机台监控联锁系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种机台监控联锁系统，设置在第一远程操作接口及多个机台模块之间，系统包含输入/输出接口及监控处理器。输入/输出接口连接于多个机台模块及网络之间。监控处理器通过输入/输出接口连接于多个机台模块，且通过网络连接至第一远程操作接口。其中当多个机台模块的至少其中之一处在异常工作模式时，其传送至少一个异常工作信号至监控处理器，监控处理器对应至少一个异常工作信号锁定第一远程操作接口。直到使用者操作近端操作接口使所有多个机台模块回到正常工作模式，解除对第一远程操作接口的锁定。

【技术实现步骤摘要】


本技术关于一种机台监控联锁系统，更精确的说，本案提供一种根据机台模块的各种异常工作状态，限制远程控制能力以确保安全性的机台监控联锁系统。

技术介绍

集成电路制造技术的持续进步已经发展出许多新的半导体工艺，其通常需要许多的输入，必需予以精密地调控以维持优选的工艺质量。从半导体原料至完成封装的集成电路组件需要许多不同的工艺，例如半导体材料的成长工艺、从半导体晶棒变成晶圆的切割工艺、薄膜沈积工艺、蚀刻工艺、布植工艺、封装工艺以及测试程序，而这些工艺彼此具有相当的差异性，大都在不同的区域进行，且不同的工艺大都采用不同的控制技术。
近几年来，半导体制造机台多朝向智能化与自动化的领域迈进，其中具有智能型监控功能，可优化工艺，减少生产成本，增加效率与质量，使操作者心思与劳力需求大大降低。因此各产业纷纷针对半导体制造机台发展远程监控功能。
然而，在现有的远程监控系统中，仍存在需要透过近端操作来排除机台故障的情形，然而，当维修人员或使用者在近端进行操作时，缺少安全机制来确保使用者无法从远程进行操作，因此常危害到近端维修人员的人身安全。

技术实现思路

为了解决上述问题，本技术提供一种机台监控联锁系统，设置在第一远程操作接口及多个机台模块之间，第一远程操作接口透过网络连接并供使用者控制多个机台模块，且多个机台模块各配置有近端操作接口供使用者近端操作多个机台模块，系统包含输入/输出接口及监控处理器。输入/输出接口，连接于多个机台模块及网络之间。监控处理器透过输入/输出接口连接于多个机台模块，且透过网络连接至第一远程操作接口。其中当多个机台模块的至少其中之一处在异常工作模式时，其传送至少一个异常工作信号至监控处理器，监控处理器对应至少一个异常工作信号锁定第一远程操作接口，使得使用者无法透过第一远程操作接口控制多个机台模块，直到使用者操作近端操作接口使所有多个机台模块回到正常工作模式，并传输正常工作信号至监控处理器，监控处理器对应正常工作信号解除对第一远程操作接口的锁定。
优选地，机台监控联锁系统还可包含第二远程操作接口，其连接于输入/输出接口并供使用者控制多个机台模块，其中当多个机台模块的至少其中之一处在异常工作模式时，其传送至少一个异常工作信号至监控处理器，监控处理器对应至少一个异常工作信号，锁定第二远程操作接口，使得使用者无法透过第二远程操作接口控制多个机台模块，直到使用者操作近端操作接口使所有多个机台模块回到正常工作模式，并传输正常工作信号至监控处理器，监控处理器对应正常工作信号解除对第二远程操作接口的锁定。
优选地，机台监控联锁系统还可包含硬件接口及管理者接口。硬件接口设置于监控处理器及网络之间。管理者接口透过网络连接至硬件接口，其经配置以供使用者在监控处理器锁定第一远程操作接口或第二远程操作接口时，控制监控处理器及多个机台模块。
优选地，机台监控联锁系统还可包含影像监视模块，其配置于多个机台模块周侧，其透过输入\\输出接口连接至监控处理器，并透过监控处理器处理并输出与多个机台模块相关的影像监视信号至第一远程操作接口及第二远程操作接口。
优选地，当多个机台的至少其中之一处在异常工作模式时，监控处理器持续运作并输出影像监视信号至第一远程操作接口及第二远程操作接口。
优选地，影像监视模块还可侦测多个机台模块周侧的警示区域，若影像监视模块侦测到警示区域中有异常活动，其传送警示信号至监控处理器，监控处理器根据警示信号锁定第一远程操作接口及第二远程操作接口。
优选地，输入/输出接口将正常工作信号及异常工作信号转换为数字信号，监控处理器根据数字信号运算获得监控结果，并根据监控结果判断是否锁定第一远程操作接口及第二远程操作接口。
优选地，监控处理器透过继电器连接至第二远程控制接口，并根据监控结果产生控制信号传输至继电器，继电器根据控制信号在开启状态及关闭状态之间切换。
优选地，第一远程操作接口及第二远程操作接口各包含键盘、鼠标、屏幕及通用计算机系统。
综上所述，本技术的机台监控联锁系统通过处理多个机台模块的信号，在异常工作状态下，以简单的方式切断远程控制接口的任何操作，直到近端使用者排除异常状态，遂解除对远程控制接口的锁定。本技术的机台监控联锁系统除了具有多重安全机制，亦可根据不同机台模块进行调整，达成高度的适用性及系统的灵活性。
附图说明
本技术的上述及其它特征及优势将通过参照附图详细说明其例示性实施例而变得更显而易见，其中：
图1为根据本技术的机台监控联锁系统的第一实施例的框图。
图2为根据本技术的机台监控联锁系统的第二实施例的框图。
图3为根据本技术的机台监控联锁系统的第二实施例的硬件架构示意图。
图4为根据本技术的机台监控联锁系统的判断流程图。
图5为根据本技术的机台监控联锁系统的影像监视模块设置示意图。
附图标记说明
100、200、500：第一远程操作接口
101-104、201-204、501-504：机台模块
105、205、305、405、505：网络
106-109、206-209、306-309、506-509：近端操作接口
110、210：输入/输出接口
111、211、311：监控处理器
112、212：异常工作信号
113、213：正常工作信号
214、514：第二远程操作接口
215、415、515：硬件接口
216、416、516：管理者接口
217、517：影像监视模块
Int1-Int4：联锁开关
O：常开接点
G：共接点
C：常闭接点
Relay1：第一继电器
CON1：第一接点
USBHub：USB集线器
GPIO：通用输出/入接口
TX：串行传输发射器
K：键盘信号
S：鼠标信号
V：影像信号
DI：数字输入端
DI(H)：高位准数字输入信号
DI(L)：低位准数字输入信号
DO：数字输出端
DVI：数字视讯接口
CIM：计算机信息管理端
PC：通用计算机端
RS：信号接收端
NC：常闭状态
NO：常开状态
IPCAM：影像感测装置
H：高位准电压
L：低位准电压
RCVM：远程控制影像管理统
SR：管制区域
具体实施方式
为了解本技术的技术特征、内容与优点及其所能达成的功效，将本技术参照附图，并以实施例的表达形式详细说明如下，而其中所使用的附图，其主旨仅为示意及辅助说明书之用，未必为本技术实施后的真实比例与精准配置，故不应就所附的附图的比例与配置关系解读、局限本技术于实际实施上的权利范围。
于此使用，词汇“与/或”包含一个或多个相关条列项目的任何或所有组合。当“至少其一”的叙述前缀于组件清单前时，修饰整个清单组件而非修饰清单中的个别组件。
以下将参考附图详细说明本技术的机台监控联锁系统的实施例。图1为根据本技术的机台监控联锁系统的第一实施例的框图。如图所示，本技术的机台监控联锁系统1设置在第一远程操作接口100及多个机台模块101-104之间，第一远程操作接口100透过网络105连接并供使用者控制多个机台模块101-104，且多个机台模块101-10本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种机台监控联锁系统，设置在第一远程操作接口及多个机台模块之间，该第一远程操作接口透过网络连接并供使用者控制该多个机台模块，且该多个机台模块各配置有近端操作接口供使用者近端操作该多个机台模块，其特征在于，所述系统包含：输入/输出接口，连接于所述多个机台模块及网络之间；以及监控处理器，透过所述输入/输出接口连接于所述多个机台模块，且透过网络连接至所述第一远程操作接口；其中，当所述多个机台模块的至少其中之一处在异常工作模式时，其透过所述输入/输出接口传送至少一个异常工作信号至所述监控处理器，所述监控处理器对应所述至少一个异常工作信号锁定所述第一远程操作接口，使得使用者无法透过所述第一远程操作接口控制所述多个机台模块，直到使用者操作近端操作接口使所有所述多个机台模块回到正常工作模式，并传输正常工作信号至所述监控处理器，所述监控处理器对应所述正常工作信号解除对所述第一远程操作接口的锁定。

