本实用新型专利技术公开了一种石墨舟的推舟装置，包括装载机构、水平运动机构和推舟，所述推舟固定在所述水平运动机构的滑块上，所述装载机构后端固定于所述推舟上，前端悬空设置，所述石墨舟放置在所述装载机构的前端，所述装载机构前端与后端之间设有用于加强装载机构前端刚性的斜拉件。本实用新型专利技术采用斜拉件，提高了装载机构的整体刚性，减小了装载机构的变形，改善了石墨舟在前进和后退过程中的抖动现象，在一定程度上避免了因石墨舟进舟过程中抖动而造成的硅片成膜质量差的问题。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体制造设备领域，尤其涉及一种石墨舟的推舟装置。
技术介绍
等离子体化学气相沉积:在沉积室利用辉光放电使其电离后在衬底上进行化学反应沉积的半导体薄膜材料制备和其他材料薄膜的制备方法。等离子体增强化学气相沉积是:在化学气相沉积中，激发气体，使其产生低温等离子体，增强反应物质的化学活性，从而进行外延的一种方法。该方法可在较低温度下形成固体膜。例如在一个反应室内将基体材料置于阴极上，通入反应气体至较低气压(1?600Pa)，基体保持一定温度，以某种方式产生辉光放电，基体表面附近气体电离，反应气体得到活化，同时基体表面产生阴极溅射，从而提高了表面活性。在表面上不仅存在着通常的热化学反应，还存在着复杂的等离子体化学反应。沉积膜就是在这两种化学反应的共同作用下形成的。等离子气相化学沉积的工艺流程是一个循环过程，包括(1)装片；(2)进舟；(3)抽空；(4)恒温；(5)淀积；(6)抽空；(7)清洗；(8)充氮；(9)退舟；(10)卸片。上述步骤(2)进舟是将装有硅片的石墨舟通过推舟机构送入反应炉管内，步骤(9)退舟是石墨舟送入反应炉管内后将推舟机构退回，推舟机构具有垂直和水平运动，水平运动主要包括水平运动模块，推舟和装载机构。石墨舟通过机械手放置与装载机构前段；装载机构后端安装在推舟上，前端处于悬空状态；推舟固定在水平运动模块的滑块上，通过电机驱动丝杠实现来回移动，完成进舟与退舟。然而，现有石墨舟装载机构类似于悬臂梁结构形式，刚性较差；承载石墨舟时，前端变形较大；并且在前进过程中，石墨舟存在抖动现象。石墨舟装载机构变形大，如果调节不当，前进时有可能发生撞舟；石墨舟抖动，会造成硅片与石墨舟接触不好，最终影响成膜质量。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单、整体刚性好、推舟过程中无变形和抖动的石墨舟的推舟装置。为解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案:—种石墨舟的推舟装置，包括装载机构、水平运动机构和推舟，所述推舟固定在所述水平运动机构的滑块上，所述装载机构后端固定于所述推舟上，前端悬空设置，所述石墨舟放置在所述装载机构的前端，所述装载机构前端与后端之间设有用于加强装载机构前端刚性的斜拉件。作为上述技术方案的进一步改进:所述斜拉件设为两组，分设于所述装载机构的两侧。所述斜拉件包括多个依次相连的拉杆单元，所述拉杆单元包括第一拉杆和第二拉杆，所述第一拉杆的尾部与第二拉杆的头部铰接，前一所述拉杆单元的第二拉杆的尾部与后一拉杆单元的第一拉杆的头部铰接，最前端的所述拉杆单元的第一拉杆的头部与装载机构前端连接，最后端的所述拉杆单元的第二拉杆的尾部与所述装载机构后端连接。每个所述拉杆单元中，第二拉杆的两端设有U形槽，第一拉杆的尾部卡设于所述U形槽内并通过销轴连接，所述销轴上设有防止第一拉杆的尾部脱离所述U形槽的插销。 所述斜拉件为钢丝绳和铰链中的一种。与现有技术相比，本技术的优点在于:本技术的石墨舟的推舟装置，通过在装载机构的两端设置斜拉件，提高装载机构的整体刚性，大大加强装载机构前端(悬臂端)刚性，减小了变形，同时改善了石墨舟在前进和后退过程中的抖动现象，在一定程度上避免了因石墨舟进舟过程中抖动而造成的硅片成膜质量差的问题。【附图说明】图1是本技术的结构示意图。图2是图1的俯视图。图3是本技术中装载机构的结构示意图。图4是图3的俯视图。图5是本技术中斜拉件的结构示意图。图6是图5中A处放大图。图7是本技术中第一拉杆的结构示意图。图8是本技术中第二拉杆的结构示意图。图9是本技术中固定块的结构示意图。图中各标号表不:1、装载机构；11、支承杆；12、安装座；121、固定块；122、腰型孔；2、水平运动机构；3、推舟；4、石墨舟；5、斜拉件；51、拉杆单元；511、第一拉杆；512、第二拉杆；6、U形槽；7、销轴；8、插销。