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一种测试垫布局结构及电性测试方法技术
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文档序号:15390154
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本发明涉及半导体检测领域,尤其涉及一种测试垫布局结构及电性测试方法。该测试垫布局结构主要针对测试探针的扎针距离而设定,主要通过将测试垫布局结构分为N组,各组中的测试垫相邻距离均为A,且任意一组的相邻测试垫间均具设置有剩余组中其他测试垫,进而...
该专利属于上海和辉光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海和辉光电有限公司授权不得商用。
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