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一种可安装到抛光板的抛光系统的抛光垫，并且具有预先确定的沟槽图案，以允许从抛光液供给器供给的抛光液在抛光表面移动。所述沟槽图案具有至少两种图案。...
该专利属于LG化学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过LG化学株式会社授权不得商用。

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