【具体实施方式】以下结合说明书附图和具体实施例对本技术作进一步详细说明。图1至图9示出了本技术石墨舟的推舟装置的一种实施例，该石墨舟的推舟装置包括包括装载机构1、水平运动机构2和推舟3，推舟3固定在水平运动机构2的滑块(图中未示出)上，装载机构1后端固定于推舟3上，前端悬空设置，石墨舟4放置在装载机构1的前端，装载机构1前端与后端之间设有用于加强装载机构1前端刚性的斜拉件5。本实施例中水平运动机构2为丝杆机构，装载机构1由前端的支承杆11和后端的安装座12构成，安装座12固定在推舟3上，斜拉件5 —端固定在支承杆11，另一端固定在安装座12上，由于安装座12固定在推舟3上，因此斜拉件5对支承杆11 (悬臂端)具有向上的支撑作用，工作时，通过机械手将石墨舟4放置在支承杆11上，然后水平运动机构2驱动推舟3水平移动，推舟3带动装载机构1前进或后退，从而实现进舟与退舟。本实施例通过在装载机构1的两端设置斜拉件5，提高了装载机构1的整体刚性，大大加强了装载机构1前段刚性，减小了变形，同时改善了石墨舟4在前进和后退过程中的抖动现象，从而在一定程度上避免了因石墨舟4进舟过程中抖动而造成的硅片成膜质量差的问题。本实施例中，斜拉件5设为两组，分设于装载机构1的两侧，如图2所示，两侧的支承杆11上均设置斜拉件5，确保两侧支承杆11受力均匀，保证装载机构1整体结构受力均匀。本实施例中，斜拉件5包括多个依次相连的拉杆单元51，拉杆单元51包括第一拉杆511和第二拉杆512，第一拉杆511的尾部与第二拉杆512的头部铰接，前一拉杆单元51的第二拉杆512的尾部与后一拉杆单元51的第一拉杆511的头部铰接，最前端的拉杆单元51的第一拉杆511的头部与装载机构1前端连接，最后端的拉杆单元51的第二拉杆512的尾部与装载机构1后端连接。每个所述拉杆单元51中，第二拉杆512的两端设有U形槽6，第一拉杆511的尾部卡设于U形槽6内并通过销轴7连接，销轴7上设有防止第一拉杆511的尾部脱离U形槽6的插销8。安装座12上设有固定块121，固定块121通过螺栓(图中未示出)固定在安装座12上，固定块121设有可供螺栓穿过的的腰型孔122，这样固定块121可以前后移动，进而调节拉杆单元51的预紧力；插销8用于固定销轴7，约束销轴7的轴向运动。此外，第一拉杆511与第二拉杆512的数量根据石墨舟4的重量或者装载机构1的长度来确定。除本实施例外，第一拉杆511与第二拉杆512之间的连接方式为球面铰接或者其他常规的活动连接的方式，此外，斜拉件5还可以为钢丝绳和铰链中的一种。虽然本技术已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本技术。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本技术技术方案范围的情况下，都可利用上述揭示的
技术实现思路
对本技术技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本技术技术方案的内容，依据本技术技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均应落在本技术技术方案保护的范围内。【主权项】1.一种石墨舟的推舟装置，包括装载机构(1)、水平运动机构(2)和推舟(3)，所述推舟(3)固定在所述水平运动机构(2)的滑块上，所述装载机构(1)后端固定于所述推舟(3)上本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种石墨舟的推舟装置，包括装载机构（1）、水平运动机构（2）和推舟（3），所述推舟（3）固定在所述水平运动机构（2）的滑块上，所述装载机构（1）后端固定于所述推舟（3）上，前端悬空设置，所述石墨舟（4）放置在所述装载机构（1）的前端，其特征在于：所述装载机构（1）前端与后端之间设有用于加强装载机构（1）前端刚性的斜拉件（5）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张宇，吴德轶，
申请(专利权)人：湖南红太阳光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：湖南;43
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。