一种用于大面积双层辉光等离子无氢渗碳的源极制造技术

本实用新型专利技术公开一种用于大面积双层辉光等离子无氢渗碳的源极，呈平板状，厚度为20～35mm，水平横断面形状为方形、圆形或者多边形，源极的上表面和下表面分别凹陷形成有第一凹槽和第二凹槽，第一凹槽和第二凹槽的形状为圆形、正方形或正多边形，第二凹槽的深度为4～6mm，水平横截面积为12～50mm2，第一凹槽的深度为8～15mm，水平横截面积为50～120mm2。当在源极上加载一个合适的放电电压时，第一凹槽主要是为了增加离子的轰击表面积，加快源极的升温速度，为后续的离子溅射和蒸发溅射提供条件。第二凹槽在增加溅射面积的同时，空心阴极效应和尖端放电效应放电会提高碳离子、蒸发粒子和高能中性粒子浓度，为高效率处理大面积试样提供条件。

【技术实现步骤摘要】

:本技术涉及一种用于大面积双层辉光等离子无氢渗碳的源极，其特别适用于无氢固体渗碳。
技术介绍
:钛合金同其它结构金属材料相比，有两个显著的优点:一是比强度高，二是耐腐蚀性能好。钛合金已经成为必不可少的结构材料，其使用量的多少甚至成为衡量一个国家航空航天水平的尺度之一。但钛合金硬度低、耐磨性能差、易产生氢脆的缺点又限制了它的应用。当用作滑动部件(如阀及导杆、活塞销和连杆轴等)时，易与对磨材料粘着，产生磨损。为提高钛合金耐磨性，国内外学者作了大量的研究工作，传统的金属材料表面处理技术几乎全部应用到了钛合金的表面处理上，其基本原理是在钛合金表面形成氮化物、碳化物和硼化物等硬质相，提高其表面硬度及耐磨性。然而，钛是一种活性金属，与氢有极强的亲和力，在某种含氢或析氢腐蚀环境中会吸收氢渗入并生成氢化物，当氢化物量达到一定程度时会急剧降低冲击韧性与延伸率，产生氢化物氢脆。传统的表面强化方法除了有各自的一些优缺点(如离子注入的直射性、膜层薄)外，几乎都是在含氢气体中进行的，很难做到避免氢脆。因此针对传统渗碳方法存在的问题，国内学者技术了一种双辉光等离子无氢渗碳新方法，该方法的特点是由固体石本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于大面积双层辉光等离子无氢渗碳的源极，其特征在于：所述源极呈平板状，厚度为20～35mm，水平横断面形状为方形、圆形或者多边形，所述源极的上表面和下表面分别凹陷形成有若干个不同深度和不同尺寸的第一凹槽(10)和第二凹槽(11)，所述第一凹槽(10)和第二凹槽(11)的形状为圆形、正方形或者正多边形，在源极结构下表面上凹陷形成的第二凹槽(11)的深度为4～6mm，水平横截面积为12～50mm2，在源极结构上表面上凹陷形成的第一凹槽(10)的深度为8～15mm，水平横截面积为50～120mm2。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈小虎，朱雨微，张平则，魏东博，魏祥飞，
申请(专利权)人：南京航空航天大学，
类型：新型
国别省市：江苏;32