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本发明涉及一种电机运动限位的方法，特别是应用在离子注入机某些角度敏感的工艺，从而实现精确采集束流及精确测量束流角度。一种电机运动限位的方法，包括起始读位置模块(1)、启动运行模块(2)、错误检测模块(3)、读中断I/O模块(4)、电机状态检...该专利属于北京中科信电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科信电子装备有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种电机运动限位的方法，特别是应用在离子注入机某些角度敏感的工艺，从而实现精确采集束流及精确测量束流角度。一种电机运动限位的方法，包括起始读位置模块(1)、启动运行模块(2)、错误检测模块(3)、读中断I/O模块(4)、电机状态检...