专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
上海微电子装备有限公司
>
激光辅助的玻璃料封装装置及方法制造方法及图纸
>技术资料下载
下载激光辅助的玻璃料封装装置及方法的技术资料
文档序号:13426255
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种激光辅助的玻璃料封装装置及方法,该装置包括:激光扫描模块,用于对工件台上的玻璃料进行扫描和封装;膜厚采集模块,用于测量所述玻璃料的膜厚,并反馈至主机模块;位置信息处理模块,用于将玻璃料上的膜厚测量点的位置信息反馈至主机模块;...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。