【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及稀有金属材料制备
，具体涉及一种Zn掺杂制备介电可调PST薄膜的方法。
技术介绍
有些材料的介电常数在外加直流电场作用下，能够发生规律性变化，这样就可以用简单的控制外加电压的方法达到控制电容的目的。材料的这一性能称为介电可调，有介电可调性能的材料称之为介电可调材料。介电可调材料可以用于移相器，滤波器，混频器，谐振器等。比如相控阵雷达的移相器，是利用控制电压的方法来控制阵列天线中各辐射单元的相位变化，使得天线波束指向在空间移动，而天线本身不需要作机械运动。由于它具有增益高、功率大、精度高、可靠性和稳定性高、容易与数字计算机结合等特点，因此引起了各国的重视。并且压控移相器有巨大的价格优势，它比采用其它技术的器件便宜一个数量级。就可调介电材料而言，目前研究较多、性能较好的主要是钛酸锶钡(BST)及其掺杂系列，但是BST系列的烧成温度比较高。
技术实现思路
本专利技术旨在提出一种溶胶凝胶法制备一种Zn掺杂制备介电可调PST薄膜的方法。本专利技术的技术方案在于：一种Zn掺杂制备介电可调PST薄膜的方法，采用如下步骤：步骤1：先驱体的制备：用醋酸铅加水在80℃下搅拌溶解碳酸锶，醋酸铅和醋酸锌，得到溶液甲；取适量钛酸丁酯用乙二醇甲醚搅拌溶解，得到溶液乙；甲乙两溶液混合，定容，搅拌1h，得到透明澄清的溶胶先驱体。步骤2：基板预先用NaOH溶液浸泡洗涤，再浸入酒精用超声波振荡20min，烘干；以上述先驱体为溶胶，在清洁基板上镀膜，湿薄膜风干后冷却；重复镀膜-风干-热处理过程，获...
【技术保护点】
一种Zn掺杂制备介电可调PST薄膜的方法，其特征在于：采用如下步骤：步骤1：先驱体的制备：用醋酸铅加水在80℃下搅拌溶解碳酸锶，醋酸铅和醋酸锌，得到溶液甲；取适量钛酸丁酯用乙二醇甲醚搅拌溶解，得到溶液乙；甲乙两溶液混合，定容，搅拌1h，得到透明澄清的溶胶先驱体;步骤2：基板预先用NaOH溶液浸泡洗涤，再浸入酒精用超声波振荡20 min，烘干；以上述先驱体为溶胶，在清洁基板上镀膜，湿薄膜风干后冷却；重复镀膜‑风干‑热处理过程，获得多层薄膜。
【技术特征摘要】
1.一种Zn掺杂制备介电可调PST薄膜的方法，其特征在于：采用如下步骤：
步骤1：先驱体的制备：
用醋酸铅加水在80℃下搅拌溶解碳酸锶，醋酸铅和醋酸锌，得到溶液甲；取适量钛酸丁酯用乙二醇甲醚搅拌溶解，得到溶液乙；甲乙两溶液混合，定容，搅拌1h，得到透明澄清的溶胶先驱体;
步骤2：基板预先用NaOH溶液浸泡洗涤，再浸入酒精用超声波振荡20min，烘干；以上述先驱体为溶胶，在清洁基板上镀膜，湿薄膜风干后冷却；重复镀膜-风干-热处理过程，获得多层薄膜。
2.如权利要求1一种Zn掺杂制备介电可调PST薄膜的方法，其特征在于：所述的制备前驱体的过程中采用溶胶凝胶工艺，以分析纯醋酸铅、、分析纯碳酸锶、化学纯...
【专利技术属性】
技术研发人员：王耀斌，
申请(专利权)人：陕西盛迈石油有限公司，
类型：发明
国别省市：陕西;61
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。