一种用于单晶炉的导流筒制造技术

技术编号:12432091 阅读:54 留言:0更新日期:2015-12-03 15:33
本发明专利技术涉及一种用于单晶炉的导流筒,包括喇叭形筒体、进料法兰和出料法兰,所述的进料法兰和出料法兰分别连接在喇叭形筒体的窄口端和宽口端上,所述的喇叭形筒体的窄口端与进料法兰之间设置有接长装置,所述的喇叭形筒体的宽口端与出料法兰之间设置有挡板,所述的喇叭形筒体内设置有导流板,所述的导流板上均匀排布着通孔,所述导流板的下端与喇叭形筒体的侧壁之间还设置有滤板,所述的喇叭形筒体的侧壁上还开设有检修口,所述检修口外侧的喇叭形筒体的侧壁上还活动连接有观察窗。本设计通过导流板来增加流动面积,使物体流动的更加均匀稳定,提高了导流筒的利用率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种单晶炉的的部件,特别是一种用于单晶炉的导流筒
技术介绍
导流筒作为单晶炉的一个重要部件,在单晶硅的生产中起到了重要的作用,单晶炉的导流筒对晶体生长有很大影响。使用导流筒可以减少炉体上部的氩气流动涡胞,进而减少S1在单晶炉上部的沉积,从而确保拉制的单晶硅棒具有很高的质量。但是现有的导流筒上下端部的直径不一样,从上端部至下端部递减,这样由于气体的流通面减小,气体通过的该截面时的流速增大,突然增大的流速将会引起气流的波动,使氩气流在进入单晶炉下端时气流强度会加强,导致单晶硅棒晃动、液面波动,严重时可导致掉棒等生产事故。此夕卜,现有的导流筒进行热辐射时,是将热量向炉壁四周发散,这样就增加了能耗。因此设计一种可以增加流动面积的单晶炉导流筒就显得尤为重要。
技术实现思路
本专利技术需要解决的技术问题是通过导流板来增加流动面积,使物体流动的更加均匀稳定,提高了导流筒的利用率;提供一种用于单晶炉的导流筒。为解决上述的技术问题,本专利技术的结构包括喇叭形筒体、进料法兰和出料法兰,所述的进料法兰和出料法兰分别连接在喇叭形筒体的窄口端和宽口端上,所述的喇叭形筒体的窄口端与进料法兰之间设置有接长装置,所述的喇叭形筒体的宽口端与出料法兰之间设置有挡板,所述的喇叭形筒体内设置有导流板,所述的导流板上均匀排布着通孔,所述导流板的下端与喇叭形筒体的侧壁之间还设置有滤板,所述的喇叭形筒体的侧壁上还开设有检修口,所述检修口外侧的喇叭形筒体的侧壁上还活动连接有观察窗。进一步:所述的接长装置包括第一套筒和第二套筒,所述的第一套筒和第二套筒都为空心套筒,所述的第一套筒的外表面上设有外接螺纹,所述的第二套筒的内侧设置有与外接螺纹对应配合的内接螺纹,所述的第一套筒通过外接螺纹与内接螺纹的配合活动连接在第二套筒内,所述的第一套筒的上端与进料法兰相连,所述的第二套筒的下端与喇叭形筒体的窄口端相连。又进一步:所述的导流板是由两块斜置的第一导流板和一块水平放置的第二导流板,所述的两块斜置的第一导流板的上端分别连接在第二导流板的两侧,所述的第二导流板位于进料法兰的正下方,所述的第一导流板和第二导流板上均匀排布着通孔,所述的两块第一导流板的下端与喇叭形筒体的侧壁之间分别连接有一块滤板,所述的滤板活动连接在喇叭形筒体内。再进一步:所述的第一导流板的下端设有卡槽,所述滤板的一端穿过喇叭形筒体的侧壁活动连接在卡槽内,所述滤板的另一端与推柄相连。采用上述结构后,本专利技术通过导流板来增加流动面积,使物体流动的更加均匀稳定,提高了导流筒的利用率;而且其还具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。【附图说明】下面结合附图和【具体实施方式】对本专利技术作进一步详细的说明。图1为本专利技术的结构示意图。图2为图1中A的放大图。【具体实施方式】如图1和图2所示的一种用于单晶炉的导流筒,包括喇叭形筒体4、进料法兰I和出料法兰5,所述的进料法兰I和出料法兰5分别连接在喇叭形筒体4的窄口端和宽口端上,所述的喇叭形筒体4的窄口端与进料法兰I之间设置有接长装置,所述的喇叭形筒体4的宽口端与出料法兰5之间设置有挡板9,所述的喇叭形筒体4内设置有导流板,所述的导流板上均匀排布着通孔10,所述导流板的下端与喇叭形筒体4的侧壁之间还设置有滤板12,所述的喇叭形筒体4的侧壁上还开设有检修口,所述检修口外侧的喇叭形筒体4的侧壁上还活动连接有观察窗6,所述的观察窗6与喇叭形筒体4之间设有密封橡胶圈。工作前,先根据实际工作环境利用接长装置调节导流筒的长度,然后通过进料法兰I和出料法兰5把导流筒连入单晶炉内,氩气和熔化了的单晶硅会从进料法兰I流入喇叭形筒体4内,氩气和熔化了的单晶硅在导流板的作用下会沿着导流板流动,然后穿过导流板上的通孔10从出料法兰5流出;本专利技术通过导流板来增加流动面积,使物体流动的更加均匀稳定,提高了导流筒的利用率;并且本设计在喇叭形筒体4的侧壁上设置有观察窗6,通过观察窗6来观察氩气和熔化了的单晶硅的流动情况,当出现故障后能够及时对其进行检修,从而减少了不必要的损失。