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本发明公开了一种带通气槽旋转轴，可将气流从固定不动的轴套上的进气口传到旋转的轴体通气槽内。其技术方案为：气体通过轴套上的多路进气口进入，经导气环形空间导入到轴体内的通气槽中，最后从轴体底端的出气口排出。进气口连通导气环形空间的各个气路在空间...
该专利属于盛美半导体设备(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盛美半导体设备(上海)有限公司授权不得商用。

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