形成半导体装置的方法及其结构制造方法及图纸

本公开涉及形成半导体装置的方法及其结构。在一个实施例中，用于线性振动电机的控制电路可以配置成使用闭环运行模式然后开环运行模式驱动线性振动电机振动，且可以将其配置成使用抗驱动信号控制线性振动电机以停止振动，其中将频率调整为接近线性振动电机的自然频率的估计值。

【技术实现步骤摘要】
在先临时申请的优先权益本申请要求2015年8月28日提交的名称为“METHODOFFORMINGASEMICONDUTORDEVICEANDSTRUCTURETHEREFOR”的在先提交的临时申请no.62/211,182的优先权，案卷号为ONS01847，且具有共同专利技术人TsutomuMurata，此处通过引用将该临时申请并入本文。相关申请的交叉引用本申请涉及到名称为“METHODOFFORMINGASEMICONDUCTORDEVICEANDSTRUCTURETHEREFOR”、案卷号为ONS01847F2、且具有共同受让人和专利技术人TsutomuMurata的申请，其与本申请同时提交，且此处通过引用将其并入本文。本申请也涉及到名称为“METHODOFFORMINGASEMICONDUCTORDEVICEANDSTRUCTURETHEREFOR”、案卷号为ONS01847F3、且具有共同受让人和专利技术人TsutomuMurata的申请，其与本申请同时提交，且此处通过引用将其并入本文。
本专利技术总体涉及到电子产品，并且更具体地涉及到半导体、其结构以及形成半导体装置的方法。
技术介绍
过去，半导体工业利用各种方法和结构以形成半导体装置来控制线性振动电机。在一些情况下，电路将过度驱动线性振动电机且可能引起线性振动电机的重物在电机外壳中。当重物在外壳中时，经常引起听得到的噪音且也会打断线性振动电机的操作。在一些情况下，用于驱动线性振动电机的驱动信号的频率已经与设计用于线性振动电机的频率不同。这也是不希望的听得到的噪声，或者在一些情况下会降低操作的效果或者效率。因此，希望有一种电路和/或方法，其减少重物撞击外壳的发生，或者以更接近线性振动电机的设计频率的频率来驱动线性振动电机，或者提供更有效的操作。附图说明图1示范性示出根据本专利技术用于控制线性振动电机(LRA)的驱动控制电路的实施例的一部分的示例；图2以一般方式示出了根据本专利技术的可以适合用作图1的电路的LRA的线性振动电机的非限制性示例的截面图；图3是具有示出了可以通过根据本专利技术的图1的电路形成的一些信号的标绘图的图示；图4示范性示出了根据本专利技术可以是图1的电路的替换实施例的驱动控制电路的实施例的一部分的示例；图5是具有示出了可以通过根据本专利技术的图4的电路形成的一些信号的标绘图的图示；图6示范性示出了根据本专利技术可以是图1或图4的解码器电路的替换实施例的电路的实施例的一部分的示例；图7示出了根据本专利技术可以包括图1、4和/或6的电路中的至少一个的半导体装置的实施例的一部分的示例的放大平面图。为了简单且清楚的说明，图中的元件不必按比例示出，为了说明目的，一些元件可放大，且在不同图中的相同参考数字表示相同元件，除非另外说明。此外，公知的步骤和元件的描述和细节可省略以简化说明书。如本文中所使用的，电流承载元件或者电流承载电极意思是承载穿过装置的电流的装置的元件，诸如MOS晶体管的源极或漏极或者双极型晶体管的发射极或集电极或者二极管的阴极或阳极，且控制元件或者控制电极意思是控制穿过装置的电流的装置的元件，诸如MOS晶体管的栅极或者双极型晶体管的基极。此外，一个电流承载元件可以承载在一个方向上通过装置的电流，诸如承载进入装置的电流，而第二电流承载元件可以承载在相反方向上通过装置的电流，诸如承载离开装置的电流。