下载用于可变流量换能器的系统和方法的技术资料

文档序号:15847306

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

根据一个实施例,一种微机电系统MEMS换能器包括:附接到支撑结构的可偏转膜,被配置成促使可偏转膜在第一模式中是透声的并且在第二模式中是声可见的声阀结构,以及耦合到可偏转膜的致动机构。其他实施例包括对应的系统和装置,每一个都被配置成执行各种实...
该专利属于英飞凌科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英飞凌科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。