激光辅助的玻璃料封装装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种激光辅助的玻璃料封装装置及方法，该装置包括：激光扫描模块，用于对工件台上的玻璃料进行扫描和封装；膜厚采集模块，用于测量所述玻璃料的膜厚，并反馈至主机模块；位置信息处理模块，用于将玻璃料上的膜厚测量点的位置信息反馈至主机模块；主机模块，根据检测到的玻璃料的膜厚和对应位置信息，计算与该测量点所匹配的激光功率，并将信息反馈至激光扫描模块。本发明专利技术增添了膜厚采集模块，降低了膜厚测量功能的实现难度，并且由于使用的是原有光路，使膜厚与测量位置的同步控制实现更易。

【技术实现步骤摘要】
激光辅助的玻璃料封装装置及方法
本专利技术涉及集成电路制造领域，特别涉及一种激光辅助的玻璃料封装装置及方法。
技术介绍
近年来，OLED(有机发光二极管，OrganicLight-EmittingDiode)以其自发光、结构简单、超轻薄、响应速度快、色彩对比度高、宽视角、低功耗及可实现柔性显示等优异特性，已成为平板显示和照明领域的一个重要发展方向。目前OLED显示屏所采用的有机发光材料及电极对其周围环境中的水蒸气及氧气极度敏感，并因相互作用使其劣化造成暗点，而严重影响其寿命。为此需要对OLED进行极度苛刻的气密性封装。激光辅助的玻璃料封装工艺以其优良封装气密性、低温选择性及成熟工艺已成为当前OLED玻璃封装的首选封装工艺。激光辅助的玻璃料封装在封装过程中温度要求尽可能低，以减少对OLED器件的不良影响。而激光辅助玻璃料封装的原理是通过特定吸收波长的激光对玻璃料进行照射，产生热效应，使玻璃料温度迅速达到软化点以上。根据光吸收基本定律“物质对单色光吸收的强弱与吸光物质的浓度和厚度存在一定关系”，温度在玻璃料的传递中会呈现下降趋势，即离表面越远、厚膜越厚的玻璃料其温度衰减越厉害，所以为了使本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光辅助的玻璃料封装装置，包括：激光扫描模块，用于对工件台上的玻璃料进行扫描和封装；膜厚采集模块，用于测量所述玻璃料的膜厚，并反馈至主机模块；位置信息处理模块，用于将玻璃料上的膜厚测量点的位置信息反馈至主机模块；主机模块，根据检测到的玻璃料的膜厚和对应位置信息，计算与该测量点所匹配的激光功率，并将信息反馈至激光扫描模块。

【技术特征摘要】
1.一种激光辅助的玻璃料封装装置，包括：激光扫描模块，用于对工件台上的玻璃料进行扫描和封装；膜厚采集模块，用于测量所述玻璃料的膜厚，并反馈至主机模块；位置信息处理模块，用于将玻璃料上的膜厚测量点的位置信息反馈至主机模块；主机模块，根据检测到的玻璃料的膜厚和对应位置信息，计算与该测量点所匹配的激光功率，并将信息反馈至激光扫描模块；所述激光扫描模块包括：激光光源控制器、激光光源、第一分光板、振镜、平场聚焦镜、图像探测器、第三透镜以及第三分光板；其中，所述激光光源控制器用于控制激光光源的功率，激光光源发出的激光束经第一分光板反射至振镜和平场聚焦镜聚焦后照射到工件台表面的玻璃料上，经玻璃料反射的激光封装反射光信号沿原路返回经过第一分光板后，入射至第三分光板并进入到所述图像探测器中，所述激光光源控制器和图像探测器均与所述主机模块连接。2.如权利要求1所述的激光辅助的玻璃料封装装置，其特征在于，所述膜厚采集模块设置于激光扫描模块中并包括：测量光源、第二分光板和干涉物镜；其中，第二分光板设置在第一分光板与第三分光板之间的光路上，所述干涉物镜设置在所述振镜与所述平场聚焦镜之间，测量光源发出的测量光经第二分光板反射至所述第一分光板、振镜和干涉物镜并照射到工件台表面的玻璃料上，经玻璃料反射的膜厚采集反射光信号沿原路返回经过第一分光板、第二分光板后，入射至第三分光板并进入到图像探测器中。3.如权利要求2所述的激光辅助的玻璃料封装装置，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：任书铭，陈海华，黄元昊，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31