on the electrical control box and electric control box is installed on the control panel, the control panel is provided with a power switch, an adjusting knob and a start button, the electrical control box is internally provided with a slide rail and the electrical control box is arranged above a bar set, and the electrical control box is arranged at the left side of the base, the electric control box is arranged on the right side of fixation, and fixation are connected through the connecting rod and the hinge, the hinge part is provided with a telescopic rod, and the hinged part of the telescopic rod is connected with the probe, the the probe is installed on the free head, a clamping body is arranged above the free head, and the clamping body is provided with a hoop. The utility model uses the independent probe and the electric control box to test the polycrystalline silicon or the monocrystalline silicon, and the position and the angle of the probe can be adjusted, and the utility model has the advantages of convenient operation.

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅及多晶硅测试台
本技术涉及单晶硅设备
，具体为一种单晶硅及多晶硅测试台。
技术介绍
为适应大规模集成电路的迅猛发展，特别是计算机芯片、内存的发展，越来越多的使用到了大直径、高纯度、均匀度更高的单晶硅材料。目前，在美国、德国等先进的工业国家，均采用了二探针法，使用二探针检测仪来测量大直径单晶硅的电阻率分布情况。通过测量单晶硅和多晶硅的电阻率分布情况，可方便硅材料的切割和加工。目前所采用的单晶硅及多晶硅测量仪器其造价昂贵，且测试台空间较小，只能测试较小规格的单晶硅或多晶硅，若需要测量大尺寸的单晶硅或多晶硅，只能更换成本较高的大型设备，给测量工作带来极大的不便，因此市场急需一种新型的单晶硅及多晶硅测试台来帮助人们解决现有的缺陷。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种单晶硅及多晶硅测试台，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种单晶硅及多晶硅测试台，包括工作台，所述工作台上设置有电气控制箱，且电气控制箱上安装有控制面板，所述控制面板上设置有电源开关、调节旋钮和启动按钮，且电源开关设在调节旋钮和启动按钮的上方，所述电气控制箱内部安装有滑轨，且滑轨上固定有导向槽，所述电气控制箱上方设置有横杆，且电气控制箱左侧安装有基座，所述电气控制箱右侧设置有固定器，且固定器通过连杆与铰接部固定连接，所述铰接部上设置有伸缩杆，且铰接部通过伸缩杆与探头相连接，所述探头上安装有自由转头，且自由转头上设有调节器，所述自由转头上方设置有夹持体，且夹持体上设有环箍。优选的，所述工作台底部四个拐角处分别安装有支撑柱。优选的，所述固定器上设置有螺孔，且螺孔内固定旋有螺栓。优选的，所述伸缩杆可前后自由伸缩，且伸缩杆上设有管壁。优选的，所述自由转头可360度自由旋转。优选的，所述调节旋钮与自由转头通过导线相连接。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术通过将待测工件放置于工作台板上，利用独立的探头和电气控制箱进行对多晶硅或单晶硅进行测试，由于在结构上设置有伸缩杆和自由转头，探头位置和角度均可随意调节，因此在不增加测试仪规格的情况下，可测量大尺寸的单晶硅或多晶硅，具有结构简单，使用方便的优点；该单晶硅及多晶硅测试台配备有控制面板，在进行测量操作时，只需要操控控制面板上的旋钮和按键即可轻松完成作业，提高了该设备的智能性。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术的俯视图。图中：1-横杆；2-导向槽；3-滑轨；4-基座；5-电气控制箱；6-电源开关；7-控制面板；8-调节旋钮；9-启动按钮；10-工作台；11-固定器；12-连杆；13-铰接部；14-伸缩杆；15-环箍；16-夹持体；17-自由转头；18-调节器；19-探头。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-2，本技术提供的一种实施例：一种单晶硅及多晶硅测试台，包括工作台10，工作台10上设置有电气控制箱5，且电气控制箱5上安装有控制面板7，控制面板7上设置有电源开关6、调节旋钮8和启动按钮9，且电源开关6设在调节旋钮8和启动按钮9的上方，电气控制箱5内部安装有滑轨3，且滑轨3上固定有导向槽2，电气控制箱5上方设置有横杆1，且电气控制箱5左侧安装有基座4，电气控制箱5右侧设置有固定器11，且固定器11通过连杆12与铰接部13固定连接，铰接部13上设置有伸缩杆14，且铰接部13通过伸缩杆14与探头19相连接，探头19上安装有自由转头17，且自由转头17上设有调节器18，自由转头17上方设置有夹持体16，且夹持体16上设有环箍15，工作台10底部四个拐角处分别安装有支撑柱，固定器11上设置有螺孔，且螺孔内固定旋有螺栓，伸缩杆14可前后自由伸缩，且伸缩杆14上设有管壁，自由转头17可360度自由旋转，调节旋钮8与自由转头17通过导线相连接。本技术在使用时，首先将单晶硅或多晶硅放置于工作台10上，然后滑动基座4至待测量位置，并转动夹持体16，待夹持,16位置及角度调整合适后，将探头19套设在环箍15内，拧紧螺母将探头19固定后，按下控制面板7上的电源开关6，即可对工作台10上的单晶硅或多晶硅进行测量。测量过程中，还可调节探头19位置，方便对工件不同位置进行测量，利用独立的探头19和电气控制箱5进行对多晶硅或单晶硅进行测试，由于在结构上设置有伸缩杆14和自由转头17，通过使用控制面板7上的调节旋钮8，调节旋钮8与调节旋钮8之间通过电性连接，探头19位置和角度均可随意调节，因此在不增加测试仪规格的情况下，可测量大尺寸的单晶硅或多晶硅，具有结构简单，使用方便的优点。对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单晶硅及多晶硅测试台，包括工作台（10），其特征在于：所述工作台（10）上设置有电气控制箱（5），且电气控制箱（5）上安装有控制面板（7），所述控制面板（7）上设置有电源开关（6）、调节旋钮（8）和启动按钮（9），且电源开关（6）设在调节旋钮（8）和启动按钮（9）的上方，所述电气控制箱（5）内部安装有滑轨（3），且滑轨（3）上固定有导向槽（2），所述电气控制箱（5）上方设置有横杆（1），且电气控制箱（5）左侧安装有基座（4），所述电气控制箱（5）右侧设置有固定器（11），且固定器（11）通过连杆（12）与铰接部（13）固定连接，所述铰接部（13）上设置有伸缩杆（14），且铰接部（13）通过伸缩杆（14）与探头（19）相连接，所述探头（19）上安装有自由转头（17），且自由转头（17）上设有调节器（18），所述自由转头（17）上方设置有夹持体（16），且夹持体（16）上设有环箍（15）。

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅及多晶硅测试台，包括工作台（10），其特征在于：所述工作台（10）上设置有电气控制箱（5），且电气控制箱（5）上安装有控制面板（7），所述控制面板（7）上设置有电源开关（6）、调节旋钮（8）和启动按钮（9），且电源开关（6）设在调节旋钮（8）和启动按钮（9）的上方，所述电气控制箱（5）内部安装有滑轨（3），且滑轨（3）上固定有导向槽（2），所述电气控制箱（5）上方设置有横杆（1），且电气控制箱（5）左侧安装有基座（4），所述电气控制箱（5）右侧设置有固定器（11），且固定器（11）通过连杆（12）与铰接部（13）固定连接，所述铰接部（13）上设置有伸缩杆（14），且铰接部（13）通过伸缩杆（14）与探头（19）相连接，所述探头（19）上安装有自由转头（17），且自...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈伟，孔群，杨玉生，姜春潮，
申请(专利权)人：常州好时新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32