一种光伏电池硅片表面钝化气体喷淋组件及气体钝化设备制造技术

本发明专利技术提出一种光伏电池硅片表面钝化气体喷淋组件，其包括喷淋板装置和置于其下方的抽风装置，所述喷淋板装置包括壳体，其上设有与反应气体发生器连接的通气孔，设置在壳体内部且与壳体连接的气体匀流板组件，设置在壳体侧边的固定板和挡板；所述抽风装置置于喷淋板的正下方，待处理的硅片从喷淋板装置与抽风装置之间走过。本发明专利技术的光伏电池硅片表面气体钝化设备的气体喷淋组件采用三级气体匀流，可以保证气体在硅片片间及片内的均匀性；通过高度可调的设计方便实际应用时针对产线的具体情况进行调整，提高其应用上的适应性；另通过高度可调的挡板设计，避免了外界气体对反应气体的干扰进而影响硅片钝化的质量。本发明专利技术的气体喷淋组件及钝化设备，可以大幅提高硅片钝化的效果，提高硅片处理的良率，节省生产成本。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提出一种光伏电池硅片表面钝化气体喷淋组件，其包括喷淋板装置和置于其下方的抽风装置，所述喷淋板装置包括壳体，其上设有与反应气体发生器连接的通气孔，设置在壳体内部且与壳体连接的气体匀流板组件，设置在壳体侧边的固定板和挡板；所述抽风装置置于喷淋板的正下方，待处理的硅片从喷淋板装置与抽风装置之间走过。本专利技术的光伏电池硅片表面气体钝化设备的气体喷淋组件采用三级气体匀流，可以保证气体在硅片片间及片内的均匀性；通过高度可调的设计方便实际应用时针对产线的具体情况进行调整，提高其应用上的适应性；另通过高度可调的挡板设计，避免了外界气体对反应气体的干扰进而影响硅片钝化的质量。本专利技术的气体喷淋组件及钝化设备，可以大幅提高硅片钝化的效果，提高硅片处理的良率，节省生产成本。【专利说明】一种光伏电池硅片表面钝化气体喷淋组件及气体钝化设备
本专利技术涉及光伏太阳能电池制造
，特别涉及一种光伏电池硅片表面钝化气体喷淋组件及气体钝化设备。
技术介绍
随着传统的石化燃料的大规模使用造成的环境问题日益严峻，清洁能源如利用太阳能进行发电的光伏发电越来越受到各国的重视，近几年来得到了快速的发展，但在像中国这样的发展中国家，光伏发电的总量与传统的火力发电总量相比仍然非常小。与相比传统的火力发电，影响光伏发电迅速普及的一个重要原因就是发电成本仍然比较高，而降低光伏发电成本的一个重要途径就是提高光伏发电的效率。目前在光伏领域使用最多的是硅基板太阳电池，硅基板太阳电池的发电效率是与硅基板表面能够吸收到的太阳光的多少直接相关的。由于硅是间接带隙半导体，其对太阳光的反射率一般都在30%以上，因此，如何降低硅片表面的太阳光的反射率，让硅片表面尽可能多的吸收太阳光就成了提尚娃基板太阳电池发电效率的关键因素。目如的工艺中，最常采用的工艺是利用强酸对硅表面进行腐蚀从而在硅表面形成“蠕虫”结构来降低硅片表面的反射率，这种工艺成本较低但效果不是特别好，另外强酸也会带来安全生产上的问题；最近几年，反应离子刻蚀(RIE刻蚀)、等离子体刻蚀工艺得到了越来越多的使用，这种刻蚀方法形成的硅片绒面结构对光的反射率更低。为了提高太阳电池的转换效率，需要对表面制绒后的硅片进行有效的钝化，通过氧化法在硅表面形成二氧化硅薄膜，目前采用比较多的工艺是采用臭氧气体进行硅片钝化，即，使用气体喷淋设备将反应气体喷到硅片表面对表面进行处理，在线刻蚀设备一般都有5道甚至更多道设备，气体喷淋的均匀性，包括片间均匀性以及片内均匀性，是影响表面处理效果的关键因素;另外，喷淋设备还要尽量避免外界气流对喷淋反应气体的影响。
技术实现思路
针对现有工艺中的使用需求，满足太阳电池制造工艺中硅片钝化的工艺要求，本专利技术的目的是提供一种光伏电池硅片刻蚀气体喷淋组件及气体钝化设备，其可以大幅提高气体喷淋的均匀性，并且免受外界气体的影响，进而提高硅片表面钝化处理的质量，提高电池的转换效率。为达到本专利技术的目的，本专利技术提出一种光伏电池硅片表面钝化气体喷淋组件，所述气体喷淋组件包括喷淋板装置和置于其下方的抽风装置，所述喷淋板装置包括壳体，其上设有与反应气体发生器连接的通气孔，设置在壳体内部且与壳体连接的气体匀流板组件，设置在壳体侧边的固定板和挡板，所述的壳体与气体匀流板组件通过螺丝固定并设有气体匀流板组件高度调节的螺栓;所述抽风装置置于喷淋板的正下方，待处理的硅片从喷淋板装置与抽风装置之间走过，所述抽风装置呈盒体状，盒体的上盖板的边缘部设有抽风槽，盒体左右两侧盖板上设有多个抽风小孔，盒体的前侧或后侧盖板上设有与抽风机连接的出气口；从喷淋板喷出的反应气体对硅片表面进行处理后被其下方的抽风装置吸走以避免气体泄漏。优选的，所述的气体匀流板组件包括一级匀流板、二级匀流板以及三级匀流板，一级匀流板与二级匀流板之间以及二级匀流板与三级匀流板之间采用粘合或焊接的方式固定。再优选的，所述的一级匀流板的长度和宽度均小于二级匀流板和三级匀流板的长度和宽度，二级匀流板和三级匀流板的宽度和长度相同。再优选的，所述的挡板上设有调节挡板高度的椭圆长孔。再优选的，所述的一级匀流板包括镂空部分，盲孔风槽以及设置在风槽中部的对称设置的通气孔，所述的通气孔与壳体上的通气孔相通。再优选的，所述的二级匀流板包括多个呈矩形设置且均匀排布的盲孔通风部，设置在盲孔通风部中间的通气孔以及设置在二级匀流板两侧及盲孔通风部之间的螺丝固定孔，所述的通气孔与一级匀流板的风槽相通。再优选的，所述的抽风装置的盒体上盖板的边缘部还设有多个抽风小孔。再优选的，所述的三级匀流板为凹形薄板状，其上均匀分布有多个微通气孔以及螺丝固定柱，所述微通气孔与二级匀流板的通风部相通。再优选的，所述外壳、匀流板、挡板以及抽风装置的材料包括聚丙烯，聚氯乙烯，氯化聚氯乙烯、聚偏氟乙烯、全氟烷氧基树脂、聚四氟乙烯、铝合金或不锈钢材料。根据本专利技术的另一目的，本专利技术提出一种光伏电池硅片表面气体钝化设备，所述钝化设备包括上述的气体喷淋组件以及控制箱，所述控制箱包括控制面板、反应气体发生器、与反应气体发生器连接的出气口，所述出气口通过通气管与气体喷淋组件壳体上的通气孔连接，所述的气体喷淋组件固定在硅片刻蚀机上，待处理的硅片由硅片刻蚀机的传送装置带动从气体喷淋组件的喷淋板装置与抽风装置之间走过。本专利技术的光伏电池硅片表面气体钝化设备的气体喷淋组件采用三级气体匀流，可以保证气体在硅片片间及片内的均匀性;通过高度可调的设计方便实际应用时针对刻蚀机的具体情况进行调整，提高其应用上的适应性;另通过高度可调的挡板设计，避免了外界气体对反应气体的干扰进而影响硅片钝化的质量。本专利技术的气体喷淋组件及钝化设备，可以大幅提尚娃片纯化的效果，提尚娃片处理的良率，节省生广成本。【附图说明】通过下面结合附图的详细描述，本专利技术前述的和其他的目的、特征和优点将变得显而易见。其中:图1所不为本专利技术的一实施例的光伏电池娃片表面钝化气体喷淋组件的喷淋板的结构示意图；图2所示为本专利技术的一实施例的光伏电池硅片表面钝化气体喷淋组件的抽风装置的结构示意图；图2A所示图2的抽风装置的一实施例的正面视图；图2B所不图2的抽风装置的另一实施例的正面视图；图3所示为图1的光伏电池硅片表面钝化气体喷淋组件的气体匀流板组件的整体结构示意图；图4所示为图3的匀流板的正视图；图4A所示为图4的剖面示意图；图4B所不为图4的右视图；图5所示为一级匀流板的结构示意图；图6所示为二极匀流板的结构示意图；图6A所示为图6的剖面示意图；图7所示为三级匀流板的结构示意图；图7A所示为图7的剖面示意图；图7B所示为图7的右视图；图8所不为本专利技术的一实施例的光伏电池娃片表面气体钝化设备的组成架构不意图。【具体实施方式】参照图1所示的本专利技术的一实施例的光伏电池硅片表面钝化气体喷淋组件的装备结构示意图，所述喷淋组件包括喷淋板装置10和置于其下方的抽风装置20(如图2所示)，所述喷淋板装置包括壳体101，其上设有通气孔102，设置在壳体内部且与壳体连接的气体匀流板组件30(见图2)，设置在壳体101侧边的固定板104以及挡板120，所述的壳体101与气体匀流板组件30通过螺丝133固定并设有气体匀流板组件高度调节的螺栓131。所述的气体喷淋组件在使用时通过固定板104本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光伏电池硅片表面钝化气体喷淋组件，其特征在于，所述气体喷淋组件包括喷淋板装置和置于其下方的抽风装置，所述喷淋板装置包括壳体，其上设有与反应气体发生器连接的通气孔，设置在壳体内部且与壳体连接的气体匀流板组件，设置在壳体侧边的固定板和挡板，所述的壳体与气体匀流板组件通过螺丝固定并设有气体匀流板组件高度调节的螺栓；所述抽风装置置于喷淋板的正下方，待处理的硅片从喷淋板装置与抽风装置之间走过，所述抽风装置呈盒体状，盒体的上盖板的边缘部设有抽风槽，盒体左右两侧盖板上设有多个抽风小孔，盒体的前侧或后侧盖板上设有与抽风机连接的出气口；从喷淋板喷出的反应气体对硅片表面进行处理后被其下方的抽风装置吸走以避免气体泄漏。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王振交，艾凡凡，韩培育，
申请(专利权)人：苏州中世太新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32