本发明专利技术提供一种基于MEMS器件的电阻测量方法，所述基于MEMS器件的电阻测量方法包括以下步骤：接收测量指令以输出所述MEMS器件的工作电压；驱动所述MEMS器件的工作电压以放大所述MEMS器件的工作电压；采集流经所述MEMS器件的测量数据，所述测量数据包括流经所述MEMS器件的测量电流和测量电压以便根据采集到的所述MEMS器件的测量电流和测量电压分析计算所述MEMS器件的电阻。本发明专利技术所述的基于MEMS器件的电阻测量方法有效解决MEMS器件电阻测试中现有测量装置占用设备资源大，成本高等问题。使用该测量方法可以方便测量待测MEMS器件的阻值。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于通信
，涉及一种测量方法及系统，特别是涉及一种基于MEMS器件的电阻测量方法、系统及采集设备。
技术介绍
和传统的机械测量方法相比，MEMS (Micro Electro Mechanical System)是微机电系统的缩写，主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，它是在融合多种微细加工技术，并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。MEMS用批量化的微电子技术制造出尺寸与集成电路大小相当的非电子系统，实现了电子系统和非电子系统的一体化集成。MEMS是人类科技发展过程中一次重大的技术整合，具有微小型化、智能化、集成化和高可靠性等特点。MEMS能够完成真正意义上的微小型系统集成，在芯片上实现了力、热、磁、化学到电的转变，它极大地改善了人类生活的质量，大批量、低成本的传感器生产方式给予人们更多的保护，它将带动一个充满活力的产业迅速成长。MEMS在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们所接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景。目前MEMS器件体积越来越小，对其电阻测量时，一般都会使用电阻测试仪或者万用表。当测量大量MEMS器件时，需配备一定数量的测试设备，使用这种方法会占用大量设备资源，人力资源，尤其会造成静电损坏MEMS器件。因此，如何提供一种基于MEMS器件的电阻测量方法、系统及采集设备，以解决现有集中在测量一定数量电子器件的电阻时，会使用大量测试设备，会造成人力资源的浪费，也会由于静电对电子器件造成损坏等种种缺陷，实已成为本领域从业者亟待解决的技术问题。【专利
技术实现思路
】鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种基于MEMS器件的电阻测量方法、系统及采集设备，用于解决现有技术中在测量一定数量电子器件的电阻时，会使用大量测试设备，会造成人力资源的浪费，也会由于静电对电子器件造成损坏的问题。为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术一方面提供一种基于MEMS器件的电阻测量方法，所述基于MEMS器件的电阻测量方法包括以下步骤:接收测量指令以输出所述MEMS器件的工作电压；驱动所述MEMS器件的工作电压以放大所述MEMS器件的工作电压；采集流经所述MEMS器件的测量数据，所述测量数据包括流经所述MEMS器件的测量电流和测量电压以便根据采集到的所述MEMS器件的测量电流和测量电压分析计算所述MEMS器件的电阻。可选地，所述基于MEMS器件的电阻测量方法还包括将测量指令和输出的所述MEMS器件的工作电压编制成信号特征表现为数字信号的第一传输信号，将所述第一传输信号进行数模转换以产生信号特征表现为模拟信号的第二传输信号。可选地，所述基于MEMS器件的电阻测量方法还包括将采集到的所述MEMS器件的测量电流和测量电压编制成为信号特征表现为模拟信号的第三传输信号，将所述第三传输信号进行模数转换以产生信号特征表现为数字信号的第四传输信号，传输并解析所述第四传输信号。