定位机构制造技术

本发明专利技术提供一种定位机构，其包括基板、支撑单元、导向单元、定位单元、面板单元和切换单元，所述基板设置于所述定位机构的底部，所述支撑单元设置于所述基板顶部表面，所述定位单元设置于所述支撑单元的顶部两端，其对所述导向单元进行限位，所述导向单元设置于所述支撑单元的顶部并与所述面板单元连接，所述切换单元固定于所述支撑单元，并与所述导向单元连接且驱动所述导向单元在所述定位单元之间往复运动。所述定位结构具有精度高、稳定性好及结构紧凑的优点。

Positioning mechanism

The invention provides a positioning mechanism, which comprises a base plate, a supporting unit, a guide unit, a positioning unit, a panel unit and a switching unit, wherein the substrate is arranged on the positioning mechanism at the bottom of the support unit is arranged on the top surface of the substrate, the positioning unit is arranged on the top ends of the supporting unit and the limit of the guide unit, the guide unit is arranged on the top of the support unit is connected with the panel unit, the switching unit is fixed to the support unit, and the guide unit connected and driving the reciprocating guide unit between the positioning unit movement. The positioning structure has the advantages of high precision, good stability and compact structure.

【技术实现步骤摘要】
定位机构
本专利技术涉及一种定位机构。
技术介绍
随着半导体集成电路的飞速发展，目前晶圆的尺寸不断增大，对集成电路探针测试设备提出了更高的要求。晶圆变大集成度变高会导致测试行程和定位精度的要求相应提高，就就造成加工难度及制造难度成倍增加，从而极大增加了生产成本。因此，有必要提供一种结构紧凑、定位精度高、稳定性好的定位机构。
技术实现思路
本专利技术的目的是为解决测试行程边长导致的精度降低的技术问题，本专利技术提供一种定位机构。一种定位机构，所述定位机构包括基板、支撑单元、导向单元、定位单元、面板单元和切换单元，所述基板设置于所述定位机构的底部，所述支撑单元设置于所述基板顶部表面，所述定位单元设置于所述支撑单元的顶部两端，其对所述导向单元进行限位，所述导向单元设置于所述支撑单元的顶部并与所述面板单元连接，所述切换单元固定于所述支撑单元，并与所述导向单元连接且驱动所述导向单元在所述定位单元之间往复运动。进一步地，所述支撑单元包括相对平行间隔设置的第一支撑座和第二支撑座，所述第一支撑座和所述第二支撑座均设置于所述基板的顶部表面。进一步地，所述第一支撑座和所述第二支撑座整体呈框架结构，均包括基座、支撑柱组件和支撑面，所述支撑柱组件设置于所述基座和所述支撑面之间并分别与所述基座和所述支撑面连接。进一步地，所述导向单元包括导轨和导向滑块，所述导轨与所述支撑面连接，所述滑块顶面与所述面板单元固定连接，底部设置于所述导轨上，使所述滑块沿所述导轨的延伸方向往复运动，所述导向单元的个数为两个，所述两个导向单元分别设置于所述第一支撑座和所述第二支撑座的支撑面顶部。进一步地，所述定位单元的个数为两个，所述两个定位单元分别分别设置于所述第一支撑座和所述第二支撑座的支撑面的两端，所述两个定位单元均包括第一定位组件和所述第二定位组件，其中所述第一定位组件和所述第二定位组件分别设置于其对应所述支撑面的两端，且二者均包括定位块和缓冲器，所述定位块用于对所述导向单元进行限位，所述缓冲器卡置于所述定位块内，用于对所述导向单元与所述定位块接触时进行缓冲。进一步地，所述切换单元包括包括气缸、伸缩杆、连接块和切换单元固定组件，所述气缸具有收容空间，所述伸缩杆可伸出或收于所述气缸的收容空间内，所述连接块与所述伸缩杆末端连接并同时与所述滑块连接，所述切换单元固定组件用于连接气缸和所述第一支撑座。进一步地，所述切换单元还包括接头，所述接头两端分别连接速搜伸缩杆和所述连接块。进一步地，所述接头为浮动接头。进一步地，还包括辅助定位单元，所述辅助定位单元与所述第一支撑座连接，用于对所述导向单元进行辅助固定。进一步地，所述辅助定位单元包括辅助气缸限流器、辅助气缸固定座组件、辅助气缸导向座、导杆组件、辅助气缸转接座和辅助定位块组件，所述辅助气缸限流器设置于所述辅助气缸固定座组件底部，所述辅助气缸导向座卡置于所述辅助气缸固定座组件，所述导杆设置顶端与辅助气缸转接座连接，所述辅助气缸转接座与所述辅助定位块组件连接，所述导杆组件设置所述辅助气缸导向座内并能够上下移动，进而带动所述辅助定位块组件上下移动，所述辅助定位块组件向上移动能够与所述连接块抵接。本专利技术提供的定位机构将所述面板单元的工作行程缩短，提高了所述定位机构的定位精度。此外所述定位机构具有两个工作位，同时提供了其稳定性；且结构紧凑，占地面积小，可以在同等空间内提高设备的排布密度。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：图1是本专利技术定位机构的立体组合图。图2是图1中的定位机构的部分结构的立体分解图。图3是图2所示的定位机构的部分结构的立体分解图。图4是图3中所示定位机构的部分结构另一角度的立体分解图。图5是图1中所示的辅助定位单元的立体分解图。图6是图1中所示的定位机构的第一工作状态示意图。图7是图1中所示的定位机构的第二工作状态示意图。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。除非上下文另有特定清楚的描述，本专利技术中的元件和组件，数量既可以单个的形式存在，也可以多个的形式存在，本专利技术并不对此进行限定。本专利技术中的步骤虽然用标号进行了排列，但并不用于限定步骤的先后次序，除非明确说明了步骤的次序或者某步骤的执行需要其他步骤作为基础，否则步骤的相对次序是可以调整的。下面结合附图和实施方式对本专利技术作进一步说明。请参阅图1，图1是本专利技术定位机构的立体组合图。所述定位机构100可以与视觉组件200和高精度四轴平台300共同使用。三者共同使用可以用于对半导体集成电路及LED行业对晶元进行测试。所述定位机构100可包括基板10、支撑单元20、导向单元30、定位单元40、面板单元50、切换单元60和辅助定位单元70。所述支撑单元20设置于所述基板10顶部表面，所述导向单元30设置于所述支撑单元20顶部，所述定位单元40同样设于所述支撑单元20并对所述导向单元30的位置进行限定。所述面板单元50与所述导向单元30连接。所述切换单元60驱动所述导向单元30运动，进而带动所述面板单元50运动。所述辅助定位单元70用于对所述导向单元30进行定位。所述视觉组件200可以设置于所述面板单元50，所述高精度四轴平台300可以设置于所述支撑单元20和所述面板单元50组配形成的空间内。所述基板10设置于所述定位机构100的底部。所述基板10水平设置，其为所述定位机构100的其它部件提供一稳固支撑。请结合参阅图2，是图1中的定位机构的部分结构的立体分解图。所述支撑单元20设置于所述基板10的顶部平面。所述支撑单元20包括第一支撑座21和第二支撑座22，当然，所述第一支撑座21和所述第二支撑座22均设置于所述基板10的顶部表面，且所述第一支撑座21和所述第二支撑座22相对设置，且二者之间呈一定的间隔。可以理解，所述第一支撑座21和所述第二支撑座22之间的间隔大小可以根据实际需要进行调节。所述支撑单元20为所述定位机构的基准，其为设置于其上的导向单元30及面板单元50提供一稳定可靠的支撑，并且同时提供了稳定可靠的工作基准。所述第一支撑座21固定于所述基板10顶部表面。所述第一支撑座21整体呈框架结构，其包括基座211、支撑柱组件212和支撑面213。所述支撑柱组件212设置于所述基座211和所述支撑面213之间并分别与所述基座211和所述支撑面213连接。在本实施方式中，所述第一支撑座21为一体成型结构，且所述支撑座21为金属材质。所述基座211的底面与所述基板10连接，所述基座211的顶面与所述支撑柱组件212连接。在本实施方式中，所述支撑柱组件212包括第一支撑柱2121、第二支撑柱2122和第三支撑柱2123。所述第一支撑柱2121、所述第二支撑柱2122和所述第三支撑柱2123依次平行间隔设置，所述第二支撑柱2122设置于所述第一支撑柱2121和所述第三支撑柱2123之间。此外，所述第一支撑柱2121、所述第本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种定位机构，其特征在于，所述定位机构包括基板、支撑单元、导向单元、两定位单元、面板单元和切换单元，所述基板设置于所述定位机构的底部，所述支撑单元设置于所述基板顶部表面，该两定位单元设置于所述支撑单元的顶部两端，其对所述导向单元进行限位，所述导向单元设置于所述支撑单元的顶部并与所述面板单元连接，所述切换单元固定于所述支撑单元，并与所述导向单元连接且驱动所述导向单元在该两定位单元之间往复运动。

