振动模组以及陀螺仪制造技术

一种振动模组，设置在XY平面内，包括一谐振部件，所述谐振部件设置在一悬臂梁的末端，所述振动模组还包括一弹性限位部件，所述谐振部件通过所述弹性限位部件以及悬臂梁与外部的固定部件连接；在所述谐振部件处于沿Z方向的振动状态下，所述悬臂梁为谐振部件提供的第一限制力，所述弹性限位部件为所述谐振部件提供第二限制力，所述第一限制力和第二限制力的合力的作用位置与所述谐振部件的质心重合，所述谐振部件的振动方向一致。

Vibrating modules and gyroscopes

A vibration module is arranged in the XY plane, including a resonant component, the resonant component is arranged at the end of a cantilever beam, the vibration module also comprises an elastic limiting component, the resonant component through the elastic spacing parts and fixing parts of cantilever beam with external connection; in the resonant parts in the vibration state along the Z direction, the first limiting force the cantilever beam as the resonant components provided by the elastic limiting components provide second limiting force for the resonant components, the position of the resultant force effect of the first and second limiting force limiting force and the resonant components of the mass center, the vibration direction of the resonant components of the same.

【技术实现步骤摘要】
振动模组以及陀螺仪
本专利技术涉及微机械
，尤其涉及一种振动模组以及陀螺仪。
技术介绍
MEMS(MicroElectroMechanicalSystem，微机电系统)陀螺仪利用科里奥利力(Coriolisforce，又称为科氏力)现象。科氏力是对旋转体系中进行直线运动的质点由于惯性相对于旋转体系产生的直线运动的偏移的一种描述。科里奥利力来自于物体运动所具有的惯性，在旋转体系中进行直线运动的质点，由于惯性的作用，有沿着原有运动方向继续运动的趋势，但是由于体系本身是旋转的，在经历了一段时间的运动之后，体系中质点的位置会有所变化，而它原有的运动趋势的方向，如果以旋转体系的视角去观察，就会发生一定程度的偏离。MEMS陀螺仪体积小、成本低、集成性好，已得以越来越广泛的应用，如在移动终端、相机防抖、游戏手柄、玩具飞机、导航等产品中。MEMS陀螺仪包括驱动部分和检测部分，通过驱动和检测运动的耦合作用实现对运动角速度的测量。当陀螺处于驱动运动模态，并且在与驱动模态运动轴向垂直的第二方向有角速度输入时，由于哥氏效应陀螺仪在检测轴向产生检测模态运动，通过测量检测模态运动的位移，即刻测定物体的转动本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种振动模组，设置在XY平面内，包括一谐振部件，所述谐振部件设置在一悬臂梁的末端，其特征在于：所述振动模组还包括一弹性限位部件，所述谐振部件通过所述弹性限位部件以及悬臂梁与外部的固定部件连接；在所述谐振部件处于振动状态下，所述悬臂梁为谐振部件提供的第一限制力，所述弹性限位部件为所述谐振部件提供第二限制力，所述第一限制力和第二限制力的合力的作用位置与所述谐振部件的质心重合，且作用方向与所述谐振部件的振动方向一致。

【技术特征摘要】
1.一种振动模组，设置在XY平面内，包括一谐振部件，所述谐振部件设置在一悬臂梁的末端，其特征在于：所述振动模组还包括一弹性限位部件，所述谐振部件通过所述弹性限位部件以及悬臂梁与外部的固定部件连接；在所述谐振部件处于振动状态下，所述悬臂梁为谐振部件提供的第一限制力，所述弹性限位部件为所述谐振部件提供第二限制力，所述第一限制力和第二限制力的合力的作用位置与所述谐振部件的质心重合，且作用方向与所述谐振部件的振动方向一致。2.根据权利要求1所述的振动模组，其特征在于，所述谐振部件包括一电极，并通过所述电极被外部的驱动电场驱动，所述驱动电场向所述谐振部件施加第三限制力，所述第一限制力、第二限制力、以及第三限制力的合力的作用位置与所述谐振部件的质心重合，且作用方向与XY平面垂直。3.根据权利要求1所述的振动模组，其特征在于，所述弹性限位部件包括至少一个弹簧，所述弹簧的一端连接所述谐振部件，另一端连接所述固定部件。4.根据权利要求3所述的振动模组，其特征在于，所述弹性限位部件包括设置在同一平面内的两个弹簧，每一个弹簧的轴向与所述谐振部件的振动方向垂直，且所述两个弹簧的轴向设置在同一条直线上。5.根据权利要求1所述的振动模组，其特征在于，所述谐振部件的振动状态包括沿Z方向的面外振动，和在XY平面内的面内振动。6.一种陀螺仪，包括一振动模组、一...

【专利技术属性】
技术研发人员：裘进，郭慧芳，
申请(专利权)人：上海矽睿科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31