尽管本文中可能将装置解释为某些N沟道或P沟道装置，或者某些N型或P型掺杂区，但是，本领域技术人员将理解，根据本专利技术也可以是互补装置。本领域技术人员将理解，导电类型涉及发生传导(诸如通过空穴或电子的传导)的机制，因此，导电类型不涉及掺杂浓度而是涉及掺杂类型，诸如P型或N型。本领域技术人员将理解，如本文中涉及到电路操作使用的词语“期间”、“同时”和“当...时”不是意味着一旦开始动作就立即发生动作的精确术语，而是可以存在一些小的但是合理的延迟，诸如由开始动作启动的反应之间的各种传播延迟。此外，术语“同时”意思是某一动作至少在开始动作持续时间的一些部分以内发生。使用词语“接近”或“基本上”意思是元件的值具有期望接近所述值或位置的参数。但是，如本领域所公知的，经常存在小的偏差会阻止值或位置和所述情况确切相同。在本领域中确立：高达至少百分之十(10％)的偏差(和对于包括半导体掺杂浓度的一些元件高达百分之二十(20％))是偏离所述情况精确的理想目标的合理偏差。当用于参考信号状态时，术语“肯定”(asserted)意思是信号的有效状态而术语“否定”(negated)意思是信号的无效状态。信号的实际电压值或者逻辑状态(诸如“1”或“0”)取决于使用的是正逻辑还是负逻辑。由此，取决于使用的是正逻辑还是负逻辑，肯定的可以是高电压或高逻辑或者低电压或低逻辑，并且取决于使用的是正逻辑还是负逻辑，否定的可以是低电压或低状态或者高电压或高逻辑。此处，使用正逻辑协定(convention)，但是本领域技术人员可理解，也可以使用负逻辑协定。权利要求或/和附图的详细描述中的术语“第一”、“第二”、“第三”等(如在元件名称的一部分中使用的)用于在相似元件之间进行区分，而不一定用于描述顺序，无论时间上的、空间上的排列方式或者任何其它方式。应当理解，如此使用的术语在适当环境下可互换，且本文描述的实施例能够以本文描述或示出以外的其它顺序操作。对“一个实施例”或“实施例”的引用意思是与该实施例相关描述的特定特征、结构或特性包括在本专利技术的至少一个实施例中。由此，贯穿说明书在各种地方出现的短语“在一个实施例中”或者“在实施例中”不必全部引用相同实施例，但是在一些情况下可以引用相同实施例。而且，如对本领域技术人员显而易见的，在一个或多个实施例中，可以任何适当方式组合特定的特征、结构或特性。以下示出且描述的实施例可适当具有实施例和/或可以在不存在本文未特定公开的任何元件的情况下实践。具体实施方式图1示范性示出了可以配置成控制线性振动电机(LRA)102的驱动控制电路100的一部分的实施例的示例。电路100可以接收供应电压用于操作电压输入133和电压返回134之间的电路100的元件。输入133可以配置成从电源接收操作电压，并且输入134可以配置成连接至电源(诸如地参考)的公共参考电压。图2以一般方式示出了可以适合于用作图1的LRA102的线性振动电机的非限制性示例的截面图。线性振动电机(LRA)可以包括定子和振子，且在一些实施例中可以包括重物(weight)。例如，磁体可以被视为定子，而附接有线圈的机构可以认为是振子。驱动控制电路100可以配置成供应驱动电流至线性振动电机(LRA)以引起重物上下振荡，如箭头所示。本领域技术人员将理解，其它线性振动电机也适合于LRA102。往回参考图1，驱动控制电路100可以具有以下实施例：其可以包括驱动信号生成电路或者驱动电路110、驱动器电路122、感应电压检测器电路或者检测器电路130以及零交叉(zerocross)检测电路或者零交叉电路140。电路122可以具有H桥驱动器的实施例。