本实用新型专利技术公开了一种快装抛光垫整修器，安装在抛光垫整修装备的固定盘上，快装抛光垫整修器包括基板、处理结构和连接结构；基板的下表面与处理结构的上表面连接，连接结构相对的两侧分别与基板的上表面和固定盘的下表面连接；连接结构包括连接扣缘和连接面板，连接面板的上表面与固定盘连接，连接扣缘固定在连接面板的下表面。本实用新型专利技术的优点和有益效果在于：通过利用基板螺纹和连接螺纹的配合，将基板旋拧在连接空间内，提高了基板及处理结构的拆装速度及效率的同时，还避免了工作人员在进行拆装操作时，容易损坏处理结构的情况。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及电子领域，特别涉及一种快装抛光垫整修器。
技术介绍
集成电路芯片的制造工艺及技术，由于电路线幅设计细小化需求，技术越朝高集成密度而日新月异，针对芯片表面当一系列的薄膜被沉积与蚀刻后，微细铜电路或是钨电路、氧化膜介质电层等出现不平坦现象，因此利用平坦化工艺以化学机械抛光达到芯片平坦后，有利于下一个工艺进行，解决电路微影工艺因平坦度差使曝光聚焦困难的问题。因此以化学机械抛光工艺平坦化技术相形重要，其主要操作组件有化学抛光液、抛光垫、抛光垫整修器，化学机械抛光平坦化的过程，必须稳定均匀的输送抛光液到芯片与抛光垫之间，抛光垫表面充满抛光液，此液体含有化学剂用以侵蚀新片表面薄膜，同时液体内悬浮着无数个纳米级抛光粒，它们会深入刮除微量膜层，与化学侵蚀与机械研磨相互作用，达到平坦化的目标。关于抛光垫整修器的安装方式，习知各种抛光垫整修器与转动盘的安装，系以6?12个螺丝作为固定方式，更换抛光垫整修器时必须以螺丝起子将螺丝卸下，再重新锁上螺丝来固定新换抛光垫整修器，拆装耗时费工、可能破坏整修器的磨粒面、固定不均匀时严重影响整修等缺点。
技术实现思路
为了解决上述问题，本技术提供一种快装抛光垫整修器。本技术方案通过利用基板螺纹和连接螺纹的配合，将基板旋拧在连接空间内，提高了基板及处理结构的拆装速度及效率的同时，还避免了工作人员在进行拆装操作时，容易损坏处理结构的情况。本技术中的一种快装抛光垫整修器，安装在抛光垫整修装备的固定盘上，所述快装抛光垫整修器包括基板、处理结构和连接结构；所述基板的下表面与所述处理结构的上表面连接，所述连接结构相对的两侧分别与所述基板的上表面和所述固定盘的下表面连接；所述连接结构包括连接扣缘和连接面板，所述连接面板的上表面与所述固定盘连接，所述连接扣缘固定在所述连接面板的下表面。上述方案中，所述基板包括固定面板和凸起，所述凸起固定在所述固定面板的上表面上，所述固定面板的下表面与所述处理结构连接；所述凸起的侧面具有基板螺纹，所述连接扣缘的侧面具有与所述基板螺纹相互匹配的连接螺纹，所述连接扣缘的顶部与所述连接面板连接。上述方案中，所述连接扣缘具有若干个，若干个所述连接扣缘沿所述连接面板的周向布置，形成与所述凸起匹配的连接空间；若干个所述连接扣缘的连接螺纹均朝向所述连接空间内。上述方案中，所述凸起的横截面尺寸小于所述固定面板的横截面尺寸，所述基板还包括密封侧缘，所述密封侧缘固定在所述固定面板的上表面，所述密封侧缘与若干个所述连接扣缘所围绕形成的轮廓相匹配；所述凸起通过所述基板螺纹和所述连接螺纹旋拧在所述连接扣缘上时，所述密封侧缘与所述连接扣缘的底部接触。上述方案中，所述连接面板具有第一螺栓孔，所述第一螺栓孔连通所述连接面板的上表面和下表面；所述第一螺栓孔具有若干个，若干个所述第一螺栓孔围绕所述连接面板的轴向布置。上述方案中，所述连接面板还具有第二螺栓孔，所述第二螺栓孔连通所述连接面板的上表面和下表面；所述第二螺栓孔具有若干个，若干个所述第二螺栓孔围绕所述连接面板的轴向布置。本技术的优点和有益效果在于:本技术提供一种快装抛光垫整修器，通过利用基板螺纹和连接螺纹的配合，将基板旋拧在连接空间内，提高了基板及处理结构的拆装速度及效率的同时，还避免了工作人员在进行拆装操作时，容易损坏处理结构的情况。【附图说明】为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术的一种快装抛光垫整修器及抛光垫整修装备结构示意图；图2为本技术的一种快装抛光垫整修器结构示意图；图3为本技术的一种快装抛光垫整修器中连接结构的结构示意图；图4为本技术的一种快装抛光垫整修器中基板及处理结构的结构示意图；图5为本技术的一种快装抛光垫整修器中连接结构的仰视图；图6为本技术的一种快装抛光垫整修器中基板的俯视图；图7为本技术的一种快装抛光垫整修器中连接扣缘的侧视图。图中:1、基板2、处理结构 3、连接结构 4、抛光垫整修装备5、抛光垫11、固定面板 12、凸起13、基板螺纹 14、密封侧缘31、连接扣缘 32、连接螺纹 33、连接面板 34、连接空间331、第一螺栓孔332、第二螺栓孔41、电动机42、固定盘43、调节器 44a、第一轮盘44b、第二轮盘 45、调节连动臂 46、活动轴 47、传动轴48、传动组件【具体实施方式】下面结合附图和实施例，对本技术的【具体实施方式】作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，而不能以此来限制本技术的保护范围。如图1-图7所示，本技术是一种快装抛光垫整修器，安装在抛光垫整修装备4的固定盘42上，快装抛光垫整修器包括基板1、处理结构2和连接结构3 ;基板I的下表面与处理结构2的上表面连接，连接结构3相对的两侧分别与基板1的上表面和固定盘42的下表面连接；连接结构3包括连接扣缘31和连接面板33，连接面板33的上表面与固定盘42连接，连接扣缘31固定在连接面板33的下表面。进当前第1页1 2 本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种快装抛光垫整修器，安装在抛光垫整修装备的固定盘上，其特征在于，所述快装抛光垫整修器包括基板、处理结构和连接结构；所述基板的下表面与所述处理结构的上表面连接，所述连接结构相对的两侧分别与所述基板的上表面和所述固定盘的下表面连接；所述连接结构包括连接扣缘和连接面板，所述连接面板的上表面与所述固定盘连接，所述连接扣缘固定在所述连接面板的下表面。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：苏晋苗，
申请(专利权)人：苏晋苗，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71
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