如图1和图2所示的导流板是由两块斜置的第一导流板8和一块水平放置的第二导流板7,所述的两块斜置的第一导流板8的上端分别连接在第二导流板7的两侧,所述的第二导流板7位于进料法兰I的正下方,所述的第一导流板8和第二导流板7上均匀排布着通孔10,所述的两块第一导流板8的下端与喇叭形筒体4的侧壁之间分别连接有一块滤板12,所述的滤板12活动连接在喇叭形筒体4内。所述的第一导流板8的下端设有卡槽11,所述滤板12的一端穿过喇叭形筒体4的侧壁活动连接在卡槽11内,所述滤板12的另一端与推柄13相连。一部分的氩气和熔化了的单晶硅会直接穿过第二导流板7的通孔10从出料法兰5流出;另一部分在第二导流板7的阻挡下沿着第一导流板8向下流,这其中的一部分会穿过第一导流板8上的通孔10从出料法兰5流出,剩余的则会从滤板12流出。本设计具有结构简单、易于制造和实用高效的优点;并且原料中的杂志则会在滤板12的阻挡下停止下流,当生产结束后拉动推柄13把滤板12从喇叭形筒体4拉出,然后去除杂志便于下次生产。如图1所示的接长装置包括第一套筒2和第二套筒3,所述的第一套筒2和第二套筒3都为空心套筒,所述的第一套筒2的外表面上设有外接螺纹,所述的第二套筒3的内侧设置有与外接螺纹对应配合的内接螺纹,所述的第一套筒2通过外接螺纹与内接螺纹的配合活动连接在第二套筒3内,所述的第一套筒2的上端与进料法兰I相连,所述的第二套筒3的下端与喇叭形筒体4的窄口端相连。根据实际工作情况,旋转第一套筒2调节第一套筒2伸入第二套筒3内的长度,从而完成对导流筒连接长度的调节,使导流筒能够连接入不同型号的单晶炉,增加了导流筒的实用性能。【主权项】1.一种用于单晶炉的导流筒,其特征在于:包括喇叭形筒体(4)、进料法兰(I)和出料法兰(5),所述的进料法兰⑴和出料法兰(5)分别连接在喇叭形筒体(4)的窄口端和宽口端上,所述的喇叭形筒体(4)的窄口端与进料法兰(I)之间设置有接长装置,所述的喇叭形筒体(4)的宽口端与出料法兰(5)之间设置有挡板(9),所述的喇叭形筒体(4)内设置有导流板,所述的导流板上均匀排布着通孔(10),所述导流板的下端与喇叭形筒体(4)的侧壁之间还设置有滤板(12),所述的喇叭形筒体(4)的侧壁上还开设有检修口,所述检修口外侧的喇叭形筒体(4)的侧壁上还活动连接有观察窗(6)。2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的导流筒,其特征在于:所述的接长装置包括第一套筒(2)和第二套筒(3),所述的第一套筒(2)和第二套筒(3)都为空心套筒,所述的第一套筒(2)的外表面上设有外接螺纹,所述的第二套筒(3)的内侧设置有与外接螺纹对应配合的内接螺纹,所述的第一套筒(2)通过外接螺纹与内接螺纹的配合活动连接在第二套筒(3)内,所述的第一套筒(2)的上端与进料法兰(I)相连,所述的第二套筒(3)的下端与喇叭形筒体(4)的窄口端相连。3.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的导流筒,其特征在于:所述的导流板是由两块斜置的第一导流板(8)和一块水平放置的第二导流板(7),所述的两块斜置的第一导流板(8)的上端分别连接在第二导流板(7)的两侧,所述的第二导流板(7)位于进本文档来自技高网...
一种用于单晶炉的导流筒

【技术保护点】
一种用于单晶炉的导流筒,其特征在于:包括喇叭形筒体(4)、进料法兰(1)和出料法兰(5),所述的进料法兰(1)和出料法兰(5)分别连接在喇叭形筒体(4)的窄口端和宽口端上,所述的喇叭形筒体(4)的窄口端与进料法兰(1)之间设置有接长装置,所述的喇叭形筒体(4)的宽口端与出料法兰(5)之间设置有挡板(9),所述的喇叭形筒体(4)内设置有导流板,所述的导流板上均匀排布着通孔(10),所述导流板的下端与喇叭形筒体(4)的侧壁之间还设置有滤板(12),所述的喇叭形筒体(4)的侧壁上还开设有检修口,所述检修口外侧的喇叭形筒体(4)的侧壁上还活动连接有观察窗(6)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:潘清跃王平
申请(专利权)人:江苏华盛天龙光电设备股份有限公司
类型:发明
国别省市:江苏;32

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