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一种晶圆切割机之自动添加药剂系统技术方案
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文档序号:12894174
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本实用新型公开了一种晶圆切割机之自动添加药剂系统,包括加药阀门,该自动添加药剂系统还包括切割控制器、电磁阀、继电器以及气帘模组,所述切割控制器、电磁阀和继电器依次串接,所述加药阀门和气帘模组再分别与所述继电器连接;所述切割控制器与所述电磁阀...
该专利属于京隆科技(苏州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京隆科技(苏州)有限公司授权不得商用。
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