CVD/PVD设备专用吊具制造技术

本实用新型专利技术提供了一种CVD/PVD设备专用吊具，包括：固定卡头(1)、连接装置、起吊机构，所述连接装置与起吊机构的上端部以可拆卸方式安装成一个整体结构，该整体结构的上端部与固定卡头(1)紧固连接；所述固定卡头(1)包括：顶部、侧壁、底部以及由顶部、侧壁、底部所围成的内腔，所述侧壁与底部相对应位置处设置有安装缺口；连接装置与起吊机构装配成的整体结构的上端部通过该安装缺口安装在固定卡头(1)的内腔中。本实用新型专利技术中的专用吊具整体结构设计合理，能够在不同的厂房高度环境中使用，解决了因厂房高度不够造成的对设备无法吊装的问题；并通过设置连接装置，使得起吊机构可以在吊钩和T型头之间自由切换。

Special sling for CVD/PVD equipment

The utility model provides a special sling, a CVD/PVD device includes a fixing clamping head (1) and a connecting device and a lifting mechanism. The upper end of the connecting device and the lifting mechanism is detachably installed into an integral structure, the upper end portion of the overall structure and the fixed clamping head (1) is tightly connected; the fixed clamping head (1) including: top, bottom and side wall and cavity from the top, side wall and bottom surrounded, the side wall and the bottom of the corresponding position is arranged at the installation gap; connecting the overall structure of the device and the lifting mechanism is assembled on the end installed on the fixed clamping head through the installation gap (1) in the cavity. Special sling in the utility model has reasonable structural design, can be used in different height of workshop environment, solve the problem of lifting equipment can not because of the height of the workshop is not enough; and the connecting device by setting, the lifting mechanism can freely switch between the hook and the head of T.

【技术实现步骤摘要】
CVD/PVD设备专用吊具
本技术涉及起重
，具体地，涉及CVD/PVD设备专用吊具。
技术介绍
CVD(chemicalvapordeposition，化学气相沉积)，是指把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入反应室，在衬底表面发生化学反应生成薄膜的过程。在超大规模集成电路中很多薄膜都是采用CVD方法制备。经过CVD处理后，表面处理膜密着性约提高30％，防止高强力钢的弯曲，拉伸等成形时产生的刮痕。PVD(physicalvapordeposition，物理气相沉积)，是指在真空条件下，采用低电压、大电流的电弧放电技术，利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离，利用电场的加速作用，使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上。当前CVD/PVD设备在利用普通吊耳进行吊装时，由于普通吊具的结构设计不合理，在吊装过程中容易损坏CVD/PVD设备，且普通吊具受限于厂房高度，使得CVD/PVD设备无法进行正常吊装。
技术实现思路
针对现有技术中的缺陷，本技术的目的是提供一种CVD/PVD设备专用吊具。根据本技术提供的CVD/PVD设备专用吊具，包括：固定卡头本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种CVD/PVD设备专用吊具，其特征在于，包括：固定卡头(1)、连接装置、起吊机构，所述连接装置与起吊机构的上端部以可拆卸方式安装成一个整体结构，该整体结构的上端部与固定卡头(1)紧固连接。

【技术特征摘要】
1.一种CVD/PVD设备专用吊具，其特征在于，包括：固定卡头(1)、连接装置、起吊机构，所述连接装置与起吊机构的上端部以可拆卸方式安装成一个整体结构，该整体结构的上端部与固定卡头(1)紧固连接。2.根据权利要求1所述的CVD/PVD设备专用吊具，其特征在于，所述固定卡头(1)包括：顶部、侧壁、底部以及由顶部、侧壁、底部所围成的内腔，所述顶部上设置有连接机构，所述连接机构能够与起重设备相连。3.根据权利要求2所述的CVD/PVD设备专用吊具，其特征在于，所述侧壁与底部相对应位置处设置有安装缺口；连接装置与起吊机构装配成的整体结构的上端部通过该安装缺口安装在固定卡头(1)的内腔中。4.根据权利要求1至3中任一项所述的CVD/PVD设备专用吊具，其特征在于，所述整体结构的上端...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄刚强，林先松，储伟，黄国强，
申请(专利权)人：博睿斯重工股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31