一种激光封装运动台制造技术

本实用新型专利技术涉及一种激光封装运动台，包括大理石、龙门架以及用于承载玻璃基板的基板台，其中，所述基板台安装于所述大理石上，并能够相对于所述大理石沿Rz向旋转；所述基板台上设有预定位机构，所述预定位机构限定所述玻璃基板在所述基板台上的位置；激光头安装于所述龙门架上，所述龙门架带动所述激光头沿X向、Y向和Z向滑动。本实用新型专利技术中，整合了运动轴，将基板台与龙门架重复的运动自由度去掉，有效地降低了设备成本。预定位机构的结构简单，简化了影响定位精度的因素，有效的提高了预定位精度，延长了使用寿命。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及激光封装设备领域，尤其涉及一种激光封装运动台。
技术介绍
有机发光二极管又称为有机电激光显示(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)，OLED是平板显示和照明领域的一个重大发展方向，根据OLED的工艺需求，由于OLED芯片的寿命极易受到氧气，水气的影响，因此需要一道工艺将其封装在密闭空间里，以隔离外部环境。要提高OLED的寿命，激光封装是一个有前景的工艺手段，就需要相应的激光封装设备用于完成激光封装工艺。运动台是激光封装设备的核心部分之一，现有设备中的运动台，由龙门架运载激光头进行X、Y、Z向的步进运动，由基板台承载待封装的玻璃基板，所述基板台设有X、Y、Rz以及Z向运动，具备预定位、调焦、对准功能。其中，玻璃基板的预定位，是通过每边各设两个可移动的定位销，同时向几何中心运动实现；调焦功能，通过基板台的Z轴机构的运动，配合龙门架上的视觉系统实现；对准功能，通过基板台的X、Y、Rz机构的耦合运动，配合龙门架上的视觉系统实现。但是现有设备中的运动台，为实现激光封装、调焦、对准功能设定的自由度有重复(即龙门架需要作X、Y、Z向运动，基板台需要作X、Y、Rz以及Z向运动)，相应的运动控制系统多，成本难以降低；基板预定位机构的结构复杂，玻璃基板以X、Y向中心面为基准定位，影响定位精度的因素多，预定位精度难以提高。
技术实现思路
本技术提供一种激光封装运动台，以解决现有技术中运动自由度有重复，预定位机构复杂，玻璃基板参与定位的因素多，进而导致成本难以下降，玻璃基板预定位精度难以提高等问题。为解决上述技术问题，本技术提供一种激光封装运动台，包括大理石、龙门架以及用于承载玻璃基板的基板台，其中，所述基板台安装于所述大理石上，并能够相对于所述大理石沿Rz向旋转；所述基板台上设有预定位机构，所述预定位机构限定所述玻璃基板在所述基板台上的位置；激光头安装于所述龙门架上，所述龙门架带动所述激光头沿X向、Y向和Z向滑动。较佳地，所述龙门架包括两个立柱、两个Y向滑轨、第一滑块、X向滑轨、第二滑块、Z向滑轨以及第三滑块，所述两个立柱沿Y向固定设置于所述大理石上，所述两个Y向滑轨分别固定于两个立柱上，所述第一滑块架设于所述两个Y向滑轨上，并能够沿Y向滑动；所述X向滑轨固定于所述第一滑块上，所述第二滑块安装于所述X向滑轨上，并能够沿X向滑动；所述Z向滑轨固定于所述第二滑块上，所述第三滑块安装于所述Z向滑轨上，并能够沿Z向滑动；所述激光头固定安装于所述第三滑块上。较佳地，所述第一滑块、第二滑块和第三滑块的运动均采用无刷直线电机驱动。较佳地，所述基板台包括基板吸盘和Rz轴旋转电机，所述Rz轴旋转电机的定子部分固定于所述大理石上，所述Rz轴旋转电机的转子部分与所述基板吸盘固定连接。较佳地，所述预定位机构包括三个定位销以及一个推压机构，所述定位销固定于所述基板吸盘上，所述推压机构固定于所述大理石上。较佳地，其中两个定位销设于所述玻璃基板的第一边处，另一个定位销设于与上述第一边相邻且垂直的第二边处，所述推压机构设于与上述第一边和第二边组成的顶角相对的顶角处。较佳地，所述定位销上还设有一限位板，所述限位板位于所述玻璃基板上方。较佳地，所述定位销与所述基板吸盘之间还设有一轴承，所述玻璃基板与所述轴承的外圈接触。