The invention provides a preparation method of non evaporable getter carbon nanotubes and method based on the specific preparation method is as follows: the suction powder and carbon nanotube containing tert butyl alcohol based solvent mixture, suction powder slurry is injected into the mold forming; prefabricated, will be injected into the suction element after the billet mold together with the mold and put them in low temperature oven, in 50 ~ 5 DEG C after rapid freezing forming billet; and then put into the vacuum box, dealcoholizing treatment by billet dealcoholizing treatment getter element; vacuum sintering, prepared non evaporable carbon nanotube based gas absorbing agent. The preparation method of the invention has the advantages of simple preparation, greatly improves the efficiency, cost reduction, product size and good consistency, getter prepared by multi walled carbon nanotubes as skeleton, metal powder suction surface, prepared by surface active getter, high porosity and uniform suction rate, inspiratory capacity large and low activation temperature, the use of good.
【技术实现步骤摘要】
一种基于碳纳米管的非蒸散型吸气剂及其制备方法
本专利技术属于吸气剂材料
,具体涉及一种基于碳纳米管的非蒸散型吸气剂接制备方法。
技术介绍
随着电子技术和真空技术的飞速发展,人们对电子材料和真空材料的使用性能也不断提出更高的要求,而吸气材料的更新进步则成为促进其发展的关键技术之一。吸气材料是指在一定条件下,对气体具有特殊活性的材料。由于它具有优良的使用性能,使其在电子真空技术等领域内占据着不可替代的重要地位。吸气剂根据吸气机理可分为蒸散型吸气剂和非蒸散型吸气剂,蒸散型吸气剂是一种在蒸散时和蒸散成膜后能吸气的吸气剂,但是使用器件受到限制。非蒸散型吸气剂由金属如Zr、Ti、Nb、Ta、V及它们的合金组成,这些合金还可以含一些添加元素,如Al、Ni或Fe等。非蒸散型吸气剂中含有能与气体之间发生表面化学反应及溶解气体的活性金属元素,还含有防止在烧结时活性金属元素聚集的抗烧结元素。目前吸气剂的传统制备工艺又涂覆型、机械压制型和粉末注塑型,其中涂覆型是将吸气粉末浆料逐层涂覆到带有绝缘层的加热丝上,制备形成的吸气剂的尺寸稳定性差,且孔隙率低,比表面积小,吸气速率低,机械压制型也只能用于外加热型元件,使用领域受到很大限制,粉末注塑型需要在制备工程中添加含量较高的聚乙烯、聚丙烯等粘结剂,而且需要经过混炼、制粒、注塑、化学脱脂、热脱脂、真空烧结等步骤,工序繁多,成本较高,且过多的粘结剂的存在会降低吸气粉末的活性。因此开发一种工序简单可操作的吸气元件显得十分必要。中国专利CN100488865C公开的纳米吸气剂制备方法,将化学气相沉积生长的碳纳米管的表面涂覆一层Ti、Zr、 ...
【技术保护点】
一种基于碳纳米管的非蒸散型吸气剂,其特征在于:所述基于碳纳米管的非蒸散型吸气剂为多孔非蒸散型吸气剂,所述基于碳纳米管的非蒸散型吸气剂包括多壁碳纳米管和吸气粉末,所述吸气粉末的粒径为10‑50nm,所述吸气粉末由Ti、Zr、V、Fe、Nb、Mn、Al、Mo、Ni、LA、Ce、Pr、Nd中的一种或者多种构成,所述多孔非蒸散型吸气剂的多孔结构由叔丁醇低温冻干低温真空脱醇形成。
【技术特征摘要】
1.一种基于碳纳米管的非蒸散型吸气剂,其特征在于:所述基于碳纳米管的非蒸散型吸气剂为多孔非蒸散型吸气剂,所述基于碳纳米管的非蒸散型吸气剂包括多壁碳纳米管和吸气粉末,所述吸气粉末的粒径为10-50nm,所述吸气粉末由Ti、Zr、V、Fe、Nb、Mn、Al、Mo、Ni、LA、Ce、Pr、Nd中的一种或者多种构成,所述多孔非蒸散型吸气剂的多孔结构由叔丁醇低温冻干低温真空脱醇形成。2.根据权利要求1所述的一种基于碳纳米管的非蒸散型吸气剂,其特征在于:所述基于碳纳米管的非蒸散型吸气剂中多壁碳纳米管的质量分数为1-5%。3.一种基于碳纳米管的非蒸散型吸气剂的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)浆料配置:将吸气粉末与含碳纳米管的叔丁醇基溶剂混合,形成吸气粉末浆料;(2)低温成型:将步骤(1)制备的吸气粉末浆料注入到预制模具中,将注入模具后的吸气元件坯材连同模具一同放进低温烘箱中,在-50~-5℃下经快速冷冻处理5-30min,形成坯材;(3)低温真空脱醇:将步骤(2)制备的坯材放入真空箱中,在低于1000Pa的真空度下,在-50~20℃下进行脱醇处理2-20h,得到经脱醇处理的吸气剂元件坯材;(4)真空烧结:将步骤(3)制备的经脱醇处理的吸气剂元件坯材放入真空烧结炉中,在低于10-2Pa的真空度下,在800-1200℃下进行真空烧结,制得基于碳纳米管的非蒸散型吸气剂。4.根据权利要求3所述的一种基于碳纳米管的非蒸散型吸气剂的制备方法,其特征在于:所述步骤(1...
【专利技术属性】
技术研发人员:李风浪,
申请(专利权)人:东莞市联洲知识产权运营管理有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。