一种晶圆切割机之自动添加药剂系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种晶圆切割机之自动添加药剂系统，包括加药阀门，该自动添加药剂系统还包括切割控制器、电磁阀、继电器以及气帘模组，所述切割控制器、电磁阀和继电器依次串接，所述加药阀门和气帘模组再分别与所述继电器连接；所述切割控制器与所述电磁阀形成可以闭合或断开的控制电路一，所述继电器、加药阀门和气帘模组形成可以闭合或断开的控制电路二，所述控制电路一闭合时，所述控制电路二亦闭合，所述加药阀门和气帘模组同时打开；所述控制电路一断开时，所述控制电路二亦断开，所述加药阀门和气帘模组同时关闭。本实用新型专利技术避免人员手动加药而造成的产品异常或药剂浪费。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种晶圆切割机之自动添加药剂系统，用于对晶圆切割过程中清洗药剂添加的自动化控制，属于1C (集成电路)测试领域。
技术介绍
一般半导体元件，如晶粒(Die)是以半导体材料制作而成未经封装的一小块集成电路本体，通常情况下，集成电路是以大批方式经光刻等多项步骤，制作在大片的半导体晶圆上，然后再分割成方型小片，这一方型小片就称为晶粒，每个晶粒就是一个集成电路的复制品。而晶圆在切割时，需要加入清洗药剂，作业员通过手动打开阀门向切割机台中注入清洗药剂。然而，由于人工操作的不可控因素，作业员在作业时可能会出现忘记向切割机中注入清洗药剂或是在加入清洗药剂之后忘记关闭阀门，如此，会因清洗药剂的未添加或过量加入而导致产品异常，此外，过量的添加清洗药剂，还会造成了资源浪费。因此，为了避免以上弊端，一种晶圆切割机之自动添加药剂系统亟待出现。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本技术的目的在于提供一种晶圆切割机之自动添加药剂系统，避免人员手动加药而造成的产品异常或药剂浪费。为了实现上述目的，本技术的技术方案如下:—种晶圆切割机之自动添加药剂系统，包括加药阀门，该自动添加药剂系统还包括切割控制器、电磁阀、继电器以及气帘模组，所述切割控制器、电磁阀和继电器依次串接，所述加药阀门和气帘模组再分别与所述继电器连接；所述切割控制器与所述电磁阀形成可以闭合或断开的控制电路一，所述继电器、加药阀门和气帘模组形成可以闭合或断开的控制电路二，所述控制电路一闭合时，所述控制电路二亦闭合，所述加药阀门和气帘模组同时打开；所述控制电路一断开时，所述控制电路二亦断开，所述加药阀门和气帘模组同时关闭。优选的，所述切割控制器连接有一触控屏，所述触控屏上设置有用于控制气帘参数和加药阀门开启及关闭参数的按钮。与现有技术相比，本技术提供的晶圆切割机之自动添加药剂系统至少具有以下优点:本技术针对手动开启加药阀门方式进行改善，将加药阀门和气帘模组经由继电器与电磁阀相连接，通过电磁阀同時控制加药阀门与气帘模组的开启，实现自动添加药剂的目的，从而避免人员手动加药而造成的产品异常或药剂浪费。【附图说明】为了更清楚地说明本技术结构特征和技术要点，下面结合附图和【具体实施方式】对本技术进行详细说明。图1为本技术实施例所公开的一种晶圆切割机之自动添加药剂系统的结构示意图；图2为本技术实施例所公开的一种晶圆切割机之自动添加药剂系统的连接示意图。附图标记说明:11_切割控制器，12-电磁阀，13-继电器，14-加药阀门，15-气帘模组，A-控制电路一，B-控制电路二。【具体实施方式】下面将结合本实施例中的附图，对实施例中的技术方案进行具体、清楚、完整地描述。参见图1所示，本技术一较佳实施例公开了一种晶圆切割机之自动添加药剂系统，包括加药阀门14，自动添加药剂系统还包括切割控制器11、电磁阀12、继电器13以及气帘模组15，切割控制器11、电磁阀12和继电器13依次串接，加药阀门14和气帘模组15再分别与继电器13连接；切割控制器11与电磁阀12形成可以闭合或断开的控制电路一 A，继电器13、加药阀门14和气帘模组15形成可以闭合或断开的控制电路二 B，控制电路一 A闭合时，控制电路二 B亦闭合，加药阀门14和气帘模组15同时打开，藉此可以同时进行加药和气帘吹气的作业；控制电路一 A断开时，控制电路二 B亦断开，加药阀门14和气帘模组15同时关闭，藉此可以停止加药和气帘吹气的作业。