一种玻璃压紧装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术适用于玻璃镀膜技术领域，提供了一种玻璃压紧装置。本实用新型专利技术是这样实现的，一种玻璃压紧装置，设置于化学气象沉积设备上，包括基座、遮蔽框架以及多个压块；基座用于支撑和加热玻璃，遮蔽框架与玻璃设于基座的同一表面上；遮蔽框架环设于玻璃周围并与玻璃各边缘间隔设置；压块位于遮蔽框架与基座之间，压块的一侧与遮蔽框架固定连接以及另一侧压紧于非镀膜区上。玻璃压紧装置通过将遮蔽框架间隔设置在玻璃周围，并通过与遮蔽框架固定连接的压块压紧玻璃，以使玻璃与基座贴合严密，而压块本身处于玻璃表面的非镀膜区，从而使得玻璃中心及其边缘均可获得高质量的沉积薄膜，有效地提高了产品的良品率。

Glass pressing device

The utility model is suitable for the technical field of glass coating, and provides a glass pressing device. The utility model is implemented, a glass pressing device is arranged in the chemical vapor deposition device, which comprises a base and a cover frame and a plurality of pressing block; base for supporting and heating glass, with a surface covered with glass frame which is arranged on the base of the shield ring is arranged around the frame; and set the glass and glass edge the interval between the pressing block is located in the shade; and the base frame, side pressing block and covered frame is fixedly connected and the other side pressure tight in the uncoated region. The glass pressing device through the shielding frame spaced around the glass, and the frame is fixedly connected and covered pressing blocks. In order to make the base glass, glass and fit tightly, and block itself in a non coating zone on the surface of the glass, so that the center and the edge of glass can get deposited thin films of high quality, effectively improve the yield of the product.

【技术实现步骤摘要】
一种玻璃压紧装置
本技术属于玻璃镀膜
，尤其涉及一种玻璃压紧装置。
技术介绍
化学气相沉积(Chemicalvapordeposition，简称CVD)是一种化学气相生长法，CVD工艺通过在不同的温度场、不同的真空度下，将集中含有构成涂层材料元素的化合物或单质反应源气体，通入含有被处理工件的反应室中，在工件和气相界面进行分解、解吸、化合等反应，生成新的固态沉积物以及其他气态的副产物，前者成为沉积薄膜的一部分，后者将利用扩散效应进入主气流里。目前，CVD工艺广泛使用于对玻璃进行镀膜操作的工艺过程中，例如常用的电浆增强型化学气象沉积设备，请参照附图1所示，在对玻璃60'进行镀膜的过程中，通常需要在玻璃60'外围设置遮蔽框架10'，以使化学反应限定在遮蔽框架10'之内的区域；在使用时还需要将遮蔽框架10'抵压在玻璃60'的边缘，以使玻璃60'与基座40'严密贴合，从而防止玻璃60'翘起造成玻璃60'背面被镀膜而影响后续其他制程。但现有设备由于沿竖直方向扩散的反应源气体以及沿玻璃60'表面附近扩散的气态副产物在遮蔽框架10'与玻璃60'的接触的附近区域会产生扰流，从而影响该区域反应源气本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃压紧装置，用于压紧镀膜过程中的玻璃，所述玻璃的上表面划分为镀膜区以及环设于所述镀膜区四周并靠近所述玻璃边缘的非镀膜区，其特征在于，所述玻璃压紧装置包括基座、遮蔽框架以及多个压块；所述基座用于支撑和加热所述玻璃，所述遮蔽框架与所述玻璃设于所述基座的同一表面上；所述遮蔽框架环设于所述玻璃外围并与所述玻璃各边缘间隔设置；所述压块位于所述遮蔽框架与所述基座之间，所述压块的一侧与所述遮蔽框架固定连接，所述压块的另一侧压紧于所述玻璃的非镀膜区上。

【技术特征摘要】
1.一种玻璃压紧装置，用于压紧镀膜过程中的玻璃，所述玻璃的上表面划分为镀膜区以及环设于所述镀膜区四周并靠近所述玻璃边缘的非镀膜区，其特征在于，所述玻璃压紧装置包括基座、遮蔽框架以及多个压块；所述基座用于支撑和加热所述玻璃，所述遮蔽框架与所述玻璃设于所述基座的同一表面上；所述遮蔽框架环设于所述玻璃外围并与所述玻璃各边缘间隔设置；所述压块位于所述遮蔽框架与所述基座之间，所述压块的一侧与所述遮蔽框架固定连接，所述压块的另一侧压紧于所述玻璃的非镀膜区上。2.如权利要求1所述的玻璃压紧装置，其特征在于，还包括固定设置于所述压块下方的垫块，所述垫块设于所述基座上表面。3.如权利要求2所述的玻璃压紧装置，其特征在于，还包括至少一个依次穿过所述垫块和所述压块并锁紧于所述遮蔽框架中的紧固件。4.如权利要求3所述的玻璃压紧装置，其特征在于，所述紧固件包括头部和杆部，所述杆部包括光杆段和螺纹段；至少一所述压块设有收容所述光杆段的第一通孔，至少一与所述压块对应的垫块设有收容所述光杆段的第二通孔，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李晗光，
申请(专利权)人：深圳市柔宇科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44