【技术特征摘要】
1.一种定位机构，其特征在于，所述定位机构包括基板、支撑单元、导向单元、两定位单元、面板单元和切换单元，所述基板设置于所述定位机构的底部，所述支撑单元设置于所述基板顶部表面，该两定位单元设置于所述支撑单元的顶部两端，其对所述导向单元进行限位，所述导向单元设置于所述支撑单元的顶部并与所述面板单元连接，所述切换单元固定于所述支撑单元，并与所述导向单元连接且驱动所述导向单元在该两定位单元之间往复运动。2.如权利要求1所述的定位机构，其特征在于，所述支撑单元包括相对平行间隔设置的第一支撑座和第二支撑座，所述第一支撑座和所述第二支撑座均设置于所述基板的顶部表面。3.如权利要求2所述的定位机构，其特征在于，所述第一支撑座和所述第二支撑座整体呈框架结构，均包括基座、支撑柱组件和支撑面，所述支撑柱组件设置于所述基座和所述支撑面之间并分别与所述基座和所述支撑面连接。4.如权利要求3所述的定位机构，其特征在于，所述导向单元包括导轨和导向滑块，所述导轨与所述支撑面连接，所述滑块顶面与所述面板单元固定连接，底部设置于所述导轨上，使所述滑块沿所述导轨的延伸方向往复运动，所述导向单元的个数为两个，所述两个导向单元分别设置于所述第一支撑座和所述第二支撑座的支撑面顶部。5.如权利要求3所述的定位机构，其特征在于，所述两个定位单元分别分别设置于所述第一支撑座和所述第二支撑座的支撑面的两端，每一定位单元均包括第一定位组件和所述第二定位组件，其中所述第一定位组件和所...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨应俊，沈杰，雷迪，柯权珍，邢川川，杨波，王胜利，
申请(专利权)人：深圳市矽电半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44