【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种旋转轴，尤其涉及一种需要气流导通的旋转结构装置。
技术介绍
在半导体晶圆工艺所涉及的设备中，通常会用到旋转轴这样的组件，在某些工艺流程中，需要通过旋转轴来输送气流。目前的旋转轴结构并不能保证气流输送的效果。
技术实现思路
以下给出一个或多个方面的简要概述以提供对这些方面的基本理解。此概述不是所有构想到的方面的详尽综览，并且既非旨在指认出所有方面的关键性或决定性要素亦非试图界定任何或所有方面的范围。其唯一的目的是要以简化形式给出一个或多个方面的一些概念以为稍后给出的更加详细的描述之序。本专利技术的目的在于解决上述问题，提供了一种带通气槽旋转轴，可将气流从旋转轴轴套上的固定不动的进气口传到一直在旋转的轴体内的通气槽。本专利技术的技术方案为:本专利技术揭示了一种带通气槽旋转轴，包括可旋转的内设通气槽的轴体、轴套、轴套上的多路进气口和轴套内的导气环形空间，其中导气环形空间分别与进气口和轴体内的通气槽连通，气体经由进气口、导气环形空间后导入到通气槽内。根据本专利技术的带通气槽旋转轴的一实施例，多路进气口连通导气环形空间的气路在空间上相互独立，互不...
【技术保护点】
一种带通气槽旋转轴，包括可旋转的内设通气槽的轴体、轴套、轴套上的多路进气口和轴套内的导气环形空间，其中导气环形空间分别与进气口和轴体内的通气槽连通，气体经由进气口、导气环形空间后导入到通气槽内。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：杨宏超，金一诺，张怀东，王坚，王晖，
申请(专利权)人：盛美半导体设备上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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