The utility model relates to a processing technique of a planar silicon target with holes, which belongs to the field of silicon target processing. The process comprises the following steps: (1) planar silicon target plate blank prepared; (2) opening plane of the silicon target: the common processing equipment, thin fine particle diamond bit size is the diameter of processing small aperture of 2 ~ 4mm, rotary grinding drilling, drilling can not be drilled through the side, need to be drilled into the side in the other side, flip through; (3) plane orifice chamfering of the silicon target; (4) aperture processing plane of the silicon target: the common processing equipment, using 400 ~ 1200 mesh range cylindrical resin diamond grinding wheel, rotating grinding to remove the pore size of 2 ~ 4mm is reserved; (5) plane precision planar silicon the target of the mill; (6) after processing the detection, cleaning, drying and packaging process. The silicon target can be processed by this technology, which can achieve high efficiency, high precision, good surface roughness and high yield.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于硅靶机械加工
,特别是涉及一种平面带孔硅靶机械加工技术工艺。
技术介绍
硅靶是一种重要的磁控溅射镀膜靶源,主要用于玻璃、平面显示、太阳能光伏、光通信存储等领域。随着磁控溅射镀膜技术快速发展与应用领域拓展,平面异形硅靶的需求日益增加,特别是一种平面带孔硅靶市场前景广阔。平面硅靶毛坯来源,常规是通过单晶炉提拉法制得单晶、多晶圆棒和通过铸锭炉定向凝固法制得多晶方锭,然后经过切割磨削制成硅靶。由于硅材质比雕刻用材(各种玻璃、水晶、玉石等)具有更高硬度、脆性特点,在机械切割磨削过程中如采用不适宜的加工工艺,极易产生崩边、崩角、裂纹等,严重影响产品成品率与生产成本。对于平面带孔硅靶由于需要在硅板材上加工出直径尺寸精度高(≤±0.1mm)、粗糙度好(≤Ra3.2)、无崩边、裂纹缺陷的孔径,其加工难度较高,常规采用数控金刚石线切割工艺,存在加工效率低下、粗糙度无法达到要求、成品率低、生产成本高等问题,甚至某些硅靶加工企业一直未涉及该方面的加工。为了适应市场需求,需要解决上述问题。
技术实现思路
本专利技术的目的针对现有技术存在的不足之处,提供一种仅用常规普通机械设备来加工平面带孔硅靶就能够提高生产成品率的工艺。本专利技术的技术方案为:一种平面带孔硅靶加工工艺,该工艺包括以下工序步骤;(1)平面硅靶板材毛坯的准备:按照常规加工工艺,通过金刚石带锯下料、树脂金刚石砂轮磨削、钢线砂浆切割或金刚石线切割等工艺手段,将硅靶除孔的其余外径尺寸全部加工完毕;也可将毛坯厚度(常规平面硅靶厚度尺寸在3~15mm范围)尺寸预留加工余量0.1~0.3mm(防止后续加工出现操作 ...
【技术保护点】
一种平面带孔硅靶加工工艺,其特征在于,该工艺包括以下工序步骤;(1)平面硅靶板材毛坯的准备:按照常规加工工艺,通过金刚石带锯下料、树脂金刚石砂轮磨削、钢线砂浆切割或金刚石线切割等工艺手段,将硅靶除孔的其余外径尺寸全部加工完毕,也可将毛坯厚度尺寸预留加工余量;(2)平面硅靶的开孔:根据客户图纸孔径尺寸要求,选择外径尺寸小2~4mm的薄壁细颗粒金刚石钻头,用普通机械加工设备,采用刀具旋转、工件旋转、刀具与工件同时旋转均可的方式,在钻孔时保证旋转部件稳定高速,进刀磨削先缓慢,待刀具头进入基体1~2mm后可加快钻孔速度,钻孔不可一面钻通,需先一面钻入,在翻转另一面钻通;(3)平面硅靶的孔口倒角:选用普通加工设备,采用400~800目范围内树脂金刚石伞状砂轮,对开孔后的孔口进行旋转磨削倒角,倒角尺寸一次到位,即加工时考虑孔径尺寸的2~4mm预留量去除后,倒角尺寸仍达到图纸要求。孔口倒角必须两面均加工完毕;(4)平面硅靶的孔径加工:选用普通加工设备,采用400~1200目范围内树脂金刚石圆柱状砂轮,旋转磨削去除孔径尺寸2~4mm预留量;(5)平面硅靶的平面精磨:如在硅靶板材的准备中厚度预留余量,选 ...
【技术特征摘要】
1.一种平面带孔硅靶加工工艺,其特征在于,该工艺包括以下工序步骤;(1)平面硅靶板材毛坯的准备:按照常规加工工艺,通过金刚石带锯下料、树脂金刚石砂轮磨削、钢线砂浆切割或金刚石线切割等工艺手段,将硅靶除孔的其余外径尺寸全部加工完毕,也可将毛坯厚度尺寸预留加工余量;(2)平面硅靶的开孔:根据客户图纸孔径尺寸要求,选择外径尺寸小2~4mm的薄壁细颗粒金刚石钻头,用普通机械加工设备,采用刀具旋转、工件旋转、刀具与工件同时旋转均可的方式,在钻孔时保证旋转部件稳定高速,进刀磨削先缓慢,待刀具头进入基体1~2mm后可加快钻孔速度,钻孔不可一面钻通,需先一面钻入,在翻转另一面钻通;(3)平面硅靶的孔口倒角:选用普通加工设备,采用400~800目范围内树脂金刚石伞状砂轮,对开孔后的孔口进行旋转磨削倒角,倒角尺寸一次到位,即加工时考虑孔径尺寸的2~4mm预留量去除后,倒角尺寸仍达到图纸要求。孔口倒角必须两面均加工完毕;(4)平面硅靶的孔径加工:选用普通...
【专利技术属性】
技术研发人员:盛旺,盛之林,范占军,谢永龙,马晓林,
申请(专利权)人:宁夏高创特能源科技有限公司,
类型:发明
国别省市:宁夏;64
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