一种无铁芯硅基电感制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体技术领域，特别地涉及一种无铁芯硅基电感。本实用新型专利技术公开了一种无铁芯硅基电感，包括硅衬底和导电线圈，所述导电线圈嵌入在硅衬底中，所述导电线圈具有多个匝，其相邻匝之间有间隔，所述间隔由硅衬底填充，所述导电线圈与硅衬底之间设有绝缘层。本实用新型专利技术不含铁芯，不存在磁饱和的问题，不仅拥有铁芯硅基电感的体积及重量小的特点，而且不需要磁性材料的注入，其加工工序的减少可以降低加工成本，缩短加工流程，提高产品一致性及成品率，且由于不需要磁性材料，原料种类减少，方便管理，从而降低产品成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于半导体
，具体地涉及一种无铁芯硅基电感。
技术介绍
电感，是用导线绕成一匝或多匝以产生一定自感量的电子元件，被广泛应用于各种电信和电力系统中。为了增加电感量、提高Q值并缩小体积，常在线圈中插入铁芯。同时，为了适应器件的小型化，大多数都是将电感制作在硅衬底上，如公开专利：CN102870175 B，就公开了一种含有铁芯的硅基功率电感，其应用于单片DC/DC变换器可显著减小器件的体积，但是在一些苛刻的应用场合，例如强辐射环境或者电磁干扰严重的场合，铁芯的磁性材料会因为外部极高的磁通密度导致磁饱和而失去效用，所以这种应用场合禁止选用任何磁性材料。另外这种含铁芯的硅基电感结构比较复杂，在生产过程中需要在有限的面积内注入磁性材料，加工工序繁杂，难度高，原材料多，管理麻烦，不利于成本降低，产品一致性较差，而且影响成品率。
技术实现思路
本技术目的在于为解决上述问题而提供一种不含铁芯，不受应用场合限制，不需要磁性材料的注入，可以减少加工工序和原料种类，缩短加工流程，方便管理，降低成本，提高产品一致性及成品率的无铁芯硅基电感。为此，本技术公开了一种无铁芯硅基电感，包括硅衬底和导电线圈，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种无铁芯硅基电感，包括硅衬底和导电线圈，其特征在于：所述导电线圈嵌入在硅衬底中，所述导电线圈具有多个匝，其相邻匝之间有间隔，所述间隔由硅衬底填充，所述导电线圈与硅衬底之间设有绝缘层。

【技术特征摘要】
1.一种无铁芯硅基电感，包括硅衬底和导电线圈，其特征在于：所述导电线圈嵌入在硅衬底中，所述导电线圈具有多个匝，其相邻匝之间有间隔，所述间隔由硅衬底填充，所述导电线圈与硅衬底之间设有绝缘层。2.根据权利要求1所述的无铁芯硅基电感，其特征在于：所述导电线圈为铜。3.根据权利要求1或2所述的无铁芯硅基电感，其特征在于：所述导电线圈为矩形螺旋状、多边形螺旋状、圆形螺旋状或螺旋管状。4.根据权利要求1所述的无铁芯硅基电感，其特征在于：所述绝缘层为二氧化硅。5.根据权利要求1所述的无铁芯硅基电感，其特征在于：还包括金属环，所述金属环嵌入在硅衬底中，所述导电...

【专利技术属性】
技术研发人员：王明亮，林风，许超群，
申请(专利权)人：英麦科厦门微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35