一种测试垫布局结构及电性测试方法技术

本发明专利技术涉及半导体检测领域，尤其涉及一种测试垫布局结构及电性测试方法。该测试垫布局结构主要针对测试探针的扎针距离而设定，主要通过将测试垫布局结构分为N组，各组中的测试垫相邻距离均为A，且任意一组的相邻测试垫间均具设置有剩余组中其他测试垫，进而使测试垫结构中的相邻测试垫间的间距体现为A/N，一定程度上减少了测试垫占据的外围空间，符合器件窄边框的要求，同时适用于密集型线路的电性测试中。

Test pad layout structure and electrical testing method

The invention relates to the field of semiconductor detection, in particular to a testing pad layout structure and an electrical testing method. The test pad layout structure of the main needle distance for the test probe set, mainly through the test pad layout structure is divided into N group, each group of test pads adjacent distance were A, adjacent test pad and an arbitrary set of rooms that have been set out with other test pad remaining group, and the distance between the adjacent test pad the test pad structure between the reflected A/N, to some extent reduce the test pad to occupy the outer space, with a narrow frame device for electric test is also applicable to the intensive line in.

【技术实现步骤摘要】
一种测试垫布局结构及电性测试方法
本专利技术涉及半导体检测领域，尤其涉及一种测试垫布局结构及电性测试方法。
技术介绍
随着显示器件和集成电路器件的不断发展，LCD、OLED以及PCB等产品器件已经广泛运用到生活中各个领域，在LCD、OLED或PCB完成封装一个产品时，需要进行产品的电性检验，即使用电性测试探针扎针至对应的测试垫(即测试焊盘)上进行通电测试。如图1所示，传统技术中探针扎针具有一定的测试距离(2A或者是3A)，因此扎针对应的所有测试垫均依次以该测试距离等距设置，任意两测试垫间的距离均为该测试距离，因此增大了测试垫占据的外围空间，不符合LCD、OLED或PCB的高解析度以及窄边框要求。
技术实现思路
鉴于上述问题，本专利技术提供一种测试垫布局结构及电性测试方法。一种测试垫布局结构，应用于利用测试探针对待测试器件进行的电性测试中，其特征在于，包括：若干根互相平行的测试垫，设置于所述待测试器件上；以及若干探针扎针垫，分别交错排列设置于每根所述测试垫上；其中，利用一组所述测试探针扎于所述探针扎针垫上以对所述待测试器件进行电性测试时，相邻的所述测试垫之间的间距与两相邻的所述测试垫宽度之和小于一组测试探针的扎针位置之间的距离，且一组测试探针至少包括2根测试探针。上述的结构，其中，一组测试探针扎针位置之间设置有至少一根所述测试垫。上述的结构，其中，任意两根相邻的所述测试垫之间的间距D小于或等于45um。上述的结构，其中，一组测试探针扎针位置之间的间距L大于或等于n*D，且n为正整数。上述的结构，其中，每根所述测试垫的长度为200um。上述的结构，其中，每根所述测试垫的宽度为110um。上述的结构，其中，任意相邻两根所述测试垫之间的间距均相等。一种电性测试方法，其特征在于，所述方法包括：提供一设置有若干根互相平行的测试垫的待测试器件,且所述测试垫上设有扎针位置所述测试垫上皆包括有扎针位置；将测试探针扎针于所述测试垫的扎针位置上，以对所述待测试器件进行所述电性测试；其中，所述测试探针的扎针位置处交错分布于所述测试垫上。上述的方法，其中，所述方法中：同组所述测试探针的扎针位置处之间跨越至少一根所述测试垫，以进行所述电性测试，且一组测试探针至少包括2根测试探针。上述的方法，其中，所述测试垫上设置有探针扎针垫，所述测试探针扎于所述探针扎针垫上以进行所述电性测试。综上所述，本专利技术提出了一种测试垫布局结构及电性测试方法，该测试垫布局结构主要针对测试探针的扎针距离而设定，主要通过将待测试器件上设置测试垫的电性测试扎针位置交错排列，进而在确保探针扎针位置之间额定距离的同时，有效降低测试垫的分布区域范围，布局结构分为N组，各组中的测试垫相邻距离均为A，且任意一组的相邻测试垫间均具设置有剩余组中其他测试垫，进而使测试垫结构中的相邻测试垫间的间距体现为A/N，一定程度上减少了测试垫占据的外围空间，符合器件窄边框的要求，同时适用于密集型线路的电性测试中。附图说明参考所附附图，以更加充分的描述本专利技术的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本专利技术范围的限制。图1是现有探针扎针测试示意图；图2是本专利技术隔开一个PAD进行探针扎针测试示意图；图3是本专利技术隔开两个PAD进行探针扎针测试示意图。具体实施方式为了使本专利技术的技术方案及优点更加易于理解，下面结合附图作进一步详细说明。