本专利技术另一方面还提供一种基于MEMS器件的电阻测量系统，所述基于MEMS器件的电阻测量系统与多个所述MEMS器件连接，用于从所述MEMS器件采集测量数据，根据采集到的测控数据分析计算所述MEMS器件的电阻；其中，所述基于MEMS器件的电阻测量系统包括:中央处理模块，用于发送测量指令，并分析计算从所述MEMS器件采集测量数据以获取所述MEMS器件的电阻；控制模块，与所述中央处理模块连接，用于接收所述测量指令，并输出所述MEMS器件的工作电压；驱动模块，与所述控制模块和MEMS器件连接，用于驱动所述MEMS器件的工作电压以放大所述MEMS器件的工作电压；采集模块，与所述控制模块和MEMS器件连接，用于采集流经所述MEMS器件的测量数据，所述测量数据包括测量电流和测量电压以便根据采集到的所述MEMS器件的测量电流和测量电压分析计算所述MEMS器件的电阻。可选地，所述基于MEMS器件的电阻测量系统还包括分别与所述控制模块和驱动模块连接，用于测量指令和输出的所述MEMS器件的工作电压编制成信号特征表现为数字信号的第一传输信号，将所述第一传输信号进行数模转换以产生信号特征表现为模拟信号的第二传输信号的数模转换模块。可选地，所述基于MEMS器件的电阻测量系统还包括分别与所述控制模块和采集模块连接，用于将采集到的所述MEMS器件的测量电流和测量电压编制成为信号特征表现为模拟信号的第三传输信号，将所述第三传输信号进行模数转换以产生信号特征表现为数字信号的第四传输信号的模数转换模块；所述控制模块将所述第四传输信号传输至所述中央处理模块以便其解析所述第四传输信号。本专利技术又一方面还提供一种基于MEMS器件的电阻采集设备，所述基于MEMS器件的电阻采集设备分别与用于发送测量指令，并分析计算从所述MEMS器件采集测量数据以获取所述MEMS器件的电阻的上位机和与多个所述MEMS器件连接，其中，所述基于MEMS器件的电阻采集设备包括:控制器，与所述上位机连接，用于接收所述测量指令，并输出所述MEMS器件的工作电压；驱动器，与所述控制器和MEMS器件连接，用于驱动所述MEMS器件的工作电压以放大所述MEMS器件的工作电压；采集器，与所述控制器和MEMS器件连接，用于采集流经所述MEMS器件的测量数据，所述测量数据包括测量电流和测量电压以便所述上位机根据采集到的所述MEMS器件的测量电流和测量电压分析计算所述MEMS器件的电阻。可选地，所述驱动器包括运算放大器和M0S管，所述运算放大器的输出端与所述M0S管的基极相连接。可选地，所述采集器包括电流采集器和电压采集器；所述电流采集器包括采样放大器和参考电阻，所述采样放大器获取其输出端电压，通过预存电流公式计算流经所述参考电阻的所述测量电流。可选地，所述控制器可采用MCU或可编程逻辑器件。如上所述，本专利技术的基于MEMS器件的电阻测量方法、测量系统及采集设备，具有以下有益效果:第一，本专利技术通过可编程电压的特性实现不同MEMS器件的电阻值的测量，节约时间，提高工作效率；第二，本专利技术有效解决了现有技术中在MEMS器件的电阻测量过程中占用大量设备资源，成本高，由于静电损坏器件等问题；第三，本专利技术通过选择控制器的通道数量来设置测量通道的数据。【附图说明】图1显示为本专利技术的基于MEMS器件的电阻测量方法流程示意图。图2显示为本专利技术的基于MEMS器件的电阻测量系统的原理结构示意图。图3显示为本专利技术的基于MEMS器件的电阻采集设备的原理结构示意图。图4显示为本专利技术的基于MEMS器件的电阻采集设备中驱动器的具体电路图。图5显示为本专利技术的基于MEMS器件的电阻采集设备中采集器的具体电路图。元件标号说明<当前第1页1 2 3 4 本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种基于MEMS器件的电阻测量方法，其特征在于，所述基于MEMS器件的电阻测量方法包括以下步骤：接收测量指令以输出所述MEMS器件的工作电压；驱动所述MEMS器件的工作电压以放大所述MEMS器件的工作电压；采集流经所述MEMS器件的测量数据，所述测量数据包括流经所述MEMS器件的测量电流和测量电压以便根据采集到的所述MEMS器件的测量电流和测量电压分析计算所述MEMS器件的电阻。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：范亚妮，
申请(专利权)人：上海斐讯数据通信技术有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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