The invention relates to the technical field of semiconductor manufacture, in particular to a sharp metal pattern stripping method, which comprises the following steps: S1, in the metal pattern defect on acute polyimide layer and drying; S2, in which the polyimide layer is coated with photoresist, lithography developer defined polyimide layer open position; open position S3 according to the above, by means of etching open the polyimide layer, define the angle position, the metal part of the graphics two free end position of the defect and acute angle angle overlap; S4, in the acute position again deposited metal; S5, removing the photoresist, get the metal pattern with complete acutangular. The invention is based on traditional lift off process, two metal deposition, because the two freedom second angle position end metal pattern only and acute angle defect overlap area is small, is conducive to the wet medicine into an angle, for photoresist removal, easy to complete with full metal graphics acutangular.
【技术实现步骤摘要】
一种锐角金属图形剥离方法
本专利技术属于半导体制造
,具体涉及一种锐角金属图形剥离方法。
技术介绍
金属lift-off工艺由于剥离精度高、形貌好、控制容易,已广泛地应用于半导体制造业。整个lift-off工艺为:(1)在衬底上涂覆一层光刻胶,把掩膜版图案在衬底表面上准确对准,通过曝光将图形转移到光刻胶涂层上,并通过显影把掩膜版图案复刻到光刻胶上,得到图形化衬底,如图1(a)所示;(2)采用金属蒸发、溅射或化学气相淀积薄膜工艺,在图形化衬底上沉积一层金属1,如图1(b)所示;(3)去除光刻胶,得到金属图形,如图1(c)所示。在整个半导体工艺中,为了节约成本,提高效率,在去除光刻胶时,一般采用物理撕除(tape-peeling)结合湿法的方式快速去除光刻胶。在金属图形存在锐角时,湿法药水不易进入锐角区域,加之物理撕除的引入,极易造成金属图形的锐角缺损,如图4(a)所示。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种锐角金属图形剥离方法,该夹具可以很好地解决传统lift-off工艺极易造成金属图形缺损,无法得到具有完成锐角的金属图形的问题。为达到上述要求,本专利技术采取的技术方案是:提供一种锐角金属图形剥离方法,包括采用lift-off工艺形成锐角缺损的金属图形的步骤,还包括以下步骤:S1、在锐角缺损的金属图形上涂覆聚酰亚胺层并烘干;S2、在所述聚酰亚胺层上涂覆光刻胶,采用光刻显影定义出聚酰亚胺层的打开位置;S3、根据所述打开位置,采用刻蚀方式打开聚酰亚胺层,定义出锐角位置,锐角位置的两个自由端与锐角缺损的金属图形部分重叠;S4、在所述锐角位置再次沉积金属;S ...
【技术保护点】
一种锐角金属图形剥离方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、在锐角缺损的金属图形上涂覆聚酰亚胺层并烘干;S2、在所述聚酰亚胺层上涂覆光刻胶,采用光刻显影定义出聚酰亚胺层的打开位置;S3、根据所述打开位置,采用刻蚀方式打开聚酰亚胺层,定义出锐角位置,锐角位置的两个自由端与锐角缺损的金属图形部分重叠;S4、在所述锐角位置再次沉积金属;S5、去除光刻胶,得到具有完整锐角的金属图形。
【技术特征摘要】
1.一种锐角金属图形剥离方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、在锐角缺损的金属图形上涂覆聚酰亚胺层并烘干;S2、在所述聚酰亚胺层上涂覆光刻胶,采用光刻显影定义出聚酰亚胺层的打开位置;S3、根据所述打开位置,采用刻蚀方式打开聚酰亚胺层,定义出锐角位置,锐角位置的两个自由端与锐角缺损的金属图形部分重叠;S4、在所述锐角位置再次沉积金属;S5、去除光刻胶,得到具有完整锐角的金属图形。2....
【专利技术属性】
技术研发人员:陈一峰,
申请(专利权)人:成都海威华芯科技有限公司,
类型:发明
国别省市:四川,51
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