一种基板承载装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及液晶显示器设计制造技术领域，尤其涉及一种基板承载装置。本发明专利技术提供的基板承载装置，包括基台及设于基台上的压合吸附机构和粘性吸附机构，粘性吸附机构由粘性材料制成，压合吸附机构用于使基板压紧粘性吸附机构。在使用机械手将基板放置基台上时，通过压合吸附机构吸附基板，并将基板压紧在粘性吸附机构上，由粘性材料制成的粘性吸附机构通过分子间作用力对基板进行吸附，将基板固定在基台上，解决了使用夹持器进行固定带来的基板变形的、基板上镀膜的均匀性较差的问题；与传统的使用三角夹持器的固定方式相比，对于基板的固定更加稳定牢固，基板的形变量更低，镀膜的均一度得到很大的提高，同时也解决了基板变形脱落的缺陷。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及液晶显示器设计制造
，尤其涉及一种基板承载装置。
技术介绍
目前在液晶显示器领域，对于基板的溅射一般均采用竖式溅射法，其节省运转空间且派射速度快。然而，目前的玻璃基板属于超薄基板，只有0.5mm甚至于0.4或0.3mm，由于玻璃基板很薄，并且溅射腔内在基板的溅射时是处于真空状态的，因此无法利用真空吸附；目前用于运输基板的承载装置主要利用夹具将玻璃基板夹在装置内，然而使用夹持器将基板固定在承载装置上容易出现基板变形的问题，使得基板上镀膜的均匀性较差，影响基板的质量;另外使用夹持器固定基板，基板在运输过程中容易晃动，存在脱落的风险，并且在基板厚度、变形有较大余量或间隙的情况下也很容易出现基板掉落的问题，若增大夹持器的加持能力，将很容易损坏基板，基板会出现碎片的可能。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本专利技术要解决的技术问题是:传统采用夹持器固定基板的方式存在基板变形、脱落的风险，因此需要提供一种能够增加基板固定稳定性的基板承载装置。(二)技术方案为了解决上述技术问题，本专利技术提供了一种基板承载装置，包括基台及设于基台上的压合吸附机构和粘性吸附机构，所述粘性吸附机构由粘性材料制成，所述压合吸附机构用于使基板压紧粘性吸附机构。可选地，所述压合吸附机构为真空吸附组件。可选地，所述基台上设有多个通孔，所述粘性吸附机构为多个能够穿过所述通孔的粘性吸头，所述粘性吸头的下端设有由粘性材料构成的吸盘。可选地，所述吸盘的下表面上设有一圈凸起，所述凸起与吸盘的下表面之间构成吸附腔，所述真空吸附组件包括设于所述粘性吸头内并与所述吸附腔连通的真空管道。可选地，所述基台上设有多个通孔，所述粘性吸附机构为设于基台表面的第一粘性吸附层，所述第一粘性吸附层上对应设有多个通孔，所述真空吸附组件包括支撑架和能够穿过所述通孔的真空管，所述真空管靠近第一粘性吸附层的一端设有真空吸头，另一端与支撑架相连。可选地，还包括用于将基板从基台上剥离的剥离顶针，所述基台上设有供所述剥离顶针穿过的通孔。可选地，还包括位于支撑架与基台之间的支撑座，所述剥离顶针固定在所述支撑座上，且所述支撑座上还设有供所述真空管道穿过的通孔。可选地，所述第一粘性吸附层的表面设有多个第一吸附凸块。可选地，所述粘性吸附机构为设于基台上的第二粘性吸附层，所述压合吸附机构为设于基台与第二粘性吸附层之间的静电吸附层。可选地，所述静电吸附层由金属电极材料制成。可选地，在所述静电吸附层和第二粘性吸附层之间还设有压力测量层，所述压力测量层用于测量静电吸附层对于基板的吸附力。可选地，所述第二粘性吸附层为设于基台表面的多个由粘性材料制成的第二吸附凸块，多个所述第二吸附凸块的上表面位于同一平面内。可选地，所述粘性材料为丁腈橡胶。可选地，所述基台上还设有用于控制基板温度的温度控制机构。(三)有益效果本专利技术的上述技术方案具有如下优点:本专利技术提供了一种基板承载装置，包括基台及设于基台上的压合吸附机构和粘性吸附机构，所述粘性吸附机构由粘性材料制成，所述压合吸附机构用于使基板压紧粘性吸附机构。在使用机械手将基板放置基台上时，通过压合吸附机构吸附基板，并将基板压紧在粘性吸附机构上，由粘性材料制成的粘性吸附机构通过分子间作用力对基板进行吸附，将基板固定在基台上，解决了在溅射过程中无法进行真空吸附，而使用夹持器进行固定带来的基板变形的、基板上镀膜的均匀性较差的问题；与传统的使用三角夹持器的固定方式相比，对于基板的固定更加稳定牢固，基板的形变量更低，镀膜的均一度得到很大的提高，同时也解决了基板因变形而脱落的缺陷。【附图说明】本专利技术上述和/或附加方面的优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中:图1是采用本专利技术提供的基板承载装置进行基板镀膜的示意图；图2是本专利技术实施例一种基台的结构示意图；图3是本专利技术实施例一种吸头吸附基板的结构不意图；图4是本专利技术实施例二所述基板承载装置的结构示意图；图5是本专利技术实施例三所述基板承载装置的结构示意图；图6是本专利技术实施例三中第二粘性吸附层的结构示意图。其中图1至图6中附图标记与部件名称之间的对应关系为:1、基台，11、粘性吸头，111、吸盘，112、凸起，113、吸附腔，114、真空管道，12、通孔，13、第一粘性吸附层，131、支撑架，132、真空管，133、真空吸头，134、支撑座，135、剥离顶针，136、第一吸附凸块，14、第二粘性吸附层，141、静电吸附层，142、压力测量层，143、第二吸附凸块，2、基板。【具体实施方式】在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、” “内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接;可以是机械连接，也可以是电连接;可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。此外，在本专利技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。如图1所示，本专利技术提供了一种基板承载装置，包括基台I及设于基台I上的压合吸附机构和粘性吸附机构，所述粘性吸附机构由粘性材料制成，所述压合吸附机构用于使基板压紧粘性吸附机构。本专利技术提供的基板承载装置，在进行基板溅射工艺时，先使用机械手将基板放置基台I上，通过压合吸附机构吸附基板，并将基板压紧在粘性吸附机构上，由粘性材料制成的粘性吸附机构通过分子间作用力对基板进行吸附，将基板固定在基台I上，解决了在溅射过程中无法进行真空吸附，而使用夹持器进行固定带来的基板变形的、基板上镀膜的均匀性较差的问题;与传统的使用三角夹持器的固定方式相比，对于基板的固定更加稳定牢固，基板的形变量更低，镀膜的均一度得到很大的提高，同时也解决了基板因变形而脱落的缺陷。实施例一如图1所示，本实施例提供基板承载装置，包括基台I及设于基台I上的压合吸附机构和粘性吸附机构，所述压合吸附机当前第1页1 2 3 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板承载装置，其特征在于：包括基台及设于基台上的压合吸附机构和粘性吸附机构，所述粘性吸附机构由粘性材料制成，所述压合吸附机构用于使基板压紧粘性吸附机构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：井杨坤，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11