参见图2所示，具体的，继电器13具有四个接口，分别标记为1、2、3和4，接口 1和2与电磁阀12相连接，切割控制器11与电磁阀12相连接，从而形成上述控制电路一 A，接口 3与加药阀门14和气帘模组15相连接，接口 4与220V电源正极/负极连接，加药阀门14与220V电源负极/正极连接，从而形成上述控制电路二 B。优选的，切割控制器11连接一触控屏，触控屏上设置有用于同时控制设置气帘参数与加药阀门开启及关闭的按钮。通过触控屏，可以设置加药参数及气帘参数及气帘开启、关闭的时间等参数。本技术工作原理如下:电磁阀12若由切割控制器11控制打开后，即切割控制器11控制电磁阀12得电吸合，切割控制器11与电磁铁形成的控制电路一 A导通，此时继电器13得电吸合，在继电器13的接口 1和2的两端具有20V电压，接口 3和4短接，因而接通加药阀门14及气帘模组15，形成闭合的控制电路二 B，此时加药阀门14和气帘模组15同时打开，可以向切割机自动注入药剂及压缩气体；电磁阀12若由切割控制器11控制关闭，则控制电路一 A断开，由此，继电器13的接口 1和2无电压，接口 3和4断开，则控制电路二 B断开，此时加压阀门和气帘模组15同时关闭不工作。通过以上技术方案，本技术针对手动开启加药阀门方式进行改善，将加药阀门和气帘模组15经由继电器与电磁阀相连接，通过电磁阀同時控制加药阀门与气帘模组15的开启，实现自动添加药剂的目的，从而避免人员手动加药而造成的产品异常或药剂浪费。上述【具体实施方式】，仅为说明本技术的技术构思和结构特征，目的在于让熟悉此项技术的相关人士能够据以实施，但以上所述内容并不限制本技术的保护范围，凡是依据本技术的精神实质所作的任何等效变化或修饰，均应落入本技术的保护范围之内。【主权项】1.一种晶圆切割机之自动添加药剂系统，包括加药阀门，其特征在于，该自动添加药剂系统还包括切割控制器、电磁阀、继电器以及气帘模组，所述切割控制器、电磁阀和继电器依次串接，所述加药阀门和气帘模组再分别与所述继电器连接； 所述切割控制器与所述电磁阀形成可以闭合或断开的控制电路一，所述继电器、加药阀门和气帘模组形成可以闭合或断开的控制电路二，所述控制电路一闭合时，所述控制电路二亦闭合，所述加药阀门和气帘模组同时打开；所述控制电路一断开时，所述控制电路二亦断开，所述加药阀门和气帘模组同时关闭。2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割机之自动添加药剂系统，其特征在于，所述切割控制器连接有一触控屏，所述触控屏上设置有用于控制气帘参数和加药阀门开启及关闭参数的按钮。【专利摘要】本技术公开了一种晶圆切割机之自动添加药剂系统，包括加药阀门，该自动添加药剂系统还包括切割控制器、电磁阀、继电器以及气帘模组，所述切割控制器、电磁阀和继电器依次串接，所述加药阀门和气帘模组再分别与所述继电器连接；所述切割控制器与所述电磁阀形成可以闭合或断开的控制电路一，所述继电器、加药阀门和气帘模组形成可以闭合或断开的控制电路二，所述控制电路一闭合时，所述控制电路二亦闭合，所述加药阀门和气帘模组同时打开；所述控制电路一断开时，所述控制电路二亦断开，所述加药阀门和气帘模组同时关闭。本技术避免人员手动加药而造成的产品异常或药剂浪费。【IPC分类】H01L21/67, H01L21/66, H01L21/78【公开号】CN205039133【申请号】CN201520531220【专利技术人】蔡俊杰 【申请人】京隆科技(苏州)有限公司【公开日】2016年2月17日【申请日】2015年7月21日本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶圆切割机之自动添加药剂系统，包括加药阀门，其特征在于，该自动添加药剂系统还包括切割控制器、电磁阀、继电器以及气帘模组，所述切割控制器、电磁阀和继电器依次串接，所述加药阀门和气帘模组再分别与所述继电器连接；所述切割控制器与所述电磁阀形成可以闭合或断开的控制电路一，所述继电器、加药阀门和气帘模组形成可以闭合或断开的控制电路二，所述控制电路一闭合时，所述控制电路二亦闭合，所述加药阀门和气帘模组同时打开；所述控制电路一断开时，所述控制电路二亦断开，所述加药阀门和气帘模组同时关闭。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡俊杰，
申请(专利权)人：京隆科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32