应当说明，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。实施例一如图2和图3所示，本专利技术设计了一种测试垫布局结构，该结构应用于测试探针进行电性测试中，其中包括有：若干条互相平行的测试垫2，一组PAD依次交错排列，每个测试垫上均设置有探针扎针针垫，则相邻的测试垫上的探针扎针垫交错排列，且一组待测试垫2的中心间距与测试探针1的扎针距离相同。利用测试探针对待测试器件进行电性测试时，一组测试探针扎针位置处之间的距离大于相邻的测试垫之间的距离与相邻两测试垫宽度之和。本申请的技术方案，可基于传统测试垫布局的基础上，通过在相邻的测试垫之间增加新的测试垫，进而节省整个测试垫的布局空间，且在利用测试探针在进行传统扎针测试时，可通过调整测试探针的扎针方式诸如在对相邻的测试焊垫进行测试可使得扎针位置相互错开，或在以间隔的方式针对不相邻的测试焊垫进行扎针测试，即在保持测试探针之间距离不变的前提下，仅改变测试探针的扎针方式实现对待测器件的电性测试，进而有效的节省整个测试器件的排列空间。另外，交错排列也就是说，在每一组的PAD中包括有其他组的PAD，且根据一组的PAD间距进行设置探针间距，在本专利技术中，一组探针设置至少为两个，则一组PAD同样为两个，任意相邻的两根测试垫之间的间距D小于或等于45um，一组测试探针扎针的位置的间距L大于等于n*D，且n是不为一的正整数。从以上信息可知，探针的距离是和一组中的PAD间距相等的，那么在一组PAD中还设置有其他组的测试垫，则在预先设置的时候，使得交错分布的每个PAD之间的间距都是相等的，这样在后续进行探针测试的时候可以更方便的进行探针位置找准。在上述内容中，一组测试垫中都有若干其他组测试垫中的测试垫，至于具体有多少个，可以根据实际生产情况来确定，其结果都是为了进行电性测试的时候能更加方便高效率的完成电性测试的。一般的电性测试都是一组探针对两条测试垫进行电性测试，测试完一组再移动位置测试下一组，测试垫的占用空间较大，本专利技术优选的是两个探针对两个测试垫同时进行电性测试，而一组中两个测试垫的间距可以跟原来每个测试垫的摆放间距相同，然后在一组测试垫之间再放置若干其他组的测试垫，依次交错下去。或者是探针的间距和一组的测试垫间距相同的情况下，探针在移至下一组测试垫进行电性测试的距离减小，就是在不改变测试探针间距的情况下，缩小测试垫摆放的间距，这样就可以缩小测试垫所占的空间。在本专利技术中，每个测试垫的间距设置为45um，每个PAD的宽度为110um，每个PAD的长度为200um。而在本专利技术中，任意两组的进行电性测试的测试垫上的扎针位置可以相同，也可以不同，但是一组测试垫扎针位置都是在同一条线上的，即一组中的测试垫扎针位置是相同的。这样，本专利技术提出了一种测试垫布局结构，该测试垫布局结构主要针对测试探针的扎针距离而设定，主要通过将测试垫布局结构分为N组，各组中的测试垫相邻距离均为A，且任意一组的相邻测试垫间均具设置有剩余组中其他测试垫，进而使测试垫结构中的相邻测试垫间的间距体现为A/N，一定程度上减少了测试垫占据的外围空间，符合器件窄边框的要求，同时适用于密集型线路的电性测试中。实施例二另外，本申请还涉及一种电性测试的方法，该方法可运用上述的电测试垫布局结构，具体包括：首先，当需要对待测试器件进行电性测试时，可先于该待测试器件之上的测试区域中设置若干根相互平行且与待测试器件中设置的器件结构连接的测试垫，且每根测试垫均可设置为条状结构(如长度(Length)为200um宽度(width)为110um的条状结构，且相邻的测试垫之间间隔(Space)为45um，即PADpitch为155um)。其次，利用测试探针扎针于上述的测试垫上，以对待测试器件进行电性测试；而为了提升电性测试的性能可将测试探针扎针于测试垫上的位置处以交本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测试垫布局结构，应用于利用测试探针对待测试器件进行的电性测试中，其特征在于，包括：若干根互相平行的测试垫，设置于所述待测试器件上；以及若干探针扎针垫，分别交错排列设置于每根所述测试垫上；其中，利用一组所述测试探针扎于所述探针扎针垫上以对所述待测试器件进行电性测试时，相邻的所述测试垫之间的间距与两相邻的所述测试垫宽度之和小于一组所述测试探针的扎针位置之间的距离，且一组所述测试探针至少包括2根所述测试探针。

【技术特征摘要】
1.一种测试垫布局结构，应用于利用测试探针对待测试器件进行的电性测试中，其特征在于，包括：若干根互相平行的测试垫，设置于所述待测试器件上；以及若干探针扎针垫，分别交错排列设置于每根所述测试垫上；其中，利用一组所述测试探针扎于所述探针扎针垫上以对所述待测试器件进行电性测试时，相邻的所述测试垫之间的间距与两相邻的所述测试垫宽度之和小于一组所述测试探针的扎针位置之间的距离，且一组所述测试探针至少包括2根所述测试探针。2.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，一组测试探针扎针位置之间设置有至少一根所述测试垫。3.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，任意两根相邻的所述测试垫之间的间距D小于或等于45um。4.根据权利要求3所述的结构，其特征在于，一组测试探针扎针位置之间的间距L大于或等于n*D，且n为正整数。5.根据权利要求1所述的结构，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭军，
申请(专利权)人：上海和辉光电有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31