陀螺传感器、电子设备以及移动体制造技术

本发明专利技术提供一种陀螺传感器、电子设备以及移动体。所述陀螺传感器能够降低正交相位的影响，且能够使反相模式的固有振动数和同相模式的固有振动数分离。陀螺传感器(100)包括基板(10)、第一振动体(40a)以及第二振动体(40b)、对第一振动体(40a)进行支承的第一悬架弹簧(32a)、对第二振动体(40b)进行支承的第二悬架弹簧(32b)、连结第一振动体(40a)和第二振动体(40b)的连结弹簧(60)，当将第一悬架弹簧(32a)以及第二悬架弹簧(32b)的弹簧常数设为K1，将连结弹簧(60)的弹簧常数设为K2时，满足2K2≤K1。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及陀螺传感器、电子设备、以及移动体。
技术介绍
近年来，已开发出利用硅MEMS(MicroElectroMechanicalSystem：微机电系统)技术来对物理量进行检测的惯性传感器。尤其，对角速度进行检测的陀螺传感器正在急速推广到例如数码相机(DSC)的手抖修正功能、汽车的导航系统、游戏机的运动传感功能等的用途。作为这样的陀螺传感器，例如，在专利文献1中，已公开相互以反相位对两个振动质量体进行驱动振动的方式经由由连结质量体和振动弹簧构成的连结范围而对两个振动质量体进行机械结合的结构。在专利文献1的陀螺传感器中，能够使反相模式的固有振动数和同相模式的固有振动数分离，并能够使两个振动质量体产生稳定的相位关系。但是，在专利文献1的陀螺传感器中，由于用于对两个振动质量体进行结合的的振动弹簧较硬，对振动质量体进行支承的悬架弹簧(悬吊弹簧)较柔软，因此，存在容易发生正交相位(Quadratur)的问题。在此，对正交相位进行说明。振动质量体的驱动振动，理想的是检测方向垂直，只要没有角速度的输入，则振动质量体不在检测方向上位移。但是，有时，由于制造工艺中产生的结构的非对称性等，而在振动质量体进行驱动振动时，会产生检测方向的位移成分(不需要的振动泄漏)。将此称为正交相位。在专利文献1的陀螺传感器中，如上所述，由于对振动质量体进行支承的悬架弹簧较柔软，因此，通过正交相位的影响，振动质量体容易向与振动平面垂直的方向(检测方向)位移。另外，在专利文献1的陀螺传感器中，由于用于对两个振动质量体进行结合的振动弹簧较硬，因此，有时，由一方的振动质量体产生的正交相位的振动会影响到另一方的振动质量体。专利文献1：日本专利第4047377号公报
技术实现思路
本专利技术的几个方式所涉及的一个目的在于，提供一种能够降低正交相位的影响，且能够使反相模式的固有振动数和同相模式的固有振动数分离的陀螺传感器。另外，本专利技术的几个形式所涉及的一个目的在于，提供一种包括上述陀螺传感器的电子设备以及移动体。本专利技术为用于解决前述的课题的至少一部分而完成的专利技术，能够作为以下的方式或者应用例而实现。应用例1本应用例所涉及的陀螺传感器包括：基板；第一振动体以及第二振动体；第一悬架弹簧，其对所述第一振动体进行支承；第二悬架弹簧，其对所述第二振动体进行支承；连结弹簧，其连结所述第一振动体和所述第二振动体，当将所述第一悬架弹簧以及所述第二悬架弹簧的弹簧常数设为K1，将所述连结弹簧的弹簧常数设为K2时，满足2K2≤K1。在这样的陀螺传感器中，第一悬架弹簧以及第二悬架弹簧的弹簧常数K1和连结弹簧的弹簧常数K2满足2K2≤K1。即，连结弹簧与第一悬架弹簧以及第二悬架弹簧相比而较柔软，或者与第一悬架弹簧以及第二悬架弹簧为相同软度。因此，在这样的陀螺传感器中，例如，与连结弹簧硬于第一悬架弹簧以及第二悬架弹簧的情况相比，能够降低受到正交相位的影响的振动体向检测方向的位移。而且，在这样的陀螺传感器中，例如，与连结弹簧硬于第一悬架弹簧以及第二悬架弹簧的情况相比，能够降低由一方的振动体(第一振动体)产生的正交相位的影响下的振动给另一方的振动体(第二振动体)带来的影响。因此，在这样的陀螺传感器中，能够降低正交相位的影响。而且，在这样的陀螺传感器中，如后文所述，能够使反相模式的固有振动数与同相模式的固有振动数分离。因此，能够降低驱动系中的同相模式对振动模式(反相模式)的影响。