一种电机运动限位的方法技术

本发明专利技术涉及一种电机运动限位的方法，特别是应用在离子注入机某些角度敏感的工艺，从而实现精确采集束流及精确测量束流角度。一种电机运动限位的方法，包括起始读位置模块(1)、启动运行模块(2)、错误检测模块(3)、读中断I/O模块(4)、电机状态检测模块(5)、运行过程中读位置模块(6)、软件限位模块(7)及限位检测模块(8)。说明书对一种电机运动限位的方法作出了详细说明，并给出了具体实施例。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，特别是应用在离子注入机某些角度敏感的工艺，从而实现精确采集束流及测量束流角度。
技术介绍
随着半导体生产线进入到45nm及以下级别的工艺时，产品对离子注入角度要求的窗口越来越小，对于中束流注入设备来说，某些角度敏感的工艺，注入角度偏移设计角度0.1度就会造成产品报废。而目前我们设计的中束流离子注入机可以精确测量水平及垂直方向的束流角度和平行度，并且通过精确的结构控制，可以使在水平方向的注入角度控制在0.1度以内，量化角度偏差。从最近在生产线上的工艺测试数据来看，上电或者关电瞬间轴4 二次编码在正向限位处卡死以及采集过程中由于皮带打滑等造成采集的位置和束流值不对应，从而造成角度变化，不仅会影响到注入角度的偏差，而且会因为角度偏差引起总体剂量的偏差，直接导致RS-matching达不到生产线的要求。所以，优化电机运动已经势在必行，按照客户严格的要求，优化电机运动已经势在必行。
技术实现思路
本专利技术专利即是针对上述现有技术中存在的问题而提出的一种结构简单、实现可靠的用于离子注入机某些角度敏感的工艺角度测量技术。本专利技术专利通过以下技术方案来实现:，其特征在于:该系统包括起始读位置模块(I)、启动运行模块⑵、错误检测模块⑶、读中断I/O模块⑷、电机状态检测模块(5)、运行过程中读位置模块￠)、软件限位模块(7)及限位检测处理模块(8)。所述的起始读位置模块(I)置于初始化动作完成之后，用于精确采集轴3电机运动及轴4 二次编码在开始采集时的精确位置，严格对应位置与束流值；在采集过程中轴3电机通过启动运行模块(2)带动轴4 二次编码运动，在运动过程中实时采集位置值，并且与起始读位置模块(I)进行比较，经由软件限位模块(7)严格将轴4 二次编码值限定在行程范围内，从而避免了机械撞击；通过限位检测处理模块(8)进行相应的处理动作。相对现有技术，本专利技术所述方法的有益效果在于:1.轴4 二次编码通过起始读位置模块(I)在中断采集开始时精确采集位置值，从而将位置与束流值严格对应。2.通过软件限位精确控制行程，可以实时精准测量轴4 二次编码位置，并且避免轴4超过行程时带来的机械撞击。3.限位检测精确可靠，由限位检测处理模块⑶实时处理轴3电机运动及轴4 二次编码在超出行程的动作。【附图说明】图1是本专利技术所述电机运动限位的程序原理框图；图2是本专利技术所述电机运动初始化控制原理图；图3是本专利技术所述角度测量系统传动及外观。【具体实施方式】下面结合附图和具体实施例对本专利技术作进一步的介绍，但不作为对本专利技术的限定。如图1所示:，其特征在于:该系统包括起始读位置模块(I)、启动运行模块⑵、错误检测模块(3)、读中断I/O模块(4)、电机状态检测模块(5)、运行过程中读位置模块￠)、软件限位模块(7)及限位检测处理模块(8)。所述的起始读位置模块(I)置于初始化动作完成之后，用于精确采集轴3电机运动及轴4 二次编码在开始采集时的精确位置，严格对应位置与束流值；在采集过程中轴3电机通过启动运行模块(2)带动轴4 二次编码运动，在运动过程中实时采集位置值，并且与起始读位置模块(I)进行比较，经由软件限位模块(7)严格将轴4 二次编码值限定在行程范围内，从而避免了机械撞击；通过限位检测处理模块(8)进行相应的处理动作。如图2所示:为电机初始化运动控制程序。设备在上电动作开始时电机处于任何位置上，初始化动作使电机准确寻找反向限位位置；该反向限位位置由软件限位完成，使轴3电机运动带动轴4 二次编码准确快速归位，为系统节省时间。当轴3电机带动轴4 二次编码运动至限位位置后，进行相应的中断采集与行程设置比较，完成该系统一次角度检测。本专利技术专利的特定实施例已对本专利技术专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本专利技术专利精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本专利技术专利的侵犯，将承担相应的法律责任。【主权项】1.，其特征在于:该系统包括起始读位置模块(I)、启动运行模块⑵、错误检测模块⑶、读中断I/o模块⑷、电机状态检测模块(5)、运行过程中读位置模块￠)、软件限位模块(7)及限位检测处理模块(8)。2.如权利要求1所述的，其特征在于:电机初始化动作完成后，带动二次编码进入起始读位置模块(I)，精确采集中断起始位置值，使采集过程中的位置与采样值严格对应。3.如权利要求1所述的，其特征在于:轴3电机运动控制与轴4 二次编码采样通过错误检测模块(3)检测采集过程中各轴的运动状态并通过电机状态检测模块(5)进行相应的错误处理。4.如权利要求1所述的，其特征在于:轴3电机运动带动轴4 二次编码采样，实时通过运行过程中读位置模块(6)读取电机以及二次编码位置值，并通过软件限位模块(7)进行实时处理。5.如权利要求1所述的，其特征在于:轴3电机运动以及轴4二次编码实时位置由软件限位模块(7)处理后，经限位检测处理模块(8)进行相应的错误处理。【专利摘要】本专利技术涉及，特别是应用在离子注入机某些角度敏感的工艺，从而实现精确采集束流及精确测量束流角度。，包括起始读位置模块(1)、启动运行模块(2)、错误检测模块(3)、读中断I/O模块(4)、电机状态检测模块(5)、运行过程中读位置模块(6)、软件限位模块(7)及限位检测模块(8)。说明书对作出了详细说明，并给出了具体实施例。【IPC分类】H01J37/317【公开号】CN105428192【申请号】CN201410442820【专利技术人】吴巧艳 【申请人】北京中科信电子装备有限公司【公开日】2016年3月23日【申请日】2014年9月2日本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电机运动限位的方法，其特征在于：该系统包括起始读位置模块(1)、启动运行模块(2)、错误检测模块(3)、读中断I/O模块(4)、电机状态检测模块(5)、运行过程中读位置模块(6)、软件限位模块(7)及限位检测处理模块(8)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吴巧艳，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11