抛光系统的抛光垫技术方案

一种可安装到抛光板的抛光系统的抛光垫，并且具有预先确定的沟槽图案，以允许从抛光液供给器供给的抛光液在抛光表面移动。所述沟槽图案具有至少两种图案。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开涉及一种抛光垫，更具体地，涉及到一种抛光用于液晶显示器的玻璃板的抛光系统的抛光垫。
技术介绍
一般，用于将液晶显示器的玻璃板(或玻璃基板)的平面度维持到指定水平，以精确呈现图像是非常重要的。所述玻璃板通过熔融法或浮法制备。大多数现有的玻璃板(大约95%或更多)是用浮法制备。浮法生产的玻璃(或浮法玻璃)在漂浮盆中被处理成带状，并在接下来的切割工艺中切分为预先确定尺寸。另外，执行抛光工艺，移除出现在所述浮法玻璃表面上的细微不平或杂质。同时,所述玻璃基板的抛光工艺可以分类为称作‘奥斯卡(Oscar)’法的逐一抛光单个玻璃基板的方法和称作‘排队(inline)’法的依次抛光成队玻璃基板的方法。另外，传统的抛光工艺也可以分类为仅抛光玻璃基体一个表面的‘单面抛光’和抛光玻璃基体两个表面的‘两面抛光’。在玻璃板位于下单元(或，下板)上，并且抛光板的抛光垫(或，上板)的抛光垫接触到玻璃板的情况下，通过在下单元旋转时将抛光液供给到抛光板，所述传统玻璃抛光设备抛光玻璃板。与被抛光的玻璃板表面相接触的用于抛光玻璃板的抛光垫被附着到所述玻璃板抛光设备的抛光板上。图1是概要示出传统抛光垫的平面图。参考本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.08.18 KR 10-2010-00798821.抛光系统的抛光垫，能够安装到抛光板，并且具有预先确定的沟槽图案以允许从抛光液供给器供给的抛光液在抛光表面移动，其中，所述沟槽图案具有至少两种图案。2.根据权利要求1所述的抛光系统的抛光垫，其中，所述的抛光图案包括:第一沟槽图案，在包含抛光垫中心的第一区域中形成；以及第二沟槽图案，在与所述第一区域从所述中心到外侧分开以围绕所述第一区域的第二区域中形成。3.根据权利要求2所述的抛光系统的抛光垫，其中，所述第二沟槽图案包括:至少两个环形沟槽，从所述中心同心排列，并且以预先确定的间隔相互分开；以及多个径向沟槽，从所述中心径向延伸与所述环形沟槽相交。4.根据权利要求3所述的抛光系统的抛光垫，其中，每个径向沟槽被设置为与所述抛光垫的离心方向一致。5.根据权利要求2所述的抛光系统的抛光垫，其中，所述第二区域包括配置为与所述第一区域邻接的内侧区域和配置在所述内侧区域外侧的外侧区域，并且其中，在所述第二沟槽图案中，所述外侧区域的沟槽配置得比所述内侧区域的沟槽更 LU O6.根据权利要求5所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：闵庚勳，林云勳，李大渊，宋在翊，朴寿讃，
申请(专利权)人：LG化学株式会社，
类型：
国别省市：