驱动信号生成电路110具有以下实施例：其可以包括锁存电路111、主计数器112、循环计数器113、解码器电路114、另一锁存电路115、差分计算电路或者差值电路116、另一锁存电路1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体装置，包括用于控制线性振动电机的电路，所述电路包括：第一电路，其被配置成形成驱动信号以控制通过所述线性振动电机的驱动电流的频率；第二电路，其被配置成选择性测量所述线性振动电机的振动的第一频率，所述第二电路具有耦合至所述第一电路的输出以将频率信号提供至所述第一电路；所述电路被配置成从所述线性振动电机接收BEMF信号并以闭环运行模式操作，从而形成第一频率的驱动电流以引起所述线性振动电机振动，所述电路被配置成响应于所述第一频率和所述线性振动电机的振动的频率之间的差值，将所述第一频率调整成基本为所述线性振动电机的振动的频率的第二频率；所述电路被配置成以闭环运行模式操作了驱动电流或驱动信号中的一个的第一数量的周期，所述电路具有计数器以计数周期的数量；所述第一电路被配置成响应于所述第一数量的周期结束，以开环运行模式操作了所述驱动电流或所述驱动信号中的一个的第二数量的周期，所述第一电路被配置成以基本固定的频率形成用于所述第二数量的周期的驱动电流，所述驱动电流具有第一相位；以及所述第一电路被配置成响应于所述第二数量的周期的终止，以制动模式操作且形成具有与所述第一相位相反的第二相位的驱动电流，所述电路被配置成在以制动模式操作的同时选择性测量所述线性振动电机的振动的第二频率，从而形成具有第三频率的驱动电流，并且将所述第三频率调整成基本为所述线性振动电机的振动的第二频率。...

【技术特征摘要】
2015.08.28 US 62/211,182;2016.08.22 US 15/242,7861.一种半导体装置，包括用于控制线性振动电机的电路，所述电路包括：第一电路，其被配置成形成驱动信号以控制通过所述线性振动电机的驱动电流的频率；第二电路，其被配置成选择性测量所述线性振动电机的振动的第一频率，所述第二电路具有耦合至所述第一电路的输出以将频率信号提供至所述第一电路；所述电路被配置成从所述线性振动电机接收BEMF信号并以闭环运行模式操作，从而形成第一频率的驱动电流以引起所述线性振动电机振动，所述电路被配置成响应于所述第一频率和所述线性振动电机的振动的频率之间的差值，将所述第一频率调整成基本为所述线性振动电机的振动的频率的第二频率；所述电路被配置成以闭环运行模式操作了驱动电流或驱动信号中的一个的第一数量的周期，所述电路具有计数器以计数周期的数量；所述第一电路被配置成响应于所述第一数量的周期结束，以开环运行模式操作了所述驱动电流或所述驱动信号中的一个的第二数量的周期，所述第一电路被配置成以基本固定的频率形成用于所述第二数量的周期的驱动电流，所述驱动电流具有第一相位；以及所述第一电路被配置成响应于所述第二数量的周期的终止，以制动模式操作且形成具有与所述第一相位相反的第二相位的驱动电流，所述电路被配置成在以制动模式操作的同时选择性测量所述线性振动电机的振动的第二频率，从而形成具有第三频率的驱动电流，并且将所述第三频率调整成基本为所述线性振动电机的振动的第二频率。2.如权利要求1所述的电路，其中所述电路被配置成响应于所述驱动电流的所述第一数量的周期的结束，选择性禁用所述第二电路且不测量所述线性振动电机的振动的频率。3.如权利要求2所述的电路，其中所述电路被配置成响应于所述第二数量的周期的结束，选择性启用所述第二电路且测量所述线性振动电机的振动的频率。4.如权利要求1所述的电路，还包括计数器，所述计数器被配置成计数所述驱动信号的周期，其中所述电路被配置成...

【专利技术属性】
技术研发人员：村田勉，
申请(专利权)人：半导体元件工业有限责任公司，
类型：发明
国别省市：美国;US