基于三维微细加工工艺的批量加工微探针的方法技术

一种基于三维微细加工工艺的批量加工微探针的方法，其特征在于，包括如下步骤：　　　　Ａ：在基片上沉积金属做种子层；　　　　Ｂ：在沉积好的种子层上甩光刻胶，并进行前烘、曝光、后烘、显影；　　　　Ｃ：激光切割光刻胶顶部得到顶部斜面结构；　　　　Ｄ：电铸金属模具；　　　　Ｅ：去除光刻胶；　　　　Ｆ：用金属模具复制聚合物微针。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种加工微探针的方法，特别是一种。属于微细加工

技术介绍
传统的皮下注射法一般需要让针头穿透皮肤表层并深入皮肤以下，以便直接将药物送入血管。因此这一过程不仅伴随着疼痛，而且注射技术需接受一定的培训才能掌握。而微型针仅仅刺穿皮肤表面角质层而不再深入，药物通过毛细血管进入血液循环系统。由于角质层中不含神经末梢，注射过程中不会感到明显疼痛。微型针头的操作过程亦非常简单，只须直接将针头陈列贴上皮肤即可，特别适用于小剂量注射高效药物。目前报道的微探针研究主要有三种方法。一是采用硅工艺，通过湿法腐蚀或反应离子刻蚀技术加工硅微探针，二是利用激光加工、电镀与湿法腐蚀等工艺加工金属微针，上述两种方法存在工艺复杂，加工周期长，成本高的缺点，都难以满足生物医学上一次使用的要求。三是Jung-Hwan Park等人在2003年《the16th annual international conference on micro electro mechanicalsystems》(第十六届微光机电系统国际年会)上第371页至第374页发表的名为“Micromachined Biode本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：朱军，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：