【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种负载腔室,其特征在于,包括一腔室本体,该腔室本体包括:至少一对腔室,设置于该腔室本体的一层结构中,用于承载一或多个晶圆基板;至少一内部管线,设置于该对腔室的两者之间并连接该对腔室,使该对腔室相互连通,以提供该对腔室之气体回填或抽取;及用于承载一晶圆基板之复数个晶圆支架,该等晶圆支架定位于该对腔室中,并可与所述负载腔室之外的一机械手前端手指相互配合,其中所述晶圆支架具有复数沟槽,用于校正该机械手前端手指与该晶圆支架的相对位置。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:周仁,范川,吕光泉,张孝勇,方仕彩,廉杰,门恩国,
申请(专利权)人:沈阳拓荆科技有限公司,
类型:发明
国别省市:辽宁;21
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