【技术特征摘要】
2015.12.01 TW 1041402351.一种机台监控联锁系统，设置在第一远程操作接口及多个机台模块之间，该第一远程操作接口透过网络连接并供使用者控制该多个机台模块，且该多个机台模块各配置有近端操作接口供使用者近端操作该多个机台模块，其特征在于，所述系统包含：
输入/输出接口，连接于所述多个机台模块及网络之间；以及
监控处理器，透过所述输入/输出接口连接于所述多个机台模块，且透过网络连接至所述第一远程操作接口；
其中，当所述多个机台模块的至少其中之一处在异常工作模式时，其透过所述输入/输出接口传送至少一个异常工作信号至所述监控处理器，所述监控处理器对应所述至少一个异常工作信号锁定所述第一远程操作接口，使得使用者无法透过所述第一远程操作接口控制所述多个机台模块，直到使用者操作近端操作接口使所有所述多个机台模块回到正常工作模式，并传输正常工作信号至所述监控处理器，所述监控处理器对应所述正常工作信号解除对所述第一远程操作接口的锁定。
2.根据权利要求1所述的机台监控联锁系统，其特征在于，还包含第二远程操作接口，其连接于所述输入/输出接口并供使用者控制所述多个机台模块，其中当所述多个机台模块的至少其中之一处在异常工作模式时，其传送至少一个异常工作信号至所述监控处理器，所述监控处理器对应所述至少一个异常工作信号，锁定所述第二远程操作接口，使得使用者无法透过所述第二远程操作接口控制所述多个机台模块，直到使用者操作近端操作接口使所有所述多个机台模块回到正常工作模式，并传输正常工作信号至所述监控处理器，所述监控处理器对应所述正常工作信号解除对所述第二远程操作接口的锁定。
3.根据权利要求2所述的机台监控联锁系统，其特征在于，还包含：
硬件接口，设置于所述监控处理器及...

【专利技术属性】
技术研发人员：张明朝，
申请(专利权)人：佳霖科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71