应用例2在上述应用例所涉及的陀螺传感器中，可以采用如下的方式，所述第一悬架弹簧对所述第一振动体进行四点支承，所述第二悬架弹簧对所述第二振动体进行四点支承，所述第一悬架弹簧和所述第二悬架弹簧独立。在这样的陀螺传感器中，能够降低正交相位的影响，且能够使反相模式的固有振动数和同相模式的固有振动数分离。应用例3在上述应用例所涉及的陀螺传感器中，可以采用如下的方式，所述连结弹簧的一端与所述第一振动体连接，所述连结弹簧的另一端与所述第二振动体连接。在这样的陀螺传感器中，能够降低正交相位的影响，且能够使反相模式的固有振动数和同相模式的固有振动数分离。应用例4在上述应用例所涉及的陀螺传感器中，可以采用如下的方式，所述第一振动体以及所述第二振动体相互以反相进行驱动振动。在这样的陀螺传感器中，由于能够使反相模式的固有振动数和同相模式的固有振动数分离，因此，能够降低驱动系中的同相模式对振动模式(反相模式)的影响。应用例5在上述应用例所涉及的陀螺传感器中，可以采用如下的方式，所述第一悬架弹簧以及所述第二悬架弹簧的弹簧常数K1、以及所述连结弹簧的弹簧常数K2为在所述第一振动体以及所述第二振动体的驱动振动的方向上的弹簧常数。在这样的陀螺传感器中，能够降低正交相位的影响，且能够使反相模式的固有振动数和同相模式的固有振动数分离。应用例6本应用例所涉及的电子设备包括上述应用例所涉及的陀螺传感器。在这样的电子设备中，能够包括如下的陀螺传感器，所述陀螺传感器能够降低正交相位的影响，且能够使反相模式的固有振动数和同相模式的固有振动数分离。应用例7本应用例所涉及的移动体包括上述应用例所涉及的陀螺传感器。在这样的移动体中，能够包括如下的陀螺传感器，所述陀螺传感器能够降低正交相位的影响，且能够使反相模式的固有振动数和同相模式的固有振动数分离。附图说明图1为模式化地表示第一实施方式所涉及的陀螺传感器的俯视图。图2为模式化地表示第一实施方式所涉及的陀螺传感器的剖视图。图3将第一实施方式所涉及的陀螺传感器的机械结构模型化的图。图4为表示第一实施方式的陀螺传感器的制造方法的一个示例的流程图。图5为模式化地表示第一实施方式所涉及的陀螺传感器的制造工序的剖视图。图6为模式化地表示第一实施方式所涉及的陀螺传感器的制造工序的剖视图。图7为表示本实施例的模拟的模型的陀螺传感器的图。图8为表示比较例所涉及的模拟的模型的陀螺传感器的图。图9为模式化地表示第二实施方式所涉及的陀螺传感器的俯视图。图10为模式化地表示第二实施方式所涉及的陀螺传感器的剖视图。图11为表示本实施例的模拟的模型的陀螺传感器的图。图12为表示比较例所涉及的模拟的模型的陀螺传感器的图。图13为第三实施方式所涉及的电子设备的功能框图。图14为表示第三实施方式的电子设备的一个示例即智能本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种陀螺传感器，其包括：基板；第一振动体以及第二振动体；第一悬架弹簧，其对所述第一振动体进行支承；第二悬架弹簧，其对所述第二振动体进行支承；连结弹簧，其连结所述第一振动体和所述第二振动体，当将所述第一悬架弹簧以及所述第二悬架弹簧的弹簧常数设为K1，将所述连结弹簧的弹簧常数设为K2时，满足2K2≤K1。

【技术特征摘要】
2014.11.25 JP 2014-2374051.一种陀螺传感器，其包括：
基板；
第一振动体以及第二振动体；
第一悬架弹簧，其对所述第一振动体进行支承；
第二悬架弹簧，其对所述第二振动体进行支承；
连结弹簧，其连结所述第一振动体和所述第二振动体，
当将所述第一悬架弹簧以及所述第二悬架弹簧的弹簧常数设为K1，将所
述连结弹簧的弹簧常数设为K2时，满足2K2≤K1。
2.如权利要求1所述的陀螺传感器，其中，
所述第一悬架弹簧对所述第一振动体进行四点支承，
所述第二悬架弹簧对所述第二振动体进行四点支承，
所述第一悬架弹簧和所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：古畑诚，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP