下载一种光伏电池硅片表面钝化气体喷淋组件及气体钝化设备的技术资料

文档序号:13507309

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本发明提出一种光伏电池硅片表面钝化气体喷淋组件,其包括喷淋板装置和置于其下方的抽风装置,所述喷淋板装置包括壳体,其上设有与反应气体发生器连接的通气孔,设置在壳体内部且与壳体连接的气体匀流板组件,设置在壳体侧边的固定板和挡板;所述抽风装置置于...
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