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振动模组以及陀螺仪制造技术
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文档序号:15688480
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一种振动模组,设置在XY平面内,包括一谐振部件,所述谐振部件设置在一悬臂梁的末端,所述振动模组还包括一弹性限位部件,所述谐振部件通过所述弹性限位部件以及悬臂梁与外部的固定部件连接;在所述谐振部件处于沿Z方向的振动状态下,所述悬臂梁为谐振部件...
该专利属于上海矽睿科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海矽睿科技有限公司授权不得商用。
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