用于可变流量换能器的系统和方法技术方案
【技术实现步骤摘要】
用于可变流量换能器的系统和方法
本专利技术总体上涉及换能器，并且在特定实施例中涉及用于可变流量换能器的系统和方法。
技术介绍
换能器将来自一个领域的信号转换成另一个信号并且常常被用作传感器。例如，声换能器在声信号和电信号之间转换。麦克风是将声波（即声信号）转换成电信号的一种类型的声换能器，并且扬声器是将电信号转换成声波的一种类型的声换能器。基于微机电系统（MEMS）的换能器包括使用微加工技术产生的换能器家族。一些MEMS换能器（诸如MEMS麦克风）通过测量换能器中物理状态的变化并传递要被连接到该MEMS传感器的电子器件处理的信号来从环境收集信息。其他MEMS换能器（诸如MEMS微型扬声器）将电信号转换成换能器中物理状态的变化。MEMS器件可以是使用类似于用于集成电路的那些的微加工制作技术制造的。MEMS器件可以被设计成起到振荡器、谐振器、加速度计、陀螺仪、压力传感器、麦克风、微镜、微型扬声器等等的作用。许多MEMS器件使用电容性感测或致动技术来将物理现象转换成电信号，反之亦然。在这样的应用中，使用接口电路将换能器中的电容变化转换成电压信号，或者将电压信号施加到换能...
【技术保护点】
一种微机电系统（MEMS）换能器，其包括：附接到支撑结构的可偏转膜；声阀结构，其被配置成促使可偏转膜在第一模式中是透声的并且在第二模式中是声可见的；以及耦合到可偏转膜的致动机构。
【技术特征摘要】
2016.01.11 US 14/9926151.一种微机电系统（MEMS）换能器，其包括：附接到支撑结构的可偏转膜；声阀结构，其被配置成促使可偏转膜在第一模式中是透声的并且在第二模式中是声可见的；以及耦合到可偏转膜的致动机构。2.根据权利要求1所述的MEMS换能器，其中该致动机构被配置成激发可偏转膜的振荡，该振荡具有高于40kHz的频率。3.根据权利要求1所述的MEMS换能器，还包括衬底，其中该支撑结构被设置在该衬底上。4.根据权利要求1所述的MEMS换能器，其中该声阀结构包括多个压电阀。5.根据权利要求4所述的MEMS换能器，其中该多个压电阀被形成在可偏转膜上。6.根据权利要求1所述的MEMS换能器，其中该声阀结构包括多个静电阀。7.根据权利要求6所述的MEMS换能器，其中该多个静电阀被形成在可偏转膜上。8.根据权利要求1所述的MEMS换能器，其中该致动机构包括与可偏转膜分开间隔距离的穿孔背板。9.根据权利要求1所述的MEMS换能器，其中该致动机构包括形成在可偏转膜上的压电层。10.一种微机电系统（MEMS）换能器，其包括：设置在衬底上的支撑结构；通过支撑结构支撑并且将第一容积和第二容积分开的可偏转膜，该可偏转膜包括在可偏转膜中的多个可控声路径，其中该多个可控声路径中的每个可控声路径被配置成：在第一模式期间提供在第一容积和第二容积之间的声低阻抗路径，以及在第二模式期间提供在第一容积和第二容积之间的声高阻抗路径；以及耦合到可偏转膜的致动结构。11.根据权利要求10所述的MEMS换能器，其中该致动结构被配置成将可偏转膜激发成以高于40kHz的频率振荡。12.根据权利要求11所述的MEMS换能器，还包括耦合到致动结构并且被配置成将第一控制信号提供给致动结构的控制电路。13.根据权利要求12所述的MEMS换能器，其中该控制电路还被配置成将第二控制信号提供给多个可控声路径；以及该第二控制信号可操作用来在第一模式和第二模式之间切换多个可控声路径以便在可偏转膜以高于40kHz的频率振荡时选择性地生成形成具有低于20kHz的频率的可听声信号的正声压和负声压。14.根据权利要求10所述的MEMS换能器，其中该多个可控声路径包括在可偏转膜中形成的多个压电阀。15.根据权利要求10所述的MEMS换能器，该多个可控声路径包括在可偏转膜中形成的多个静电阀。16.一种操作微机电系统（MEMS）换能器的方法，该方法包括：致动可偏转膜来振荡；控制可偏转膜中的多个可控声路径以在第一模式期间...
【专利技术属性】
技术研发人员：A德赫，C格拉策，D图姆波尔德，
申请(专利权)人：英飞凌科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE
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