一种新型硅晶炉加热结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型硅晶炉加热结构，其包括保温筒，在保温筒内设有生长炉底座，在生长炉底座中心处设有支撑柱，生长炉底座上设有多个加热电极，各个加热电极环绕支撑柱均匀分布，在生长炉底座上还设有第一测温器和第二测温器，位于生长炉底座上设有环形导轨，在环形导轨上配装有半圆形的隔热笼，在支撑柱的顶端设有高温计，采用多测温器同时工作，并且两个测温器相对称，可以时时校对两个测温器的温度，配合顶部的高温计还可以实现整体温度的把控，可以保证热场均匀，加热效果良好，可控性好。

A new type of silicon crystal furnace heating structure

The utility model discloses a novel silicon furnace structure, comprising a heat insulating tube, a furnace base growth in barrel, a support column in the center of the furnace at the base of growth, growth furnace base is provided with a plurality of heating electrodes, each heating electrode surrounds the support column evenly distributed in growth furnace is provided on the base the first temperature measuring device and temperature measuring device second, is located in the growth furnace is arranged on the base of the ring rail, the ring rail is provided with a heat insulation cage semicircular, on top of the support column is provided with a pyrometer, the thermometer can work at the same time, and the two phase symmetrical thermometer, you can always check the temperature of the two temperature measurement device with the top of the pyrometer, can also achieve the overall temperature control, can ensure the uniform thermal field, the heating effect is good, good controllability.

【技术实现步骤摘要】
一种新型硅晶炉加热结构
本技术属于光伏设备领域，尤其涉及一种新型硅晶炉加热结构。
技术介绍
在多晶铸锭生产过程中，温度达到1200°C以上后，需要通过热电偶精准的反馈及控制炉内温度，以满足工艺要求的化料时长及长晶速率，达到生产出高品质硅锭的目的。目前市面上的多晶铸锭炉均是单控温热电偶，但热电偶本身使用寿命不稳定，经常在运行过程中断开或因电磁信号的干扰而导致测温失效。目前在温热电偶失效后，只能使用近期相同工艺的功率曲线进行功率模式控制。功率控制模式是定期采集曲线功率大小，为加热器提供相应功率数据，功率调节滞后，很难达到精确控制温度，无法完全满稳定长晶速率的要求，极易造成硅锭中杂质、阴影超标，甚至整锭裂伤报废，并且在内壁上均匀设置多个温度传感器，如此设置方式可以测量内部温度但是测试方式有差异，无法测试顶壁温度，成晶效果不好。
技术实现思路
本技术的目的在于保证炉内温度高效控制，提供了一种新型硅晶炉加热结构，其实现了双测温器配合高温计，可以精准的测量内部温度并且各个位置温度相互对比还可以提防出现损坏。本技术通过以下技术方案实现：提供了1.一种新型硅晶炉加热结构，其包括保温筒，在保温筒内设有生长炉底座，在生长炉底座中心处设有支撑柱，生长炉底座上设有多个加热电极，各个加热电极环绕支撑柱均匀分布，在生长炉底座上还设有第一测温器和第二测温器，位于生长炉底座上设有环形导轨，在环形导轨上配装有半圆形的隔热笼，在支撑柱的顶端设有高温计。进一步的，保温筒内壁上附着有保温毡。进一步的，所述的第一测温器和第二测温器以支撑柱的中心成镜像对称。进一步的，还包括驱动电机，驱动电机设置在生长炉底座上，在隔热笼的内壁上设有齿条，驱动电机通过驱动齿轮与齿条连接。本技术相对于现有技术而言具有的优点在于：采用多测温器同时工作，并且两个测温器相对称，可以时时校对两个测温器的温度，配合顶部的高温计还可以实现整体温度的把控。通过设置半圆形的隔热笼嘛并且通过电机驱动，可以实现半圆形的旋动，可以用以分割热场，对局部进行重点加热。新型结构，可以保证热场均匀，加热效果良好，可控性好。附图说明图1为本技术整体俯视结构图；图2为本技术整体侧视结构图；图3为隔热笼与驱动电机连接结构图；附图标记：第一测温器1、加热电极2、隔热笼3、齿条3a、环形导轨4、支撑柱5、高温计6、第二测温器7、驱动电机8、保温筒9。具体实施方式以下根据附图对本技术做进一步说明：如图1,图2所示提供了一种新型硅晶炉加热结构，其特征在于：包括保温筒9，在保温筒内设有圆盘形的生长炉底座，生长炉底座为锥形，在生长炉底座中心处设有支撑柱5，支撑柱与保温筒同轴，生长炉底座上设有多个加热电极2，各个加热电极环绕支撑柱均匀分布，在生长炉底座上还设有第一测温器1和第二测温器7，所述的第一测温器和第二测温器以支撑柱的中心成镜像对称，位于生长炉底座上设有环形导轨4，在环形导轨上配装有半圆形的隔热笼3，在支撑柱的顶端设有高温计6。保温筒内壁上附着有保温毡。为保证自动化控制，还包括驱动电机8，驱动电机设置在生长炉底座上，在隔热笼的内壁上设有齿条3a，驱动电机通过驱动齿轮与齿条连接。两个测温器数据对比：热电偶运行时长单位能耗（Kw·H/Kg）产品良率运行过程第一测温器74.6h5.9167.5%正常第二测温器74.4h5.967.7%正常通过对比可以看出两根热电偶控温的运行时长、单位能耗及产品良率基本持平，且在运行过程中未发现异常现象，达到了预期的效果。以下根据附图对本技术做进一步说明：在使用过程中，可以通过控制驱动电机，驱动电机驱动隔热笼移动为某些部位重点加温，两个测温器配合高温计同时工作可以时时测量炉内温度，当温度出现异常时可以通过隔热笼进行增温。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型硅晶炉加热结构，其特征在于：包括保温筒（9），在保温筒内设有生长炉底座，在生长炉底座中心处设有支撑柱（5），生长炉底座上设有多个加热电极（2），各个加热电极环绕支撑柱均匀分布，在生长炉底座上还设有第一测温器（1）和第二测温器（7），位于生长炉底座上设有环形导轨（4），在环形导轨上配装有半圆形的隔热笼（3），在支撑柱的顶端设有高温计（6）。

【技术特征摘要】
1.一种新型硅晶炉加热结构，其特征在于：包括保温筒（9），在保温筒内设有生长炉底座，在生长炉底座中心处设有支撑柱（5），生长炉底座上设有多个加热电极（2），各个加热电极环绕支撑柱均匀分布，在生长炉底座上还设有第一测温器（1）和第二测温器（7），位于生长炉底座上设有环形导轨（4），在环形导轨上配装有半圆形的隔热笼（3），在支撑柱的顶端设有高温计（6）。2.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭艳峰，冯立学，朱松涛，
申请(专利权)人：河北凌樱新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：河北,13