激光干涉仪制造技术

本发明专利技术提供一种激光干涉仪，在抑制伴随着返回光的激光振荡的不稳定化的同时，能够抑制伴随着非调制分量的S/N比的降低。一种激光干涉仪具备：射出激光的激光光源；光调制器，具备通过驱动信号振动的振动元件以及设置于所述振动元件的光反射面，通过使所述激光在振动的所述光反射面反射，使调制信号与所述激光重叠；以及受光部，接收包括来自对象物的采样信号以及所述调制信号的所述激光，并输出受光信号，在将所述光反射面的法线与入射到所述光反射面的所述激光的入射光轴所成的角设为倾斜角θ<subgt;qom</subgt;时，满足下述式(1)，0[deg]＜θ<subgt;qom</subgt;＜5.7[deg](1)。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及激光干涉仪。

技术介绍

1、在专利文献1中，作为测定物体的振动速度的装置，公开了激光振动计。在该激光振动计中，对被测定物照射激光，基于受到多普勒频移的散射激光，测量振动速度。

2、专利文献1记载的激光振动计具备产生预定的频率的振动元件。该振动元件基于其振动频率，使入射的激光的频率频移，生成与入射激光不同频率的反射激光。在激光振动计中，使用该反射激光作为参照光。然后，通过由光检测器接收来自被测定物的散射激光与参照光合波的光，来电提取拍频信号。然后，根据该拍频信号测量被测定物的振动速度。

3、然而，在激光光源中，由于返回光侵入，有时激光振荡变得不稳定。返回光是指，在从激光光源射出的激光被光学部件反射时，非意图地向激光光源返回的光。当激光振荡变得不稳定时，激光的质量降低。由此，在激光振动计中，导致s/n比(信噪比)的降低、激光的相位的不连续化。其结果，物体的振动速度的测量精度降低。

4、作为抑制返回光的技术，已知有非同轴光学系统。非同轴光学系统是倾斜光学部件的反射面的光学系统，使得入射到光学部件的光(入射光)与该本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种激光干涉仪，其特征在于，具备：

2.根据权利要求1所述的激光干涉仪，其特征在于，

3.根据权利要求1或2所述的激光干涉仪，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的激光干涉仪，其特征在于，

5.根据权利要求1或2所述的激光干涉仪，其特征在于，

6.根据权利要求1或2所述的激光干涉仪，其特征在于，

7.根据权利要求5所述的激光干涉仪，其特征在于，

【技术特征摘要】

1.一种激光干涉仪，其特征在于，具备：

2.根据权利要求1所述的激光干涉仪，其特征在于，

3.根据权利要求1或2所述的激光干涉仪，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的激光干涉...

【专利技术属性】
技术研发人员：北川润，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：