与现有技术相比，本技术提供的一种激光封装运动台具有如下优点：1、本技术中，基板台只进行Rz方向的运动，龙门架进行X、Y、Z方向的运动，将基板台与龙门架重复的运动自由度去掉，有效地降低了设备成本；2、现有技术中基板台采用微动台+Z轴机构，微动台的X、Y行程为5mm，采用旋转电机+连轴器+滚珠丝杠机构传动，定位精度±10um，重复定位精度±1um；Z轴机构旋转电机+连轴器+滚珠丝杠+直线导轨机构传动，行程30mm，定位精度±10um，重复定位精度±5um；而本技术的龙门架，X、Y、Z轴电机采用无刷直线电机驱动，定位精度为±5um，重复定位精度为±1um，将基板台的X、Y、Z运动自由度改由龙门架实现，性能比现有技术有所提高；3、现有技术中，基板预定位机构由8个压轮分别向玻璃基板的中心相向运动以完成定位，结构上需4个压轮驱动机构，影响定位精度的因素有4个压轮驱动机构的运动精度、玻璃基板4个边的轮廓精度以及玻璃基板标记的印刷精度；而本技术的预定位机构，由固定在基板吸盘上的定位销和固定在大理石上的推压机构组成，玻璃基板的预定位由玻璃基板相邻两垂直边和定位销共同完成，影响定位精度的因素有玻璃基板2个边的轮廓精度和玻璃基板标记的印刷精度，结构简单，提高了定位精度，延长了寿命。附图说明图1为本技术实施例一的激光封装运动台的结构示意图；图2为图1的俯视图；图3为本技术实施例二的激光封装运动台中定位销的结构示意图。图中：100-大理石、200-龙门架、210-立柱、220-Y向滑轨、230-第一滑块、240-X向滑轨、250-第二滑块、260-Z向滑轨、270-第三滑块、300-基板台、310-基板吸盘、320-Rz轴旋转电机、331-定位销、332-推压机构、333-轴承、334-限位板、400-玻璃基板。具体实施方式为了更详尽的表述上述技术的技术方案，以下列举出具体的实施例来证明技术效果；需要强调的是，这些实施例用于说明本技术而不限于限制本技术的范围。实施例一本技术提供的一种激光封装运动台，如图1和2所示，包括大理石100、龙门架200以及用于承载玻璃基板400的基板台300，其中，所述基板台300安装于所述大理石100上，并能够相对于所述大理石100沿Rz向旋转；所述基板台300上设有预定位机构，所述预定位机构限定所述玻璃基板400在所述基板台300上的位置；所述激光头(未图示)安装于所述龙门架200上，所述龙门架200带动所述激光头沿X向、Y向和Z向滑动。本技术中，整合了运动轴，将基板台300与龙门架200重复的运动自由度去掉，有效地降低了设备成本。较佳地，请继续参考图1和图2，所述龙门架200包括两个立柱210、两个Y向滑轨220、第一滑块230、X向滑轨240、第二滑块250、Z向滑轨260以及第三滑块270，所述两个立柱210沿Y向固定设置于所述大理石100上，所述两个Y向滑轨220分别固定本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光封装运动台，其特征在于，包括大理石、龙门架以及用于承载玻璃基板的基板台，其中，所述基板台安装于所述大理石上，并能够相对于所述大理石沿Rz向旋转；所述基板台上设有预定位机构，所述预定位机构限定所述玻璃基板在所述基板台上的位置；激光头安装于所述龙门架上，所述龙门架带动所述激光头沿X向、Y向和Z向滑动。

【技术特征摘要】
1.一种激光封装运动台，其特征在于，包括大理石、龙门架以及用于承载玻
璃基板的基板台，其中，
所述基板台安装于所述大理石上，并能够相对于所述大理石沿Rz向旋转；
所述基板台上设有预定位机构，所述预定位机构限定所述玻璃基板在所述基
板台上的位置；
激光头安装于所述龙门架上，所述龙门架带动所述激光头沿X向、Y向和Z
向滑动。
2.如权利要求1所述的激光封装运动台，其特征在于，所述龙门架包括两个
立柱、两个Y向滑轨、第一滑块、X向滑轨、第二滑块、Z向滑轨以及第三滑块，
所述两个立柱沿Y向固定设置于所述大理石上，所述两个Y向滑轨分别固定于
两个立柱上，所述第一滑块架设于所述两个Y向滑轨上，并能够沿Y向滑动；
所述X向滑轨固定于所述第一滑块上，所述第二滑块安装于所述X向滑轨上，
并能够沿X向滑动；所述Z向滑轨固定于所述第二滑块上，所述第三滑块安装
于所述Z向滑轨上，并能够沿Z向滑动；所述激光头固定安装于所述第三滑块上。
3.如权利要求2所述的激光封装运动台，其特征在于，所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁德志，葛军锋，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31